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    • 5. 发明专利
    • 銅の電解エッチングを行うエッチング装置
    • 用于执行铜的电解蚀刻蚀刻装置
    • JP2014528516A
    • 2014-10-27
    • JP2014533763
    • 2011-10-08
    • ヘルクレ、クリストフHERKLE,Christoph
    • ヘルクレ、クリストフ
    • C25F7/00H01L21/3063H01L21/308
    • C25F3/02B01F3/04503B01F3/0876B01F5/0212B01F5/0413B01F5/106B01F13/1027B01F2003/04879B01F2003/04886C25F7/02H05K3/068H05K3/07
    • 本発明は、エッチング材料上の銅を電解エッチングするためのエッチング装置に関する。エッチング装置は、銅イオンを含有する酸性電解液及び酸素ガスまたはオゾンガスを収容し、第一の気液混合物を作成するための第一混合装置、該第一の気液混合物は第一混合装置の第一出口から、該第一出口に連結されている接続管路へ向けて流出する;容器内溶液を収容する容器;該容器内に配置され、該容器内溶液に浸かっている第二混合装置、該第二混合装置は、吸引口を有し、吸引口付近に存在する容器内溶液を吸引し、第二混合装置は、上記接続管路に接続され、接続管路からの第一の気液混合物と吸引された容器内溶液を第二混合装置の狭窄区域に送り出して、吸引された容器内溶液を第一の気液混合物と混合して第二の気液混合物を作成し、第二混合装置は、第二出口を有し、第二の気液混合物は該第二出口から流出して、第二出口付近に存在する容器内溶液と混合される;及び容器出口管路、容器出口管路は、該管路内に存在する容器内溶液を、エッチングモジュール内のエッチング材料に供給する、を有するエッチング装置。【選択図】図1
    • 本发明涉及一种蚀刻装置用于电解蚀刻在蚀刻材料的铜。 蚀刻装置,容纳所述酸性电解液和氧气或含臭氧的铜离子,用于创建第一气 - 液混合物中的第一混合装置,所述第一混合装置的第一气 - 液混合物 从第一出口,向着其被连接到所述连接线流到所述第一出口;容器壳体的容器溶液;设置在所述容器内,所述第二混合装置的容器内的溶液浸渍 ,所述第二混合装置包括一个吸入口,吸入存在于吸入口附近的容器的解决方案,所述第二混合装置被连接到所述连接线,所述第一气体从连接线 与吸入容器溶液的液体混合物变成了第二混合装置的缢缩区,以创建第二气 - 液混合物被吸入容器溶液与所述第一气体 - 液体混合物混合,所述第二 该混合装置具有第二出口,所述第二气体 - 液体混合物从所述第二出口流出,第一 据与存在于出口附近容器溶液混合;和容器出口管线,容器出口导管,与容器溶液中存在的腐蚀所述管路径,并且被蚀刻的模块中提供的蚀刻材料 设备。 点域1