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    • 9. 发明专利
    • 複数のカメラを使用した基板検査
    • 使用多个摄像机检查基板
    • JP2014206547A
    • 2014-10-30
    • JP2014151456
    • 2014-07-25
    • オルボテック リミテッドOrbotech Ltdオルボテック リミテッド
    • OFER SAPHIERISRAEL SHAPPIRAYAAKOV DAVIDI
    • G01N21/956G01B11/00
    • G06T7/0004G01N21/8851G01N21/956G01N21/95684G06T7/33G06T2207/10016G06T2207/30108
    • 【課題】対象物を検査するために複数のカメラを使用する、自動光学的検査のための装置及び方法を提供する。【解決手段】撮像組立品であって、撮像組立品中の異なる、それぞれの位置に搭載され、試料のそれぞれの画像を記録するように構成された複数のカメラを含む撮像組立品と、撮像組立品を、位置に関する所定の許容誤差で制限された走査精度で試料を走査させるために、撮像組立品と試料の少なくとも一つを動かすように構成された移動組立品と、位置に関する許容誤差よりも細かい位置精度で試料の中の欠陥の位置を特定するために、カメラによって記録された画像を受信し、かつ、処理するように結合された画像処理装置と、を備える、検査用の装置および検査方法。画像処理装置は、試料の走査中に複数のカメラで記録された全ての画像について登録を実行することにより、累積の誤差無しで欠陥のグローバルな位置を決定する。【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种使用多个照相机进行自动光学检查的装置和方法来检查物体。解决方案:一种用于检查的装置,包括:成像组件,包括多个照相机,其安装在不同的相应位置 在成像组件中并被配置为捕获样本的各个图像; 运动组件,其构造成移动成像组件和样本中的至少一个,以使成像组件以受预定位置公差限制的扫描精度扫描样本; 以及图像处理器,其被耦合以接收和处理由相机拍摄的图像,以便以比位置公差更精细的位置精度来定位样本中的缺陷。 图像处理器在扫描期间记录由相机记录的样本的所有图像,以确定缺陷的全局位置而没有累积误差。