基本信息:
- 专利标题： 搬送装置
- 专利标题（英）：Transport device
- 申请号：JP2016007791 申请日：2016-01-19
- 公开(公告)号：JP2017130515A 公开(公告)日：2017-07-27
- 发明人： 北浦 毅 , 安田 祐樹 , 臼田 聡
- 申请人： 株式会社ディスコ
- 申请人地址： 東京都大田区大森北二丁目13番11号
- 专利权人： 株式会社ディスコ
- 当前专利权人： 株式会社ディスコ
- 当前专利权人地址： 東京都大田区大森北二丁目13番11号
- 代理人： 特許業務法人東京アルパ特許事務所
- 主分类号： B65G49/07
- IPC分类号： B65G49/07 ; H01L21/677
摘要：
【課題】一連のウエーハの加工プロセス中において作動するウエーハ等を搬送する搬送装置により、装置構成全体が大型化することを解消する。 【解決手段】ウエーハWを保持するウエーハ保持手段10と、リングフレームFを保持するリングフレーム保持手段11とを備え、ウエーハWとリングフレームFとを選択して搬送を可能とする搬送装置1であって、ウエーハ保持手段10は、ウエーハWの面を吸引保持するウエーハ保持部100と、ウエーハ保持部100を支持する第1のアーム101と、を備え、リングフレーム保持手段11は、リングフレームFを上下から挟持するリングフレーム挟持部110と、リングフレーム挟持部110を支持する第2のアーム111とを、備え、ウエーハ保持手段10とリングフレーム保持手段11とのいずれかを選択する選択手段12を備える搬送装置である。 【選択図】図1
公开/授权文献:
- JP6710050B2 搬送装置 公开/授权日：2020-06-17
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B65 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 |
| ----B65G | 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机 |
| ------B65G49/00 | 其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统 |
| --------B65G49/02 | .用于输送通过液浴的工件 |
| ----------B65G49/07 | ..用于半导体晶片的 |