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11. 发明专利

JP6917962B2 ICチップ有权
公开(公告)号：JP6917962B2
公开(公告)日：2021-08-11
申请号：JP2018159528
申请日：2018-08-28
申请人：株式会社東芝
发明人：池橋民雄 , 山崎宏明
IPC分类号： H01H37/76 , H01H85/02 , H01L21/82

12. 发明专利

JP6896679B2 ガスセンサ有权
公开(公告)号：JP6896679B2
公开(公告)日：2021-06-30
申请号：JP2018126572
申请日：2018-07-03
申请人：株式会社東芝
发明人：林裕美 , 山崎宏明
IPC分类号： G01N27/12 , G01N27/22

13. 发明专利

JP2021025929A 圧力センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2021025929A
公开(公告)日：2021-02-22
申请号：JP2019145104
申请日：2019-08-07
申请人：株式会社東芝
发明人：増西桂 , 中村直文 , 山崎宏明 , 齋藤友博 , 石橋史隆 , 久留井慶彦 , 永田友彦
IPC分类号： H01L41/113 , H01L41/047 , H01L29/84 , G01L9/00
摘要：【課題】安定した特性を有する圧力センサを提供する。【解決手段】一実施形態によれば、圧力センサは、基体、支持部、膜部、第1電極及び第2電極を含む。支持部は、基体に固定される。膜部は、第1部分領域、第2部分領域、第3部分領域及び縁部を含む。縁部は支持部に支持される。第1方向と交差する第2方向において、第2部分領域は、第1部分領域と縁部との間にある。第2方向において、第3部分領域は、第2部分領域と縁部との間にある。第2電極は、第1電極領域及び第2電極領域を含む。第1電極領域は、第1部分領域に固定される。第2電極領域と第2部分領域との間に第2間隙がある。第3部分領域は、第1部分及び第2部分を含む。第1部分の第1方向に沿う第1厚さは、第2部分の第1方向に沿う第2厚さよりも薄い。【選択図】図1

14. 发明专利

JP2019152451A ガスセンサ审中-公开
公开(公告)号：JP2019152451A
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：JP2018035682
申请日：2018-02-28
申请人：株式会社東芝
发明人：山崎宏明
IPC分类号： G01N27/22
摘要：【課題】性能の改善を図れる、ヒーターを含むガスセンサを提供すること。【解決手段】実施形態のガスセンサは、電極5aと、電極5aから離間して配置された可動構造30とを含むMEMSキャパシタ101を含む。可動構造は、所定のガスを吸収または吸着することで変形する変形部材13と、変形部材を加熱するヒーター11と、変形部材の変形に応じて電極5aとの間隔が変化する電極9aとを含む。ガスセンサは、さらに、電極5aと電極9aとの間の間隔に基づき、所定のガスの濃度を算出するガス濃度算出部102と、ヒーターの温度を検出するための温度センサ103と、MEMSキャパシタが使用される環境の温度を検出するための温度センサ104とを含む。ガスセンサは、さらに、温度センサ103で検出されたヒーターの温度と、温度センサ104で検出された環境の温度とに基づいて、ヒーターの温度を制御する温度制御部105を含む。【選択図】図1

15. 发明专利

JP2017054946A デバイスおよびその検査方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017054946A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：JP2015178229
申请日：2015-09-10
申请人：株式会社東芝
发明人：山崎宏明
IPC分类号： H01L27/04 , B81B3/00 , H01L21/822
CPC分类号： H01L41/09 , H05B1/023 , H05B3/0014 , H05B3/265
摘要：【課題】素子を収納する空洞を形成する膜を基板から容易に剥離することができるデバイスを提供すること。【解決手段】実施形態のデバイスは、基板100と、基板100上に設けられた素子200とを含む。デバイスは、さらに、基板100とともに素子200を収納する空洞215を形成する膜211−214と、空洞215の外側に設けられ、発熱可能な部材301とを含む。【選択図】図2

16. 发明专利

JP2016171224A 可変容量バンク装置审中-公开
标题翻译：可变电容器银行设备
公开(公告)号：JP2016171224A
公开(公告)日：2016-09-23
申请号：JP2015050620
申请日：2015-03-13
申请人：株式会社東芝
发明人：丸藤竜之介 , 小野大騎 , 山崎宏明 , 久留井慶彦 , 池橋民雄
IPC分类号： H01G15/00 , H01G5/011 , H01G5/16
CPC分类号： H01G5/38 , H01G5/011 , H01G5/16
摘要：【課題】MEMS素子を用いた複数の容量バンクの並列接続による、高信頼性で高耐電力の可変容量バンク装置を提供する。【解決手段】容量バンクの各々は、基板10上に設けられた下部電極21、22と、下部電極21との間に固定の第1の静電容量が形成される第1の駆動電極31と、下部電極22との間に固定の第2の静電容量が形成される第2の駆動電極32と、駆動電極31との間に可変の第3の静電容量が形成され、かつ、駆動電極32との間に可変の第4の静電容量が形成される共通の上部電極40と、を具備している。第1及び第2の静電容量は、同一の容量バンクで同じに設定され、かつ、異なる容量バンク間で異なるように設定される。第3及び第4の静電容量は、同一の容量バンクでも異なる容量バンク間でも同じに設定されている。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供一种通过使用MEMS元件并联多个电容器组构成的可变电容器组装置，并且具有高可靠性和高电力耐久性。解决方案：每个电容器组包括：下电极21,22 设置在基板10上; 第一驱动电极31，用于提供形成在下电极21与其本身之间的固定的第一静电电容; 用于提供固定的第二静电电容的第二驱动电极32，其形成在下电极22与其本身之间; 以及用于在驱动电极31和公共上电极之间形成的可变的第三静电电容以及形成在驱动电极32和公共上电极之间的可变的第四静电电容的公共上电极40。第一静电电容和第二静电电容被设置为具有相同的电容器组的值和不同的电容器组的值。对于同一个电容器组和不同的电容器组，第三静电电容和第四静电电容被设置为具有相同的值。选择图：图4

17. 发明专利

JP6961639B2 圧力センサ有权
公开(公告)号：JP6961639B2
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：JP2019051692
申请日：2019-03-19
申请人：株式会社東芝
发明人：増西桂 , 中村直文 , 山崎宏明 , 齋藤友博 , 石橋史隆 , 久留井慶彦 , 永田友彦
IPC分类号： H01L29/84 , B81B3/00 , G01L9/00

18. 发明专利

JP2021167765A センサ及びセンサモジュール审中-公开
公开(公告)号：JP2021167765A
公开(公告)日：2021-10-21
申请号：JP2020071084
申请日：2020-04-10
申请人：株式会社東芝 , 岩谷産業株式会社
发明人：秋元陽介 , 工藤浩喜 , 山崎宏明 , 中島健太郎 , 鈴木康平
IPC分类号： G01N27/22
摘要：【課題】安定した動作が可能なセンサ及びセンサモジュールを提供する。【解決手段】実施形態によれば、センサは、ハンドホール部、及び、センサモジュールを含む。前記ハンドホール部は、内壁と、前記内壁に設けられた保持部と、を含む。前記センサモジュールは、前記ハンドホール部の中に設けられる。前記センサモジュールは、前記保持部に保持される被保持部と、前記被保持部と接続された筐体と、前記筐体の中に設けられガスセンサ素子を含むセンサ回路と、前記センサ回路に電力を供給可能な電池と、を含む。前記内壁と前記筐体との間、及び、前記筐体の下の第1部材と筐体との間に前記隙間がある。【選択図】図1

19. 发明专利

JP6896576B2 ガスセンサおよびその製造方法有权
公开(公告)号：JP6896576B2
公开(公告)日：2021-06-30
申请号：JP2017180740
申请日：2017-09-20
申请人：株式会社東芝
发明人：池橋民雄 , 山崎宏明
IPC分类号： G01N5/02 , G01N27/22

20. 发明专利

JP2020153779A 圧力センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2020153779A
公开(公告)日：2020-09-24
申请号：JP2019051692
申请日：2019-03-19
申请人：株式会社東芝
发明人：増西桂 , 中村直文 , 山崎宏明 , 齋藤友博 , 石橋史隆 , 久留井慶彦 , 永田友彦
IPC分类号： H01L29/84 , B81B3/00 , G01L9/00
摘要：【課題】性能の向上を図れる圧力センサを提供すること。【解決手段】圧力センサ1は、基板100と、第1の容量素子11とを含む。第1の容量素子11は、基板100上に設けられた下部電極101と、下部電極101の上方に配置された上部電極111と、前記基板との間に下部電極101及び前記上部電極111を膜140とを含む。第1の容量素子11の周辺の温度の単位変化に対する、下部電極101と上部電極111との間の静電容量の変化量の絶対値は略ゼロである。【選択図】図3

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