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1. 发明专利

JP6260019B2 金属弾性部材、微小機械装置、微小機械装置の製造方法、揺動制御装置及び揺動制御方法有权
公开(公告)号：JP6260019B2
公开(公告)日：2018-01-17
申请号：JP2012247796
申请日：2012-11-09
申请人：北陽電機株式会社
发明人：森利宏 , ▲浅▼田規裕 , ▲高▼井和夫
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , B81C3/00 , G02B26/10
CPC分类号： G02B7/1821 , B81B2201/042 , B81B2203/0154 , B81C1/00674 , F16F1/14 , G02B26/0833 , H02K33/02 , H02P25/032

2. 发明专利

JP2015125220A 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ有权
标题翻译：光学扫描仪，图像显示装置和头戴式显示器
公开(公告)号：JP2015125220A
公开(公告)日：2015-07-06
申请号：JP2013268715
申请日：2013-12-26
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：山野幸秀
IPC分类号： G02B27/02 , H04N5/64 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/101 , B81B3/0045 , G02B26/085 , G02B27/0101 , B81B2201/042 , B81B2203/0154 , G02B27/0172
摘要：【課題】光反射部の安定した揺動を実現しつつ、光反射部を光反射の利用効率が高い平面視形状とすることができる光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイを提供すること。【解決手段】光スキャナー1は、基部111と、光を反射する光反射板113と、基部111と光反射板113とを接続するスペーサー112と、基部111を揺動可能に支持する軸部12a、12bと、を有し、光反射板113は、光反射板113と基部111とが並ぶ方向から見た平面視において、光反射板113の幾何学的中心gがX軸と離れた位置となるように設けられ、平面視において、スペーサー112の幾何学的中心g1が、X軸に対して光反射板113の幾何学的中心gと反対側に位置している。【選択図】図5
摘要翻译：要解决的问题：提供一种实现光反射部分的稳定振荡的光学扫描仪，并且可以将光反射部分形成为具有高反射效率的平面视图形状，以及图像形成装置和头戴式包括光学扫描仪的显示器。解决方案：光学扫描仪1具有底座111，反射光的光反射板113，连接基座111和光反射板113的间隔件112和可摆动地支撑光反射板113从光反射板113和基板111并列配置的方向观察时的平面图中安装，使得光反射板113的几何中心g位于位置与X轴分离，在平面图中，间隔物112的几何中心g1位于反射光板113的几何中心g的相对侧 X轴。

3. 发明专利

JP2015031786A アクチュエータ装置及びミラー駆動装置有权
标题翻译：执行器装置和反射器驱动装置
公开(公告)号：JP2015031786A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：JP2013160425
申请日：2013-08-01
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , Hamamatsu Photonics Kk
发明人： ADACHI NORIHIDE , KIMOTO MASAKUNI , TAKIMOTO SADAJI
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00
CPC分类号： G02B26/085 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0154 , G02B26/0816 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H02K33/18
摘要：【課題】配線の低抵抗化を図りつつ、配線が可動部の揺動を阻害するのを抑制することが可能なアクチュエータ装置を提供する。【解決手段】アクチュエータ装置2は、導体に接続される配線が配置され、可動部8を支持部6に揺動可能に連結するトーションバー部10を備える。トーションバー部10は、揺動軸Lに沿う第一方向に延び、第一方向と交差する第二方向に併置される直状部分10aと、直状部分10aを連結する折り返し部分10bと、を有する蛇行形状を呈している。配線は、第一配線部分と、第二配線部分と、を有し、第一配線部分は、折り返し部分10bに形成された溝内に埋め込まれるように配置され、Cuからなる第一金属材料によって構成されるダマシン配線部分を含み、第二配線部分は、直状部分10a上に配置され、第一金属材料よりも塑性変形し難い第二金属材料によって構成されている。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供一种致动器装置，其能够实现布线以抑制可动部的震动的阻碍，同时实现布线的低电阻。解决方案：致动器装置2包括：扭杆部10，其具有布线连接到布置的导体，并且将可动部分8可滑动地连接到支撑部分6.扭杆部分10具有沿着振动轴L沿第一方向延伸的直线部分10a，并且沿与第一方向交叉的第二方向并置连接直线部分10a和扭杆部分10的折叠部分10b成形为Z字形。布线具有第一布线部分和第二布线部分，并且第一布线部分布置成嵌入形成在折叠部分10b中的凹槽中，包括由Cu构成的第一金属材料构成的镶嵌布线部分并且第二布线部分布置在直线部分10a上，并且由比第一金属材料更能抵抗塑性变形的第二金属材料构成。

4. 发明专利

JP6330321B2 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ有权
公开(公告)号：JP6330321B2
公开(公告)日：2018-05-30
申请号：JP2013268715
申请日：2013-12-26
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：山野幸秀
IPC分类号： G02B27/02 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/101 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0154 , G02B26/085 , G02B27/0101 , G02B27/0172

5. 发明专利

JP6292486B2 MEMS素子有权
公开(公告)号：JP6292486B2
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：JP2015557876
申请日：2015-01-15
申请人：株式会社村田製作所
发明人：開田弘明 , 亀田英太郎 , 竹山佳介 , 中村大佐
IPC分类号： H03H9/17 , H03H9/24 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02448 , B81B3/0086 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058 , H03H9/2447 , H03H2009/02496 , H03H2009/155 , H03H2009/2421

6. 发明专利

JPWO2015108124A1 ＭＥＭＳ素子有权
公开(公告)号：JPWO2015108124A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：JP2015557876
申请日：2015-01-15
申请人：株式会社村田製作所
发明人：開田　弘明 , 弘明開田 , 英太郎亀田 , 英太郎亀田 , 佳介竹山 , 佳介竹山 , 中村　大佐 , 大佐中村
IPC分类号： H03H9/02 , H03H9/17
CPC分类号： H03H9/02448 , B81B3/0086 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058 , H03H9/2447 , H03H2009/02496 , H03H2009/155 , H03H2009/2421
摘要：保持部の延伸する方向における収縮振動による抵抗値の変動を抑制し、高精度な発振器を実現可能なMEMS素子を提供する。MEMS素子10は、枠11と、駆動信号の入力を受ける矩形板12と、この矩形板12を枠11に固定する保持部13とから構成される。枠11と矩形板12とは、いずれも短辺と長辺とを有する矩形状で構成される。保持部13は、矩形板12の対向する短辺の中央部分から枠11側に延伸して設けられ、矩形板12を枠11に対して固定している。矩形板12の長辺(Lp)と短辺(Wp)の比(Lp/Wp)が1.3〜1.6、好ましくは1.46となる。抵抗膜19は、矩形板12を枠11に固定する保持部13を結んだ直線上に沿った領域であり、振動分布から最大変位の半分以下の領域に形成される。

7. 发明专利

JP6053357B2 最適化された感度を有する圧力測定デバイス有权
标题翻译：压力测量设备具有优化灵敏度
公开(公告)号：JP6053357B2
公开(公告)日：2016-12-27
申请号：JP2012148491
申请日：2012-07-02
申请人：コミッサリアアレネルジーアトミークエオゼネルジザルタナテイヴ
发明人：フィリップ・ロベール , ギヨーム・ジュルダン
IPC分类号： H01L29/84 , B81B3/00 , B81C1/00 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0052 , G01L9/001 , G01L9/0019 , G01L9/006 , G01L9/0073 , B81B2203/0127 , B81B2203/0154 , B81B2203/0307 , B81B2203/053

8. 发明专利

JP2016509209A 平面外に移動可能なモバイルマスを有するマイクロ電子機械装置审中-公开
标题翻译：具有移动质量块能够移动离开平面的微机电设备
公开(公告)号：JP2016509209A
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：JP2015550139
申请日：2013-12-24
申请人：トロニックスマイクロシステムズ , トロニックスマイクロシステムズ
发明人：ボイロット，フランソワ−カビラ , ラウビ，ルミ , ジョルダン，ギュイローメ
IPC分类号： G01P15/12 , B81B3/00 , G01P15/08 , H01L29/84
CPC分类号： G01P15/0802 , B81B3/0051 , B81B2201/025 , B81B2203/0154 , B81B2203/0163 , B81B2203/051 , B81B2203/058 , G01P15/123 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0817 , G01P2015/0871
摘要：【課題】平面外に移動可能なモバイルマスを有するマイクロ電子機械装置を提供する。【解決手段】本発明は、力センサーとして使用されるマイクロ電子機械装置に関し、スプリングまたは変形可能なエレメントによって一つ以上のアンカリングエリアに接続されるモバイルマスと、モバイルマスの変位を検知する手段と、外部フレームおよび内部ボディを有し、外部フレームおよび内部ボディは、外部フレームの二つの異なる側に接続されるデカップリングスプリングを形成する少なくとも二つの可撓部によって接続される。【選択図】図2
摘要翻译：提供一种具有移动质量块能够移动离开平面的微机电装置。本发明涉及一种用作力传感器的微机电装置，用于检测所述移动块，该移动质量块的位移，以通过弹簧或可变形的元件被连接到一个或多个锚定区如果，具有外部框架和内部机构，外部框架和内部机构是由形成连接到外部框架的两个不同的侧面去耦弹簧的至少两个柔性部分连接。 .The

9. 发明专利

JP3775677B2 Mems mirror device and optical disk device 有权
公开(公告)号：JP3775677B2
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：JP2003128559
申请日：2003-05-07
申请人：船井電機株式会社
发明人：勉松井
IPC分类号： G11B7/09 , G02B26/08 , G11B7/135
CPC分类号： G11B7/1362 , B81B3/0045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , G02B26/085

10. 发明专利

JPWO2015004710A1 アクチュエータ有权
标题翻译：执行器
公开(公告)号：JPWO2015004710A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015526028
申请日：2013-07-08
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
发明人：健二郎藤本 , 雄一山村
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/101 , B81B7/0048 , B81B2201/042 , B81B2203/0154 , B81B2203/058 , G02B26/0833 , G02B26/085 , G02B26/105
摘要：アクチュエータ(1)は、平面状の可動部(120)と、可動部を支持するための支持部(210)と、長手方向に沿った回転軸を中心として可動部が揺動可能なように、長手方向に沿って可動部と支持部とを接続するトーションバー(230)と、を備える。可動部の一の表面には、反射部(121)が形成されており、可動部の該一の表面とは反対側の他の表面には、当該可動部の平坦性を維持する一又は複数のリブ(123)が形成されている。一又は複数のリブに含まれる第1リブは、他の表面上で短手方向に沿って延びている。他の表面上で平面的に見て、第1リブのトーションバー側の側面は、回転軸から離れた部分において凹であり、前記側面の回転軸から離れた部分における凹の程度は、前記側面の回転軸近傍の凹の程度に比べて大きい。
摘要翻译：的致动器（1）是平坦的可移动部分（120），用于支撑所述可移动部分（210）的支撑部，使得所述可动部是围绕沿纵向方向的旋转轴摆动，在纵向方向上包括连接所述可动支承部的扭杆（230）。在可动部分的一个表面，所述反射部（121）形成，在其他表面相对的可动部的所述一个表面上，一个或多个，以保持可动部分的平坦度肋（123）形成。第一肋包括在一个或多个肋沿所述另一表面上沿宽度方向延伸。如在其它表面上在俯视观察时，所述第一肋的所述扭杆的侧面在从旋转轴线，凹形的一部分从侧面看，侧的旋转轴线的方向的程度离开的部分凹陷比靠近旋转轴的凹程度大。

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