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    • 3. 发明专利
    • オゾン水供給方法及びオゾン水供給装置
    • 臭氧水供应方法与装置
    • JP2015155083A
    • 2015-08-27
    • JP2014030742
    • 2014-02-20
    • オルガノ株式会社
    • 林 佳史山下 幸福山中 弘次
    • B01F1/00B01F15/02B01F15/04C01B13/10C02F1/78
    • B01F3/04985B01F15/0022B01F15/00344B01F15/0408B01F3/04439B01F3/2057B01F5/106C01B13/11C02F1/78B01F2003/04886C01B2201/64C01B2201/90C02F2103/04C02F2201/782C02F2209/23
    • 【解決課題】オゾン発生手段として放電式のオゾン発生手段を用いた場合に、循環系内への硝酸の蓄積を抑制することができるオゾン水供給方法及びそれを実施するためのオゾン水供給装置を提供すること。 【解決手段】原料超純水を循環タンクに供給すると共に、ユースポイントで使用されなかった返送オゾン水を該循環タンクに返送しながら、該循環タンク内の被溶解水を、一定の供給量でオゾン溶解手段に供給し、該オゾン溶解手段で該被溶解水にオゾンを溶解させてオゾン溶解水を得、次いで、得られた該オゾン溶解水を、該ユースポイントに供給すること、放電式のオゾン発生手段に、原料酸素ガスとして、窒素ガスの含有量が0.01体積%以下の酸素ガスを供給し、次いで、得られた該オゾン含有ガスを、該オゾン溶解手段に供給すること、該循環タンクに供給する該原料超純水の供給量を調節すること、該オゾン溶解水中の溶存オゾン濃度を調節すること、を特徴とするオゾン水供給方法。 【選択図】図1
    • 臭氧水供给方法包括:以给定的进料速率将包含在循环罐中的溶解水加入到臭氧装置中,同时向循环罐供给超纯水,并将循环罐中未使用的臭氧水返回到循环罐 使用臭氧化装置将臭氧溶解在溶解水中,得到臭氧化水,将臭氧水供给到使用点; 向放电型臭氧气体生产器供给氮气含量为0.01体积%以下的氧气,并将得到的含臭氧气体供给到臭氧化装置中; 调节超纯水进入循环罐的进料速度; 并调节臭氧水中溶解的臭氧浓度。 当使用排放型臭氧气体生产者作为臭氧气体生产者时,该方法可以减少或抑制再循环系统中硝酸的积聚。