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    • 7. 发明专利
    • ドレッシングボード、及びドレッシング方法
    • JP2021122863A
    • 2021-08-30
    • JP2020015396
    • 2020-01-31
    • 株式会社ディスコ
    • 大前 巻子
    • B24B53/12H01L21/301B24B53/00
    • 【課題】乾式の環境下で被加工物を切削する切削装置においても、乾式の環境を維持したまま湿式のドレッシングを実施することができるドレッシングボード、及びドレッシング方法を提供する。 【解決手段】切削ブレード22の切り刃22aをドレッシングする平坦部32と、平坦部32の外周を囲繞する側壁部34とを備え、平坦部32と側壁部34とにより囲まれた貯水域36が形成されたドレッシングボード30を使用して実施されるドレッシング方法であって、保持手段12にドレッシングボード30を載置するドレッシングボード載置工程と、ドレッシングボード30の貯水域36に水Wを供給して貯水する貯水工程と、切削手段20をドレッシングボード30に対して垂直方向に移動し、回転させた切削ブレード22の切り刃22aを水Wが貯水された貯水域36に進入させ、平坦部32に切り込ませてドレッシングするドレッシング工程から構成されるドレッシング方法。 【選択図】図6