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1. 发明专利

JP2015018982A インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法有权
标题翻译：印刷装置和印刷方法以及使用该方法制造制品的方法
公开(公告)号：JP2015018982A
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：JP2013146017
申请日：2013-07-12
申请人：キヤノン株式会社 , Canon Inc , モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド , Molecular Imprints Inc , 株式会社東芝 , Toshiba Corp
发明人： YAMASHITA TAKASHI , WATANABE YUTAKA , BRIAN FLETCHER , GERARD SCHMID , NIYAZ KHUSNATDINOV , IM SE-HYUK , KONO TAKUYA , HATANO MASAYUKI , YONEDA IKUO
IPC分类号： H01L21/027 , B29C59/02
CPC分类号： B29C43/34 , B29C31/045 , B29C2043/025 , B29C2043/3438 , B29C2043/5875 , G03F7/0002
摘要：【課題】型の凹凸パターンに対する樹脂の未充填部分の発生の抑止でき、スループットを向上させるのに有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】インプリント装置は、基板上の複数箇所に樹脂(液滴32)を塗布し、樹脂と型とを接触させ、型に形成された凹凸パターンを樹脂に転写する。このインプリント装置は、凹凸パターンに応じた主軸方向31を設定し、主軸方向31に離間して塗布された樹脂間の距離αが、主軸方向31と直交する方向に離間して塗布された樹脂間の距離&bgr;よりも大きくなるように、設定された主軸方向31に基づいて樹脂の塗布位置を決定する制御部と、決定された塗布位置に基づいて樹脂を塗布する塗布部とを備える。【選択図】図6
摘要翻译：要解决的问题：提供一种压印装置，其能够抑制由模具的凹凸图案中的树脂产生未填充部分，并且有利于提高生产量。解决方案：压印装置被配置为施加树脂液滴32）到基板上的多个部分，以使树脂与模具接触，并将形成在模具中的凹凸图案转印到树脂上。压印装置包括：控制单元，其根据凹凸图案设置主轴线方向31，并且基于设定的主轴方向31确定树脂的施加位置，使得树脂液滴之间的距离α 沿主轴方向31间隔地施加的距离大于距离bgr; 在与主轴方向31正交的方向间隔开的树脂液滴之间; 以及基于所确定的施加位置施加树脂的施加单元。

3. 发明专利

JP4416218B2 Resin sealing method and resin sealing system 有权
公开(公告)号：JP4416218B2
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：JP26047399
申请日：1999-09-14
申请人：アピックヤマダ株式会社
发明人：文夫宮島
IPC分类号： B29C45/02 , H01L21/56 , B29C33/68 , B29C45/14 , B29C45/26 , B29C45/56 , B29C45/73
CPC分类号： B29C45/02 , B29C45/14655 , B29C45/2669 , B29C45/561 , B29C2043/5825 , B29C2043/5875 , B29C2045/14663

4. 发明专利

JPWO2011024745A1 ウエハレンズの製造方法有权
公开(公告)号：JPWO2011024745A1
公开(公告)日：2013-01-31
申请号：JP2011528776
申请日：2010-08-23
申请人：コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社
发明人：藤井　雄一 , 雄一藤井 , 章弘藤本 , 章弘藤本 , 俊哉瀧谷 , 俊哉瀧谷 , 細江　秀 , 秀細江
IPC分类号： H01L21/027 , B29C39/10 , B29C39/42 , G02B3/00
CPC分类号： B29C39/006 , B29C39/10 , B29C39/24 , B29C43/04 , B29C43/14 , B29C43/58 , B29C2043/141 , B29C2043/5875 , B29L2011/0016
摘要：本発明の課題は、ウエハレンズの製造において光軸上の厚みを一定にすることである。この課題は、樹脂を成形型(64)に滴下するディスペンス工程と、成形型(64)とガラス基板(2)との一方を他方に押圧するインプリント工程と、ガラス基板(2)を成形型(64)から離型する離型工程とを備え、ディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして繰り返し、ガラス基板(2)に樹脂製のレンズ部(4)を順次形成するウエハレンズの製造方法において、1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、レンズ部(4)の周辺の非レンズ部(6)の高さ位置(A)とガラス基板(2)の高さ位置(B、C)とを測定し、2サイクル目以降のインプリント工程では、高さ位置(A〜C)に基づき、成形型(64)の配置を補正する。

5. 发明专利

JP2012206339A Compression molding system 有权
标题翻译：压缩成型系统
公开(公告)号：JP2012206339A
公开(公告)日：2012-10-25
申请号：JP2011073240
申请日：2011-03-29
申请人： Toyo Seikan Kaisha Ltd , 東洋製罐株式会社
发明人： YONESATO JUN , MANO TAKETOSHI
IPC分类号： B29C43/34 , B29C43/02
CPC分类号： B29C43/34 , B29B11/12 , B29C43/04 , B29C43/08 , B29C43/58 , B29C2043/3466 , B29C2043/5816 , B29C2043/585 , B29C2043/5875 , B29C2049/028
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To detect defective delivery of a molten resin block with an inexpensive device, when the molten resin block is delivered from a molten resin block transfer device to a molding die, to reduce waste of materials, and to enable a quick restart of production once the device is suspended.SOLUTION: The system includes an infrared thermometer 13 which detects defective delivery of a molten resin block when the molten resin block is delivered from a molten resin block feeding device 3 to a female molding die 20 of a compression molding machine 4, to measure a temperature of a portion of the female molding die 20 located outside of the acceptable range in the female molding die 20 to which the molten resin block can be fed. If the molten resin block is present, the measured temperature is high, and if the molten resin block is not present, the temperature is low. Accordingly, the presence of the molten resin block at the portion can be determined, and thus, a defective delivery position can be detected.
摘要翻译：要解决的问题：为了检测熔融树脂块的不良输送，当熔融树脂块从熔融树脂块传递装置输送到模具时，为了减少材料的浪费，并且能够一旦设备暂停，即可快速重新启动生产。解决方案：该系统包括：红外线温度计13，当熔融树脂块从熔融树脂块供给装置3传送到压缩成型机4的母模20时，检测熔融树脂块的不良输送，测量位于可以供给熔融树脂块的母模20中可接受范围之外的母模20的一部分的温度。如果存在熔融树脂块，则测量温度高，如果熔融树脂块不存在，则温度低。因此，可以确定该部分处的熔融树脂块的存在，从而可以检测到不良的传送位置。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP3984824B2 Liquid material discharge device and a resin sealing system 有权
公开(公告)号：JP3984824B2
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：JP2001366427
申请日：2001-11-30
申请人：アピックヤマダ株式会社
发明人：英明中沢 , 勉宮川 , 一彦小林 , 直也後藤 , 智一朝倉 , 秀作田上
IPC分类号： B29C43/34 , B29C43/18 , B29C43/58 , B29K105/20 , H01L21/56
CPC分类号： B29C43/34 , B29C43/18 , B29C43/58 , B29C2043/3438 , B29C2043/5875 , B29K2105/0002

9. 发明专利

JP2018032746A インプリント装置、及び物品製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018032746A
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：JP2016164027
申请日：2016-08-24
申请人：キヤノン株式会社
发明人：大田俊輔
IPC分类号： B29C59/02 , H01L21/027
CPC分类号： G03F9/7069 , B29C43/58 , B29C2043/5808 , B29C2043/5816 , B29C2043/5875 , G03F7/0002 , G03F9/7042 , H01L21/302
摘要：【課題】倍率補正に係る効率の点で有利なインプリント装置を提供すること。【解決手段】基板3上のインプリント領域に供給されたインプリント材を型で成形してインプリント領域上にパターンを形成するステーション(インプリント装置6)を複数有するインプリントクラスター装置10は、複数のステーションそれぞれに設けられた、基板3の保持および温度調整を行う基板保持部4と、インプリント領域のサイズと基板3の温度とに基づいて、複数のステーションのうち当該基板3にパターンを形成するステーションの基板保持部4に温度調整の目標値を出力する制御部11と、を有する。【選択図】図1

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