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1. 发明专利

JP2015082569A ウエーハ加工システム审中-公开
标题翻译：波浪加工系统
公开(公告)号：JP2015082569A
公开(公告)日：2015-04-27
申请号：JP2013219563
申请日：2013-10-22
申请人：株式会社ディスコ
发明人：木崎清貴 , 安田祐樹 , 北浦毅 , 吉村寛
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/677
摘要：【課題】電力、流体の供給経路の複雑化を防ぎ、顧客の要望に応じた装置のレイアウト変更やメンテナンス作業が効率よく行えるウエーハ加工システムを提供することである。【解決手段】ウエーハに加工を施すウエーハ加工システムであって、複数のウエーハを収容したカセットを載置するカセット載置機構と、該カセット載置機構上に載置されたカセットに対してウエーハを搬出入する搬出入手段と、該搬出入手段によって搬出されたウエーハを搬送する搬送手段と、該搬送手段が移動する直線状の搬送経路と、該搬送手段を該搬送経路に沿って移動させる移動手段と、該搬送経路に沿って隣接して配設されたウエーハにそれぞれ加工を施す複数の加工装置と、該搬送経路に沿って配設された電力供給手段と、該搬送経路に沿って配設された流体供給手段と、を具備し、該複数の加工装置がそれぞれの加工作業に使用する電力及流体が、該電力供給手段及び該流体供給手段を介して供給されることを特徴とする。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种晶片处理系统，其可以防止电力和流体供应路径的复杂化，使得可以有效地执行根据客户端的请求和维护工作的设备布局改变。解决方案：一种用于处理晶片包括：盒放置机构，其上放置容纳多个晶片的盒; 携带/输出装置，用于将晶片装入和放出放置在盒放置机构上的盒子; 用于输送由进/出装置执行的晶片的输送装置; 输送装置移动的线性输送路径; 用于沿输送路径移动输送装置的移动装置; 多个处理装置，其沿着输送路径处理彼此相邻布置的各个晶片; 电源装置沿着输送路径布置; 以及沿输送路径布置的流体供给装置。用于多个处理装置的每个处理工作的功率和流体分别经由供电装置和流体供应装置供应。

2. 发明专利

JP2015065195A ウエーハ加工装置审中-公开
标题翻译：过滤加工设备
公开(公告)号：JP2015065195A
公开(公告)日：2015-04-09
申请号：JP2013196472
申请日：2013-09-24
申请人：株式会社ディスコ
发明人：安田祐樹 , 北浦毅 , 吉村寛
IPC分类号： B24B55/06 , H01L21/304 , H01L21/677
摘要：【課題】ウエーハの搬送中にウエーハに対する異物の付着を防止すること。【解決手段】本発明のウエーハ加工装置(1)は、ウエーハ(W)に加工を施す複数の加工モジュール(14、15、16、17)と、加工モジュール間でウエーハを搬送する搬送モジュール(13)とを備えている。搬送モジュールは、搬送ロボット(61a、61b)を走行させる位置付け手段(62a、62b)の構成部品、この構成部品を包囲する包囲ボックス(76)を有している。包囲ボックス内はファンモータ(82)の回転によって吸気口(77)からフィルタ(81)に向かう空気の流れが形成され、フィルタを通じて包囲ボックス外にきれいな空気が排出させる構成にした。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：为了防止在晶片的输送过程中异物附着在晶片上。解决方案：晶片处理装置（1）包括：多个处理模块（14,15,16,17），其处理晶片（ W）; 以及在所述处理模块之间传送所述晶片的传送模块（13）。运输模块具有用于使运输机器人（61a和61b）行进的定位装置（62a和62b）的部件; 以及围绕所述部件的外壳盒（76）。在封闭箱中，通过风扇马达（82）的旋转而形成从吸入口（77）朝向过滤器（81）的气流，并且经由过滤器将清洁空气排出到外壳。

3. 发明专利

JP2017130515A 搬送装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017130515A
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：JP2016007791
申请日：2016-01-19
申请人：株式会社ディスコ
发明人：北浦毅 , 安田祐樹 , 臼田聡
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/677
摘要：【課題】一連のウエーハの加工プロセス中において作動するウエーハ等を搬送する搬送装置により、装置構成全体が大型化することを解消する。【解決手段】ウエーハWを保持するウエーハ保持手段10と、リングフレームFを保持するリングフレーム保持手段11とを備え、ウエーハWとリングフレームFとを選択して搬送を可能とする搬送装置1であって、ウエーハ保持手段10は、ウエーハWの面を吸引保持するウエーハ保持部100と、ウエーハ保持部100を支持する第1のアーム101と、を備え、リングフレーム保持手段11は、リングフレームFを上下から挟持するリングフレーム挟持部110と、リングフレーム挟持部110を支持する第2のアーム111とを、備え、ウエーハ保持手段10とリングフレーム保持手段11とのいずれかを選択する選択手段12を備える搬送装置である。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2015082570A ウエーハ加工システム审中-公开
标题翻译：波浪加工系统
公开(公告)号：JP2015082570A
公开(公告)日：2015-04-27
申请号：JP2013219565
申请日：2013-10-22
申请人：株式会社ディスコ
发明人：安田祐樹 , 北浦毅 , 吉村寛
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/677
摘要：【課題】ウエーハを搬送中にウエーハを常に濡れた状態に保つとともに、ウエーハに供給した純水等の液体が装置内に飛散することを防止するウエーハ加工システムを提供する。【解決手段】搬出されたウエーハ11を搬送する搬送手段と、該搬送手段が移動する直線上の搬送経路と、前記搬送手段を移動させる移動手段と、該搬送経路に沿って隣接して配設されたウエーハにそれぞれ加工を施す複数の加工装置と、を具備し、前記搬送手段は、搬送中のウエーハを保持するとともに複数の該加工装置の間でウエーハを受け渡す保持機構74と、保持機構74を支持するアーム部34と、保持機構74に保持されたウエーハの上面に液体を供給する液体供給手段78と、保持機構74に保持されたウエーハよりも下方に位置し、液体供給手段78によってウエーハの上面に供給された後にウエーハから流れ落ちた液体を受け止めて貯留する貯留部を有するトレーと、を含む。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：提供一种晶片处理系统，其在晶片的输送期间不断地保持处于湿润状态的晶片，并且防止供应到晶片的液体（例如纯水）在器件中散射。解决方案：晶片加工系统包括：运送已经执行的晶片11的运送装置; 位于运输装置移动的直线上的运输路径; 移动装置移动运输工具; 以及分别对沿着输送路径彼此相邻布置的晶片进行处理的多个处理装置。输送装置包括：保持机构74，其保持被输送的晶片并在多个处理装置之间传送晶片; 支撑保持机构74的臂部34; 液体供给装置78，其将液体供应到由保持机构74保持的晶片的上表面; 并且位于由保持机构74保持的晶片下方的托盘包括容纳液体的池部分，该液体部分通过液体供应装置78供应到晶片的上表面，然后从晶片向下流动;以及储存液体。

5. 发明专利

JP6710050B2 搬送装置有权
公开(公告)号：JP6710050B2
公开(公告)日：2020-06-17
申请号：JP2016007791
申请日：2016-01-19
申请人：株式会社ディスコ
发明人：北浦毅 , 安田祐樹 , 臼田聡
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/677

6. 发明专利

JP6329813B2 搬送ロボット有权
公开(公告)号：JP6329813B2
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：JP2014104956
申请日：2014-05-21
申请人：株式会社ディスコ
发明人：安田祐樹 , 北浦毅
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/677 , B24B55/06 , B25J9/06

7. 发明专利

JP2015217501A 搬送ロボット有权
标题翻译：转运机器人
公开(公告)号：JP2015217501A
公开(公告)日：2015-12-07
申请号：JP2014104956
申请日：2014-05-21
申请人：株式会社ディスコ
发明人：安田祐樹 , 北浦毅
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/677 , B24B55/06 , B25J9/06
摘要：【課題】加工工程のタクトタイムを短縮できると共に、装置の省スペース化及びコスト低減を図ること。【解決手段】搬送ロボット(51)は、板状ワーク(W)を保持面(56)で吸引保持する搬送パッド(53)と、搬送パッドを水平移動可能に支持するアーム(52)と、搬送パッドに吸引保持された板状ワークの下面(Wa)を洗浄するワーク洗浄機構(77)とを備え、板状ワークの搬送中にアームによって搬送パッドがワーク洗浄機構に近づけられ、ワーク洗浄機構によって搬送パッドに保持された板状ワークの下面を洗浄するように構成した。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供一种缩短加工步骤的生产节拍时间并实现节省空间和降低成本的传送机器人。解决方案：传送机器人（51）包括：传送垫（53）（W）在保持面（56）上; 臂（52），其支撑所述传送垫，使得所述传送垫可以在水平方向上移动; 以及清洁被转印垫吸附并保持的板状工件的下表面（Wa）的工件清洁机构（77）。当传递板状工件时，传送垫通过臂移动靠近工件清洁机构，并且由传送垫保持的板状工件的下表面被工件清洁机构清洁。

8. 发明专利

JP2015076590A ウェーハ搬送ロボット着脱治具审中-公开
标题翻译：移动机器人移动/拆卸工具
公开(公告)号：JP2015076590A
公开(公告)日：2015-04-20
申请号：JP2013213958
申请日：2013-10-11
申请人：株式会社ディスコ
发明人：安田祐樹 , 北浦毅 , 吉村寛
IPC分类号： H01L21/677
摘要：【課題】ウェーハ搬送ロボットを容易に着脱することができるウェーハ搬送ロボット着脱治具を提供すること。【解決手段】ウェーハを保持する保持部511を備えたウェーハ搬送ロボット51と、ウェーハ搬送ロボット51をガイドレール53に沿って移動する移動手段とを有するウェーハ搬送機構50において、ガイドレール53にウェーハ搬送ロボット51を着脱するウェーハ搬送ロボット着脱治具1−1であって、ウェーハ搬送ロボット51を移動可能に支持する治具用ガイドレール2と、治具用ガイドレール2を固定する基台部と、基台部を移動可能に支持する移動補助部4と、を有し、基台部を移動させ、ガイドレール53の端部53bに治具用ガイドレール2の端部2bを突き当てて連結し、ウェーハ搬送ロボット51をガイドレール53と治具用ガイドレール2に沿って移動させ、ガイドレール53にウェーハ搬送ロボット51を着脱する。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供能够容易地安装和拆卸晶片传送机器人的晶片传送机器人安装/拆卸工具。解决方案：提供了一种晶片传送机器人安装/拆卸工具1-1，其附接/分离晶片传送机器人 51具有导向轨53，具有晶片传送机器人51的晶片传送机构51具有用于保持晶片的保持部分511和使晶片传送机器人51沿导轨53运动的移动装置。晶片传送机器人安装/拆卸工具具有用于可移动地支撑晶片传送机器人51的工具的导轨2，固定用于工具的导轨2的基部和可移动地支撑基部的移动辅助部4，并且移动将工具用导轨2的端部2b在抵接状态下连接到导轨53的端部53b的基部，然后沿着用于工具的导轨和导轨2移动晶片传送机器人51，以便附加/ de 将晶片传送机器人51移动到/从导轨53移动。

9. 发明专利

JP2020194901A 搬送ロボット审中-公开
公开(公告)号：JP2020194901A
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：JP2019100121
申请日：2019-05-29
申请人：株式会社ディスコ
发明人：安田祐樹 , 小木智史
IPC分类号： B25J9/04 , H01L21/677
摘要：【課題】搬送ロボットにおいて、ワーク保持部とリングフレーム把持部とを一体化し省スペース化を図り、ワークとリングフレームとが搬送でき、また、リングフレームを変形させないようにする。【解決手段】板状ワークとリングフレームとを搬送するロボット1であり、ワークを保持する吸着パッド12と、吸着パッド12をX軸方向に前後進させる第一移動手段3と、フレーム開口を挟み平行に2本配置されフレーム両側面を支持するレール16a、bと、レールをX軸方向に前後進させる第二移動手段4と、リングフレーム外周縁把持部50と、把持部50をX軸方向に前後進させレール16a、b上でリングフレームをX軸方向に移動させる第三移動手段6と、吸着パッド12とレール16a、16bと把持部50とを水平方向において旋回移動、又はY軸方向に直動させる第四移動手段7と、吸着パッド12とレール16a、16bと把持部50とをZ軸方向に昇降する昇降手段8とを備えるロボット1。【選択図】図2

10. 发明专利

JP2015207622A 搬送機構审中-公开
标题翻译：承担机制
公开(公告)号：JP2015207622A
公开(公告)日：2015-11-19
申请号：JP2014086265
申请日：2014-04-18
申请人：株式会社ディスコ
发明人：安田祐樹
IPC分类号： B65G49/07 , B25J9/06 , B24B41/06 , H01L21/677
摘要：【課題】安価な搬送機構で搬送ロボットを構成するとともに搬送機構の修理や調整を容易にする。【解決手段】本発明の搬送機構は、板状ワークWを保持する保持ユニット21とこれを上下方向と水平方向とに移動させる移動ユニット24とを備える搬送ロボット20と、搬送ロボット20を直線状の走行方向に走行させる走行ユニット24とにより構成され、走行ユニット24によって搬送ロボット20を走行方向に走行させつつ、移動ユニット24の旋回部28によって保持ユニット21を搬送先に向けて旋回させることにより、保持ユニット21が保持する板状ワークを搬送先に搬送するため、、安価な搬送機構で搬送ロボット20を構成でき、搬送機構の構成が簡易となり該搬送機構の修理や調整を容易に行うことができる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：通过廉价的携带机构构造携带机器人，并且便于维修或调节运送机构。传送机构由携带机器人20组成，运送机器人20具有保持板坯工件W 以及移动单元24，其沿着垂直方向和水平方向移动保持单元21; 以及使行进机器人20沿直线行进方向行进的行进单元24。当携带机器人20由行进单元24沿行进方向行进时，保持单元21通过移动单元24的旋转部28朝向运送目的地旋转，从而承载由保持单元保持的板状工件 21到运送目的地。因此，携带机器人20可以由便宜的运送机构构成，并且运送机构的结构简化，便于搬运机构的修理或调整。

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