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    • 6. 发明公开
    • Verfahren und Vorrichtung zur Dickenkontrolle bzw. -messung von Materialschichten
    • 对于厚度控制或材料层的测量方法和装置。
    • EP0062272A1
    • 1982-10-13
    • EP82102624.2
    • 1982-03-29
    • Battelle-Institut e.V.
    • Beuter, Karl, Dr.
    • G01B17/02G01S15/34
    • G01B17/025G01S15/34
    • Bei einem Verfahren zur Dickenkontrolle bzw. -messung von Schichten, bei dem man ein anhaltendes, frequenzmoduliertes Ultraschallsignal einschallt, das periodisch ein Frequenzband überstreicht und das resultierende Signal auswertet, wird das Frequenzband so breit gewählt, daß ein Mehrfaches des Interferenzabstandes umfaßt wird. Die im Frequenzspektrum des Empfangssignals periodisch auftretenden spektralen Maxima oder Minima werden ausgewertet. Bei festgelegter Modulationsrate des Sendesignals ergibt sich eine eindeutige Zuordnung zwischen der Wiederholfrequenz der Maxima oder Minima im Spektrum und der Dicke der zu prüfenden Schicht. Dabei nimmt die Wiederholfrequenz mit wachsender Schichtdicke zu. Nach einem alternativen Vorschlag wird ein der Schichtdicke entsprechendes Oberwellenverhältnis ausgewertet. Die Oberwellen entstehen dadurch, daß das Frequenzband schmal gewählt wird, so daß nur ein Teilbereich des interferenzabstandes umfaßt wird. Die Wiederholfrequenz der Modulation wird in Abhängigkeit von dem gewünschten Meßbereich festgelegt.
    • 在用于控制厚度或层的测量,其中einschallt持续周期性地扫过一个频带,并评估所得到的信号,频率调制超声信号的方法,该频带被选择如此广泛,所述干扰距离的倍数被涵盖。 在接收到的信号的频谱的最大值或最小值的频谱的周期性出现被评估。 当使用的发送信号的固定的调制速率是在频谱中的极大值或极小的重复频率之间的明确的分配,并且厚度是要被测试层。 重复频率随层厚度增加而增加。 对于替代的提议时,相应的层厚度谐波比进行评价。 谐波从频带选择窄,使得仅所述干扰距离的一部分包括这样的事实引起的。 调制的重复频率是根据所期望的测量范围来确定。