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    • 81. 发明专利
    • 半導体光集積素子
    • 半导体光学集成元件
    • JP2015216318A
    • 2015-12-03
    • JP2014099704
    • 2014-05-13
    • 住友電気工業株式会社
    • 八木 英樹
    • G02F1/025G02B6/12G02B6/122H01S5/026
    • G02F1/2255G02F1/2257H01S5/0261H01S5/0265G02F2001/212H01S5/06256H01S5/06258H01S5/1209H01S5/1212H01S5/1215H01S5/2275
    • 【課題】波長可変レーザを光変調器と単一の基板上にモノリシックに集積するに際して、レーザダイオードの性能を提供するための構造、及び光変調器の性能を提供するための構造を共存させる構造を有する半導体光集積素子を提供する。 【解決手段】レーザ導波路29、半導体導波路17、並びに第1アーム導波路37b及び第2アーム導波路37cが埋込領域39で埋め込まれるので、導波路の側面を保護できると共に電気印加に係るリーク電流を低減できる。第1アーム導波路及び第2アーム導波路を埋込領域で埋め込むことに加えて、第1アーム導波路及び第2アーム導波路にトレンチ構造(47a、47b、47c、47d)を埋込領域に設けている。これらのトレンチ溝は、塗布により形成される樹脂体の厚さを第1アーム導波路及び第2アーム導波路上において均一にすることに寄与する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:为了提供具有提供激光二极管的性能的结构的结构的半导体光学集成元件和用于提供光学调制器的功能的结构,当集成波长可变激光器和光学调制器时共存 单片衬底上的单片。解决方案:由于激光波导29,半导体波导17以及第一臂波导37b和第二臂波导37c被嵌入式域39嵌入,因此可以保护波导的侧面, 相关的电力可以减少。 除了通过嵌入式域嵌入第一臂波导和第二臂波导之外,沟槽结构(47a,47b,47c,47d)设置在第一臂波导和第二臂波导的嵌入域中。 这些沟槽有助于使第一臂波导和第二臂波导上的由涂层形成的树脂体的厚度均匀。