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21. 发明专利

JP6653339B2 歯車研削装置有权
公开(公告)号：JP6653339B2
公开(公告)日：2020-02-26
申请号：JP2018015427
申请日：2018-01-31
申请人：三菱重工工作機械株式会社
发明人：中路慶弘 , 笹井浩昭 , 越智政志 , 鬼頭佳秀 , 小棚木克之
IPC分类号： B23F23/00 , B24B53/00 , B23F5/04

22. 发明专利

JP2020019081A 球面軸受を備えた連結機構、球面軸受の軸受半径決定方法、および基板研磨装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020019081A
公开(公告)日：2020-02-06
申请号：JP2018143393
申请日：2018-07-31
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：篠崎弘行
IPC分类号： B24B53/00 , B24B53/12 , B24B37/30 , H01L21/304 , B24B53/017
摘要：【課題】下側軸受摩擦トルクに起因して回転体に発生する振動を防止することが可能な連結機構を提供する。【解決手段】連結機構50は、駆動軸23と回転体7との間に配置された上側球面軸受52および下側球面軸受55を備える。上側球面軸受52は、第1凹状接触面と第2凸状接触面を有し、下側球面軸受55は、第3凹状接触面と第4凸状接触面とを有し、第1凹状接触面、第2凸状接触面、第3凹状接触面、および第4凸状接触面5は同心状に配置されている。下側球面軸受55の下側軸受半径R2は下側復元トルクが0以下になるように決定され、下側復元トルクは、研磨パッドと回転体7との間の回転体摩擦力によって回転体7に発生する回転体摩擦トルクと、第3凹状接触面と第4凸状接触面との間の摩擦力によって回転体7に発生する下側軸受摩擦トルクとの合計値である。【選択図】図2

23. 发明专利

JP2019181656A 切削ブレードの整形方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019181656A
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：JP2018079167
申请日：2018-04-17
申请人：株式会社ディスコ
发明人：中村勝
IPC分类号： B24B53/12 , B23K26/53 , B24B53/00
摘要：【課題】切削ブレードの先端形状が複数種となる場合に、ドレス用部材を予め用意する負担を軽減できるようにすること。【解決手段】ドレス用部材(B)に対して透過性を有する波長のレーザービームの集光点をドレス用部材の内部に位置づけて一方の面から複数回レーザービームを照射する。このレーザービームの照射によってドレス用部材の内部に複数の改質層(R)を形成する。その後、切削ブレード(10)で改質層に至るまでドレス用部材を切削し、複数の改質層により形作られた所定の形状に切削ブレードの形状を整形する。【選択図】図3

24. 发明专利

JP2019166624A 面取り加工システム及びそれに用いられるツルーイング装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019166624A
公开(公告)日：2019-10-03
申请号：JP2018058564
申请日：2018-03-26
申请人：株式会社東京精密
发明人：岸下真一 , 顧華旭
IPC分类号： B24B53/00 , B24B49/18 , H01L21/304 , B24B9/00
摘要：【課題】各ウエーハ面取り機の加工条件が異なったとしても、加工されたウエーハ端面の形状精度が所定範囲に入るようにして均一な品質を保ち、高い生産性を維持する。【解決手段】ウエーハ面取り機10が複数台設置されたウエーハ面取りライン1と、それぞれのウエーハ面取り機10で加工されたウエーハWの端面形状を測定するウエーハ形状測定機2と、ウエーハ形状測定機2で測定された値から研削砥石55の修正要否を判定するコントローラ3-1と、複数のマスター溝143-1…が設けられたマスター砥石142を設けマスター溝143-1…によって研削砥石55の研削溝を形成可能とした砥石加工機3-2と、を備え、コントローラ3-1はウエーハ形状測定機2で測定された値に基づいて複数のマスター溝143-1…からいずれかを決定し、砥石加工機3-2は決定されたマスター溝143-1…を用いて研削溝を形成する。【選択図】図1

25. 发明专利

JP2019155589A ドレッシング装置及びドレッシング方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019155589A
公开(公告)日：2019-09-19
申请号：JP2019090471
申请日：2019-05-13
申请人：株式会社東京精密
发明人：新井裕介 , 藤田隆
IPC分类号： B24B27/00 , B24B49/12 , B24B49/18 , H01L21/301 , B24B53/00
摘要：【課題】装置の大型化を招くことなく、簡易な構成でドレス部材を精度良く自動交換できるドレッシング装置及びドレッシング方法を提供する。【解決手段】ワークを切断するブレードのドレッシング装置であって、ブレードをドレッシングするドレス部材と、ドレッシングにより切り込み溝が形成されたドレス部材の表面を観察する観察手段と、観察手段の観察結果からドレス部材の交換が必要か否かを判断する判断手段と、判断手段によりドレス部材の交換が必要と判断された場合には、ブレードを移動させるブレード移動機構を利用してドレス部材を新しいものに交換する交換手段と、を備える。【選択図】図1

26. 发明专利

JP6559102B2 ドレス方法及びワークの研削方法有权
公开(公告)号：JP6559102B2
公开(公告)日：2019-08-14
申请号：JP2016157155
申请日：2016-08-10
申请人：光洋機械工業株式会社
发明人：城戸孝治
IPC分类号： B24B49/04 , B24B49/18 , B24B5/10 , B24B53/00

27. 发明专利

JP2019118983A 切削ブレードのドレッシング方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019118983A
公开(公告)日：2019-07-22
申请号：JP2017254125
申请日：2017-12-28
申请人：株式会社ディスコ
发明人：小松淳
IPC分类号： H01L21/301 , B24B53/00
摘要：【課題】切削ブレードの先端の丸みの領域を低減しつつ、ドレッシングボードを節約することが可能である、簡易な切削ブレードのドレッシング方法の提供。【解決手段】チャックテーブルの保持面に保持されたドレッシングボードに、丸みの領域の、切削ブレードの半径方向における長さを超えない切り込み深さで、切削ブレードを切り込ませ、チャックテーブルと切削ブレードとを、保持面と平行でスピンドルの軸心と垂直な方向に相対的に移動させ、ドレッシングボードに切削溝を形成する第1切削ステップと、第1切削ステップで形成した切削溝の溝底に、丸みの領域の、切削ブレードの半径方向における長さを超えない切り込み深さで、更に切削ブレードを切り込ませ、チャックテーブルと切削ブレードとを、保持面と平行でスピンドルの軸心と垂直な方向に相対的に移動させ、切削溝をなぞって溝底に対し切削を実施する第2切削ステップと、を備える。【選択図】図1

28. 发明专利

JP2019115963A 切削装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019115963A
公开(公告)日：2019-07-18
申请号：JP2017252140
申请日：2017-12-27
申请人：株式会社ディスコ
发明人：荒生一樹 , 津野貴彦
IPC分类号： B24B53/12 , B24B49/18 , B24B27/06 , G06K7/14 , G06K19/06 , B24B53/00
摘要：【課題】被切削面が切削されたドレッシングボードの種類を誤って認識することを抑制することができる切削装置を提供すること。【解決手段】切削装置1は、複数のセルから構成される2次元コード92を備えるドレッシングボード90と、カメラ30で撮影した画像に基づいてドレッシングボード90の種類を判定する制御ユニット100を備える。制御ユニット100は、ドレッシングボード90の種類情報を登録する種類登録部101と、ドレッシングボード90を撮影し2値化された撮影画像を登録する画像登録部102と、撮影画像にダイレーション処理を施すダイレーション処理部103と、ダイレーション処理をした撮影画像にエロージョン処理を施すエロージョン処理部104と、エロージョン処理によって復元された2次元コード92からドレッシングボード90の種類情報を読み取る種類判定部105とを備える。【選択図】図1

29. 发明专利

JP2019111589A ドレッシング判定装置、ドレッシング判定システム、加工システム及びドレッシング判定方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019111589A
公开(公告)日：2019-07-11
申请号：JP2017244410
申请日：2017-12-20
申请人：株式会社IHI
发明人：西嶋和之 , 林浩一郎 , 柴崎暢宏
IPC分类号： B24B49/12 , B24B27/00 , B24B53/04 , B24B53/00
摘要：【課題】ドレッシングのための砥石の形状の計測をより短時間に行う。【解決手段】ドレッシング判定装置32は、砥石の回転軸心の延伸方向から撮像された砥石の画像である第1の画像に基づいて砥石のドレッシングの必要性を判定する判定部322と、判定部によってドレッシングが必要であると判定された場合、砥石の回転軸心の延伸方向とは異なる方向から撮像された砥石の画像である第2の画像に基づいて砥石の形状を示すデータを取得する形状データ取得部324と、を備える。【選択図】図2

30. 发明专利

JP6536175B2 球体研磨装置及び球体研磨方法有权
公开(公告)号：JP6536175B2
公开(公告)日：2019-07-03
申请号：JP2015107241
申请日：2015-05-27
申请人：株式会社ジェイテクト
发明人：伊藤亮 , 三井哲弥 , 増田祐生 , 小野▲崎▼ 徹 , 新美匡俊 , 若園賀生
IPC分类号： B24B53/00 , B24B11/06

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