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    • 64. 发明专利
    • 効率が安定した光起電力素子の製造方法および製造装置
    • 一种用于制造稳定的光电元件的效率的方法和装置
    • JP2016525276A
    • 2016-08-22
    • JP2016522294
    • 2013-09-26
    • ユニバシテート コンスタンツユニバシテート コンスタンツ
    • アクセル ヘルグート,アクセル ヘルグート,スヴェンジャ ウィルキング,スヴェンジャ ウィルキング,
    • H01L31/068C23C28/00
    • H01L31/1864F27B9/066H01L21/67109H01L21/67115H01L31/068H01L31/1804H01L31/1868Y02E10/547Y02P70/521
    • 効率が安定した光起電力素子を製造する方法、および該方法を実行するのに使用してもよい装置であって、例えば特別に対応した連続炉の形式の装置を提供する。これにより、エミッタ層および電気接点を備えるシリコン基板は安定化処理工程が施される。この工程において、例えば水素化窒化シリコン層からの水素は、例えば最大温度の領域(2)内でシリコン基板に導入される。その後シリコン基板は、水素の流出を避けるために、領域(3)内で合目的的に急速に冷却されてもよい。その後シリコン基板は、例えば領域(4)において、例えば少なくとも10秒間、230℃〜450℃の温度範囲内で合目的的に維持されてもよい。これにより、先に導入された水素は、好都合な結合状態を呈することが可能である。同時にあるいはその後、再生は、少なくとも90℃、好ましくは少なくとも230℃の温度で、基板内に過剰少数電荷キャリアを生成することによって行われてもよい。全体として、提案された方法によって、光起電力素子の製造における再生処理を、例えば、適切に修正された連続炉内で行われてもよいように、大幅に加速されてもよい。【選択図】図3
    • 效率是提供一种用于制造光伏器件的方法稳定,并且可以用于执行该方法的装置,的连续炉形式的装置中,例如,相应的特殊。 因此,执行所述发射极层和具有电接触稳定化处理的硅衬底。 在该步骤中,例如,从氢化氮化硅层中的氢被导入到硅衬底,例如,该区域的上限温度(2)。 此后在硅衬底中,为了避免氢的流出,区域(3)可以被快速方便地内冷却。 此后在硅衬底,例如在区域(4),如至少10秒,可以故意保持在温度范围230℃至450℃.. 因此,氢先前介绍,也能够显示出良好的结合条件。 同时或随后,再现是至少90℃,优选在至少230℃的温度,它可以通过在基板生成过量少数电荷载流子来进行。 总体而言,所提出的方法,在光生伏打器件的制造中的再现过程中,例如,如可在适当修改的连续炉中进行可大大加快。 点域