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1. 发明专利

JP2017130515A 搬送装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017130515A
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：JP2016007791
申请日：2016-01-19
申请人：株式会社ディスコ
发明人：北浦毅 , 安田祐樹 , 臼田聡
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/677
摘要：【課題】一連のウエーハの加工プロセス中において作動するウエーハ等を搬送する搬送装置により、装置構成全体が大型化することを解消する。【解決手段】ウエーハWを保持するウエーハ保持手段10と、リングフレームFを保持するリングフレーム保持手段11とを備え、ウエーハWとリングフレームFとを選択して搬送を可能とする搬送装置1であって、ウエーハ保持手段10は、ウエーハWの面を吸引保持するウエーハ保持部100と、ウエーハ保持部100を支持する第1のアーム101と、を備え、リングフレーム保持手段11は、リングフレームFを上下から挟持するリングフレーム挟持部110と、リングフレーム挟持部110を支持する第2のアーム111とを、備え、ウエーハ保持手段10とリングフレーム保持手段11とのいずれかを選択する選択手段12を備える搬送装置である。【選択図】図1

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