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    • 55. 发明专利
    • 基板処理方法及び基板処理治具
    • 基板处理方法和基板处理
    • JP2015175015A
    • 2015-10-05
    • JP2014051115
    • 2014-03-14
    • 東京エレクトロン株式会社
    • 岩津 春生
    • C25D7/12C25D5/02
    • C25D7/12C25D17/001C25D17/02C25D17/10C25D5/003H01L21/2885H01L21/76898
    • 【課題】基板処理治具と基板の位置調整を適切に行い、当該基板処理治具を用いた基板処理を適切に行う。 【解決手段】テンプレート20は、空気供給溝22、アライメント液排出孔23、アライメント液排出槽24を有する。空気供給溝22、アライメント液排出孔23、アライメント液排出槽24は、ウェハの表面全面にアライメント液が供給され、さらにテンプレート20がアライメント液を挟んでウェハ上に配置された状態で、スクライブラインからアライメント液排出孔23を介してアライメント液排出槽24に毛細管現象によってアライメント液が排出されると共に、空気供給溝22とスクライブラインとの間で形成される空間に空気が供給されて、チップの周縁部と処理領域21との間に気液界面が形成されるように設けられる。 【選択図】図4
    • 要解决的问题:正确地进行基板处理夹具和基板的定位,并使用基板处理夹具适当地进行基板处理。解模:模板20具有:供气槽22; 对准液排出孔23; 取向液体排出槽24.供给槽22,取向液排出孔23以及取向液排出槽24配置成将取向液供给到晶片的整个表面的状态,模板20为 设置在晶片上,同时插入对准液体,基于毛细管现象,通过取样液排出孔23将取向液排出到取向液体排出槽24中,并将空气供给到形成在空气之间的空间 供给槽22和划线,并且在芯片的周缘部和处理区域21之间形成气液界面。
    • 58. 发明专利
    • Pattern formation apparatus and pattern formation method
    • 模式形成装置和模式形成方法
    • JP2014040633A
    • 2014-03-06
    • JP2012183261
    • 2012-08-22
    • Jtekt Corp株式会社ジェイテクト
    • STOIMENOV BOYKOYAMAKAWA KAZUYOSHISUZUKI MASAHIROMATSUO KAZUAKI
    • C25D13/00B05D3/10
    • C25D5/02C25D13/22C25D17/00C25D17/004C25D17/02C25D17/12
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To enable the reduction of the number of steps in a case where films of different types are formed respectively within multiple regions on the surface F of a workpiece W and where a specified film pattern is obtained from these films.SOLUTION: The provided pattern formation apparatus includes multiple tanks 11 through 19 and a power supply device 10. The tanks 11 through 19 possess aperture edges having shapes identical respectively to contour shapes of multiple regions in which films of mutually different types are scheduled to be formed, and electrodeposition liquids for forming films of different types are stocked respectively therein in a state where the aperture edges thereof are being contacted with the surface F of a workpiece W. The power supply device 10 impresses a specified voltage between the workpiece W serving as a first electrode and each of second electrodes positioned respectively within the multiple tanks 11 through 19.
    • 要解决的问题:为了能够在工件W的表面F上的多个区域内分别形成不同类型的膜的情况下的步骤数目的减少,并且从这些膜获得指定的膜图案。解决方案: 所提供的图案形成装置包括多个容器11至19和电源装置10.容器11至19具有孔边缘,其具有与其中预定形成彼此不同类型的膜的多个区域的轮廓形状相同的形状;以及 用于形成不同类型薄膜的电沉积液分别在其孔边缘与工件W的表面F接触的状态下放置。电源装置10在作为第一电极的工件W之间施加指定的电压 并且每个第二电极分别位于多个罐11至19内。