会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 7. 发明专利
    • SiC単結晶の製造装置及び当該製造装置を用いるSiC単結晶の製造方法
    • 用于使用所述的制造装置和SiC单晶的制造装置制造的SiC单晶的制造方法
    • JPWO2014192573A1
    • 2017-02-23
    • JP2015519792
    • 2014-05-19
    • 新日鐵住金株式会社トヨタ自動車株式会社
    • 一人 亀井一彦 楠幹尚 加渡寛典 大黒秀光 坂元
    • C30B29/36
    • C30B17/00C30B15/00C30B29/36
    • 単結晶の質を向上させることができるSiC単結晶の製造装置及び当該製造装置を用いる製造方法を提供する。本発明の実施の形態によるSiC単結晶の製造装置(10)は、溶液成長法によるSiC単結晶の製造に用いられる。製造装置(10)は、坩堝(14)と、支持軸(24)とを備える。坩堝(14)には、Si−C溶液(15)が収容される。支持軸(24)は、坩堝(14)を支持する。支持軸(24)は、坩堝(14)の底部(14B)を抜熱する抜熱部を備える。抜熱部は、(a)底部(14B)の熱伝導率以上の熱伝導率を有し、且つ、底部(14B)の少なくとも一部に接触する接触部(34)と、(b)接触部(34)又は底部(14B)の少なくとも一部に接する空間部との何れかを含む。
    • 提供使用该制造装置和SiC单晶的制造装置,可以提高单晶的质量的制造方法。 用于制造根据本发明的一个实施例的SiC单晶的装置(10)用于通过溶液生长法的制造SiC单晶的。 制造装置(10)包括坩埚(14),支承轴和(24)。 坩埚(14),的Si-C溶液(15)被容纳。 支承轴(24)支撑该坩埚(14)。 支承轴(24)包括一个排热部以除去热坩埚(14)和(14B)的底部。 热提取单元中,(a)具有比(14B)的热导率的底部的热导率,和接触部的至少底部(14B)的一部分,并且(34)接触,(b)中的接触部分 包括接触(图14B)(34)的至少一部分或底部的空间部中的一个。