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41. 发明专利

JP2016115738A エッチング処理方法及びベベルエッチング装置审中-公开
标题翻译：蚀刻方法和水蚀蚀刻装置
公开(公告)号：JP2016115738A
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：JP2014251613
申请日：2014-12-12
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：近藤昌樹
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/304 , H01L21/302
CPC分类号： H01L22/26 , B23K26/032 , B23K26/362 , H01L21/0209 , H01L21/31138 , H01L21/6708 , H01L21/67115 , H01L21/67253 , H01L22/12
摘要：【課題】ベベル部のエッチング処理においてレーザ光の出力値の異常を検出する。【解決手段】レーザジェネレータと撮像部とを有し、レーザ光を照射して基板をエッチングするベベルエッチング装置を用いたエッチング処理方法であって、前記レーザジェネレータから照射されるレーザ光の散乱光により処理容器内を照らし、前記撮像部により前記処理容器内の画像を撮像する工程と、撮像した前記処理容器内の画像のうち、予め選定した所定領域の画像の輝度を算出する工程と、前記レーザジェネレータから出力されるレーザ光の出力値と輝度との相関関係を示すデータに基づき、算出した前記輝度に対する前記レーザ光の出力値を監視する工程と、を含むエッチング処理方法が提供される。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：在斜面部件的蚀刻中检测激光输出值的异常。解决方案：使用具有激光发生器和成像部分的斜面蚀刻装置的蚀刻方法，并通过施加激光来蚀刻基板光包括利用从激光发生器施加的激光的散射光照射处理容器的内部并通过成像部分捕获处理容器中的图像的步骤，用于计算图像的亮度的步骤预先决定的区域，从所捕获的处理容器中的图像中选出的步骤，以及根据表示激光输出值的相关性的数据的数据监视激光的输出值的步骤从激光发生器输出的光和亮度。选择图：图4

42. 发明专利

JP5929935B2 レーザクラッド加工における品質管理方法及びレーザクラッド加工装置有权
标题翻译：质量控制方法，并在激光熔覆处理的激光熔覆处理装置
公开(公告)号：JP5929935B2
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：JP2014006778
申请日：2014-01-17
申请人：トヨタ自動車株式会社
发明人：谷中耕平
IPC分类号： B23K26/342 , B23K26/00
CPC分类号： B23K26/032 , B23K26/144 , B23K26/34 , C23C4/08 , C23C4/12

43. 发明专利

JP5896459B2 マーキング装置及び方法有权
标题翻译：标记装置和方法
公开(公告)号：JP5896459B2
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：JP2012049102
申请日：2012-03-06
申请人：東レエンジニアリング株式会社
发明人： ▲濱▼川直良 , 谷川央樹
IPC分类号： B23K26/02 , B23K26/08 , B23K26/00
CPC分类号： B23K26/0876 , B23K26/0084 , B23K26/032 , B23K26/0344 , B23K26/0643 , B23K26/082 , B23K26/0846 , B23K37/0235 , B23K2201/36

44. 发明专利

JP2016508450A 所定輪郭を有する板金素材の切断方法有权
标题翻译：具有预定构型的切割金属片材的方法
公开(公告)号：JP2016508450A
公开(公告)日：2016-03-22
申请号：JP2015559466
申请日：2014-02-18
申请人：シューラーアウトマツィオーンゲーエムベーハーウントコーカーゲーSchuler Automation Gmbh & Co. Kg , シューラーアウトマツィオーンゲーエムベーハーウントコーカーゲーSchuler Automation Gmbh & Co. Kg
发明人：エルヴァインハインツ , エルヴァインハインツ
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/00
CPC分类号： B23K26/38 , B23K26/032 , B23K26/0846 , B23K26/0876
摘要：本発明は、搬送方向(x)に連続的に搬送される金属ストリップ(1)から所定輪郭(K)を有する板金素材(5)を切断する方法であり、以下の工程、すなわち、搬送方向(x)とそれに対して垂直に延びるy方向との両方向に移動させることができる少なくとも1つのレーザ切断ヘッド(L1、L2、L3)を有する少なくとも1つのレーザ切断装置(2)と、所定輪郭(K)を作り出す制御プログラムによってレーザ切断ヘッド(L1、L2、L3)の動きを制御するための制御装置とを備えること;レーザ切断装置(2)の上流に設けられた経路測定装置によって、搬送方向(x)に関して金属ストリップ(1)の経路(△Xstrip)を連続的に測定すること;及び経路測定装置によって提供された測定経路値を使用し、制御プログラムによって少なくとも1つのレーザ切断ヘッド(L1、L2、L3)の動きを動的に計算すること;を含む方法に関する。
摘要翻译：本发明是一种用于切割金属板材料（5）具有在金属带的一个预定的轮廓（K）（1），其在输送方向（X）连续输送，以下步骤，即，在输送方向的方法（ x）和至少一个激光切割装置具有至少一个激光切割头（L1，L2，L3）可以在两个延伸的垂直于此，并且（2），预定的轮廓的y方向上移动（K ）激光切割头（L1，L2，L3），其用于控制所述创建控制程序的动作的控制装置;由所述路径测量所述激光切割装置（2），所述输送方向的上游侧设置装置（金属带（1）相对于x的路径）（△Xstrip）连续地可以测量;使用所述测量的路径值，并通过路径测量装置，至少一个激光切割头通过控制程序（L1，L2提供动态计算L3的运动）和;所述方法包括。

45. 发明专利

JP5878330B2 レーザー光線の出力設定方法およびレーザー加工装置有权
标题翻译：激光束的输出设定方法以及激光加工装置
公开(公告)号：JP5878330B2
公开(公告)日：2016-03-08
申请号：JP2011228971
申请日：2011-10-18
申请人：株式会社ディスコ
发明人：森數洋司 , 西野曜子
IPC分类号： H01L21/20 , H01L21/268 , H01L21/02 , B23K26/00
CPC分类号： B23K26/032 , B23K26/0853 , B23K26/40 , B23K26/402 , G01N21/718 , G01N21/73 , H01L21/67092 , H01L21/67253 , H01L22/26 , H01L33/0095 , B23K2203/172 , H01L33/007

46. 发明专利

JP5865303B2 レーザ処理装置、およびレーザ処理方法有权
标题翻译：激光治疗装置和激光加工方法
公开(公告)号：JP5865303B2
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：JP2013145987
申请日：2013-07-12
申请人：アイシン精機株式会社 , トヨタ自動車株式会社
发明人：比江嶋裕喜 , 太田道春 , 古村雄太
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/265
CPC分类号： H01L21/2636 , B23K26/032 , B23K26/0613 , B23K26/0624 , B23K26/0861 , H01L21/02532 , H01L21/02686 , H01L21/02691 , H01L21/268 , H01S3/11 , H01S3/2383 , H01S3/005 , H01S3/0057 , H01S3/0085 , H01S3/2308

47. 发明专利

JP2016500026A 手操作可能な溶接ガン有权
标题翻译：手动操作焊枪
公开(公告)号：JP2016500026A
公开(公告)日：2016-01-07
申请号：JP2015538111
申请日：2013-10-21
申请人：アイピージーフォトニクスコーポレーション , アイピージーフォトニクスコーポレーション , フォルクスワーゲン・アーゲー
发明人：ヴァレンティン・フォミン , アントン・スタロヴォイトフ , アンドレイ・アブラモフ , ヴァレンティン・ガポンツェフ , アルチョム・フックス , インゴ・シュラム , ユージン・シェルバコフ , ホルガー・マメロウ , アンドレアス・ミハルジーク
IPC分类号： B23K26/21 , B23K26/00 , B23K26/08 , B23K26/142 , B23K26/16 , B23K26/24
CPC分类号： B23K26/0096 , B23K26/032 , B23K26/082 , B23K26/142 , B23K26/1476 , B23K26/22 , B23K26/24 , B23K26/705
摘要：手で移動させることができるレーザー溶接ガンは、縦軸に沿って延在する細長い支持柱により構成されていると共に、軽量な材料から作られる。支持板は、支持柱に移動可能に載置され、支持柱上でビームガイド光学系を備えている光学ヘッドを支持する。光学系は、光学ヘッドの保護窓を介して溶接ゾーンに向かってある経路に沿ってレーザービームを導くように構成される。レーザー溶接ガンは、支持板に載置されて、光学ヘッドに対して正反対側のガンの縦軸に沿って延在する第1アームで更に構築される。移動可能なアームの内側表面は、光学ヘッドに整合されており、レーザービームと、加圧ガス状の媒体の軸方向に流れる第1ストリームと、ガス状の媒体の軸方向に流れる第2ストリームと、によって軸方向に横断されるトンネルを画定する内側表面を有する。支持柱において発生する気圧勾配に対応して第1ストリームの圧力より低い圧力でトンネルに入る第2ストリームは、支持柱内で空気渦(vortexes)を生成しない。第1及び第2ストリームは、溶接ゾーンの隣のトンネルの下流側の端を通って出る。第1及び第2ストリームが流れ出るとき、それらは溶接破片が前記光学ヘッドの保護窓に到達する前にトンネル内で流れる溶接破片を運び出す。
摘要翻译：激光焊接枪可以用手移动，具有由细长支撑柱沿纵向轴线延伸，由轻材料制成的被沿着构成。支撑板可移动地安装在支撑柱，其支撑光学头包括在所述支柱的光束引导光学系统。光学配置为沿着朝向通过光学头的保护窗口的焊接区的路径引导的激光束。激光焊枪安装在支撑板，它进一步通过沿着相对于光学头的枪的相反侧的纵向轴线延伸的第一臂构成。可动臂的所述内表面与所述光学头中，激光束，在加压气体介质的轴向方向上流动的第一料流，并在气态介质的轴向方向上流动的第二料流对准具有内表面限定由沿轴向穿过的隧道。响应于压力梯度发生在支撑柱的第二料流在比第一流的压力不会产生在支撑柱空气涡流（旋涡）的压力下进入隧道。第一和第二气流通过邻近焊缝区域中的隧道的下游端射出。当第一和第二料流流出，它们带走焊碎片之前在隧道中流动的焊接碎屑到达光学头的保护窗口。

48. 发明专利

JP2015536244A ロボット・レーザシームステッパー审中-公开
公开(公告)号：JP2015536244A
公开(公告)日：2015-12-21
申请号：JP2015538113
申请日：2013-10-21
申请人：アイピージーフォトニクスコーポレーション , アイピージーフォトニクスコーポレーション
发明人：ヴァレンティン・フォミン , アントン・スタロヴォイトフ , アンドレイ・アブラモフ , ヴァレンティン・ガポンツェフ , アルチョム・フックス , インゴ・シュラム , ユージーン・シェルバコフ , ホルガー・マメロウ
IPC分类号： B23K26/142 , B23K26/00 , B23K26/16 , B23K26/21 , B23K26/24
CPC分类号： B23K26/0884 , B23K26/032 , B23K26/0626 , B23K26/142 , B23K26/1462 , B23K26/22
摘要：ロボット的に操作されたレーザシームステッパーは、縦軸に沿って延在する細長い支持柱により構成されて、軽量材料から作られる。支持板は、その上に光学系を備えている光学ヘッドを支持すると共に、支持柱に移動可能に載置される。光学系は、光学ヘッドの保護窓を通過して溶接ゾーンの方へ経路に沿ってレーザビームを導くように構成される。レーザシームステッパーは、支持板に載置されて、光学ヘッドに対して正反対側のステッパーの縦軸に沿って延在する第1アームで更に構築される。移動可能なアームの内面は、光学ヘッドに整合されており、レーザビームと、加圧ガス状の媒体の軸方向に流れる第1ストリームと、ガス状の媒体の軸方向に流れる第2ストリームとによって、軸方向に横断されるトンネルを画定する。支持柱において発生する気圧勾配に対応して第1ストリームの圧力より低い圧力でトンネルに入る第2ストリームは、支持柱内で空気渦(vortexes)を生成しない。第1及び第2ストリームは、溶接ゾーンの隣のトンネルの下流側の端を通って出る。第1及び第2ストリームが流れ出るとき、それらはトンネルから溶接破片を運び出す。

49. 发明专利

JP2015535747A レーザー加工ビームの位置制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2015535747A
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：JP2015532355
申请日：2013-08-26
申请人：エル・ピー・ケー・エフ・レーザー・ウント・エレクトロニクス・アクチエンゲゼルシヤフト
发明人：ジーベンマヌエル , ジーベンマヌエル , ヴェンケアンドレアス , ヴェンケアンドレアス , ヴァンアールストヤン , ヴァンアールストヤン
IPC分类号： B23K26/082 , B23K26/03 , B23K26/324 , B29C65/16
CPC分类号： B29C65/16 , B23K26/032 , B23K26/042 , B23K26/044 , B29C65/1635 , B29C65/1654 , B29C65/1696 , B29C66/1122 , B29C66/53461 , B29C66/73921 , B29C66/836 , B29C66/95 , B29C66/96 , B29C66/98 , B29C67/00 , B29K2995/0027 , B29L2009/00 , B29L2031/756 , G01B11/002 , G06T7/74 , G06T2207/30164 , G06T2207/30204
摘要：【課題】下部プレート表面において凹部として実現されたマイクロ流体チャネルによって供与されるような地形構造マーカーに対してレーザー加工ビームの位置制御を行なう。【解決手段】被加工品の表面で特に凹部の地形構造マーカーに対するレーザー加工ビームの位置制御装置である。制御機構(11)と、レーザー加工ビーム(2)を供与するレーザービーム供給機構(3、4)と、制御機構(11)によって制御され、構造マーカー(27)に対し表面(14)上のレーザー加工ビーム(2)の位置制御を行なうレーザービーム位置決め機構(5)とを備える。構造マーカーの(27)のための光学認識機構(16)を備え、走査フィールド(A)において認識される構造マーカー(27)をもつ表面(14)を照射する平行ビーム束(24)を生成する照射機構(17)と、表面(14)で反射され、構造マーカー(27)によって変更される平行ビーム束(24)を記録するため走査フィールド(A)を検出して、カメラ画像は制御機構(11)によって評価され構造マーカー(27)の位置を認識してレーザー加工ビーム(2)の対応する位置制御を行なうカメラ(25)とを有する。【選択図】図1

50. 发明专利

JP2015213941A レーザー加工装置审中-公开
标题翻译：激光加工设备
公开(公告)号：JP2015213941A
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：JP2014097704
申请日：2014-05-09
申请人：株式会社ディスコ
发明人：中村勝
IPC分类号： H01L21/301 , B24C1/06 , B23K26/00 , B23K26/10
CPC分类号： B23K26/0622 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/083 , B23K26/0853 , B23K26/0869 , B23K26/0876 , B23K26/364 , B23K26/402 , B24C1/06 , B23K2201/40
摘要：【課題】保持テーブルに保持された被加工物で反射した反射光の光量と、被加工物から外れて保持テーブルの枠体で反射した反射光の光量の差を確実に検出することができる保持テーブルを装備したレーザー加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、保持テーブルとレーザー光線照射手段とを相対的に移動する移動手段と、保持テーブルに保持された被加工物に検査光を照射して被加工物で反射した反射光の光量を検出する検出手段と、検出手段からの検出信号に基づいて被加工物の有無を判定する制御手段とを具備するレーザー加工装置であって、保持テーブルは、被加工物を吸引保持する保持部と、保持部を囲繞する環状の枠体とを具備し、枠体の上面は光を乱反射する乱反射処理が施されている。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有保持台的激光加工装置，其能够可靠地检测保持在保持台上的工件上反射的反射光的光量与从被处理工件出射的反射光的光量之间的差异并且在保持台的框架上反射。解决方案：激光加工装置包括：保持待加工的工件的保持台; 激光束照射装置，用于将激光束施加在保持在保持台上的工件上; 用于相对移动所述保持台和所述激光束照射装置的移动装置; 检测装置，用于将检测光施加到保持在保持台上的工件，以检测在工件上反射的反射光的光量; 以及用于基于来自检测装置的检测信号确定工件的存在或不存在的控制装置。保持台包括吸附/保持工件的保持部和围绕保持部的圆形框体。对框架体的上表面进行扩散处理以使光漫射。

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