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    • 7. 发明专利
    • 修正装置
    • 校正装置
    • JP2015062170A
    • 2015-04-02
    • JP2014146187
    • 2014-07-16
    • 株式会社日立ハイテクサイエンス
    • 荒巻 文朗八坂 行人松田 修杉山 安彦大庭 弘小堺 智一相田 和男
    • H01J37/08H01J37/248H01J37/317G03F1/74H01L21/027H01J27/26
    • G21K5/04G21K1/14H01J37/08H01J37/3053H01J2237/0807H01J2237/202H01J2237/31744
    • 【課題】試料へのダメージが小さく、長期間に亘って安定かつ効率良くマスクなどの微細箇所の修正を行なう。 【解決手段】修正装置10は、先鋭化されたティップを有するガス電界電離イオン源と、ティップを冷却する冷却手段と、ガス電界電離イオン源において発生したガスのイオンを集束させて集束イオンビームを形成するイオンビーム鏡筒11と、イオンビーム鏡筒11により形成された集束イオンビームが照射される試料を設置して移動可能な試料ステージ15と、試料ステージ15を内蔵する試料室13と、集束イオンビームによって試料としてのマスク14またはナノインプリントリソグラフィのモールドを修正する制御部20と、を少なくとも備える。ガス電界電離イオン源は、イオンを窒素とし、イオンを発生可能な単一の頂点を有するイリジウム単結晶により構成されたティップを備える。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:为了有效地纠正掩模等的细微细节,对样品的损伤小并且长时间具有稳定的效果。解决方案:校正装置10至少包括具有尖锐尖端的气田电离离子源 用于冷却末端的冷却装置,用于通过聚焦由气体电离离子源产生的气体离子形成聚焦离子束的离子束透镜镜筒11,可移动并装载被聚焦的样品的样品台15 由离子束透镜镜筒11形成的离子束,内置有样品台15的样品室13和校正掩模14作为样品的控制单元20,或者利用聚焦离子束进行纳米压印光刻的模具。 气田电离离子源设置有由具有单顶点的铱单晶形成的尖端,以从离子产生氮并能产生离子。