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    • 1. 发明专利
    • マッハツェンダ変調器、光変調装置
    • JP2022000713A
    • 2022-01-04
    • JP2021164036
    • 2021-10-05
    • 住友電気工業株式会社
    • 河野 直哉
    • G02F1/025
    • 【課題】安定した接地電位を可能にする差動伝送路を備えるマッハツェンダ変調器を提供する。 【解決手段】マッハツェンダ変調器は、下部半導体領域、上部半導体層、及び前記下部半導体領域と前記上部半導体層との間のコア層を含む第1半導体アームと、下部半導体領域、上部半導体層、及び前記下部半導体領域と前記上部半導体層との間のコア層を含む第2半導体アームと、前記第1半導体アームの前記下部半導体領域及び前記第2半導体アームの前記下部半導体領域を互いに接続する導電性半導体領域と、前記第1半導体アームの前記上部半導体層及び前記第2半導体アームの前記上部半導体層にそれぞれ結合された第1信号伝搬導電体及び第2信号伝搬導電体と、前記導電性半導体領域上において前記第1信号伝搬導電体と前記第2信号伝搬導電体との間を延在する基準電位導電体とからなる差動伝送路を備え、前記基準電位導電体は前記導電性半導体領域から絶縁されている。 【選択図】図1