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    • 4. 发明专利
    • 太陽電池及び太陽電池の製造方法
    • 制造太阳能电池和太阳能电池的方法
    • JP2017038060A
    • 2017-02-16
    • JP2016158700
    • 2016-08-12
    • エルジー エレクトロニクス インコーポレイティド
    • イ マンリ テヨンキム チョンキョアン チョンヨン
    • H01L31/068H01L31/18
    • H01L31/03921H01L31/02167H01L31/02168H01L31/022425H01L31/028H01L31/068H01L31/0682H01L31/18H01L31/1804H01L31/1864
    • 【課題】本発明は、太陽電池の製造方法を提供する。 【解決手段】本発明に係る太陽電池の製造方法の一例は、第1導電型の不純物を含有した半導体基板の一面全体に第2導電型の不純物を注入する段階と半導体基板の一面と側面の全面と半導体基板の反対面の端までドーピング防止膜を形成する段階と、半導体基板の反対面に高濃度で第1導電型の不純物を注入する段階と、半導体基板を熱処理して、半導体基板に第2導電型のエミッタ部と第1導電型の背面電界部を同時に形成する熱処理工程と、ドーピング防止膜を除去する洗浄工程とを含む。 このように製造された本発明の一例に係る太陽電池においてエミッタ部は、半導体基板の側面に、さらに位置するが、半導体基板の反対面の端の側面まで位置し、背面電界部は半導体基板の反対面の端に位置するエミッタ部から離隔される。 【選択図】図1
    • 本发明涉及的太阳能电池的制造方法。 对于根据本发明的制造太阳能电池的方法的实例包括,在阶段的一个表面和侧面以及一个含有第一导电类型杂质的半导体衬底的整个一个表面上注入第二导电类型的杂质的半导体衬底 形成在整个表面上和掺杂防止膜的半导体基板的相对表面的边缘,其特征在于注入的高浓度第一导电类型杂质注入到所述半导体衬底的相对表面的步骤,通过热处理所述半导体基板,在半导体基板 它包括同时形成的第一导电类型的第二导电类型背表面场部的发射极一热处理步骤,以及去除所述掺杂防止层的清洁步骤。 根据这样制造的本发明中,半导体衬底的侧表面的一个例子的太阳能电池发射极部分,尽管另外的位置,位于所述半导体基板的相对表面的端部的一侧,背面场区域是在半导体衬底的 它是由位于相对面的端部的发射极分离。 点域1