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    • 13. 发明公开
    • Method of measuring pressures using a tuning fork crystal oscillator
    • Verfahren zum Messen von Drucken mit einer schwingenden Kristallstimmgabel。
    • EP0470853A2
    • 1992-02-12
    • EP91307338.3
    • 1991-08-09
    • VACUUM PRODUCTS KABUSHIKI KAISHA
    • Hojoh, Hisao
    • G01L9/00
    • G01L9/0022
    • A method of measuring pressures using a tuning fork crystal oscillator is disclosed, and the method comprises determining a temperature T from the resonance frequency "f" of the fork oscillator, and then determining the natural resonance resistance Z T = Z C + ΔZ T at the temperature T. By definition, Z C represents the value for the resonance resistance Z O at the constant temperature (20 °C, for example), and ΔZ T represents the difference between Z T and Z C at the temperature T.
      The pressure in a particular gaseous substance may be derived from the difference ΔZ between the value of Z T and the resonance resistance value Z as determined above.
    • 公开了使用音叉晶体振荡器测量压力的方法,并且该方法包括从叉式振荡器的共振频率“f”确定温度T,然后在温度下确定天然共振电阻ZT = ZC + DELTA ZT 根据定义,ZC表示在恒定温度(例如20℃)下的共振电阻ZO的值,并且DELTA ZT表示在温度T下ZT和ZC之间的差。特定气体物质中的压力可以 从如上所确定的ZT值和谐振电阻值Z之间的差ΔTAZ得出。
    • 15. 发明公开
    • Stimmgabel-Quarz-Manometer
    • 音叉石英压力计
    • EP0379839A3
    • 1991-06-05
    • EP89810926.9
    • 1989-12-08
    • BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT
    • Stocker, Rudolf, Dr.
    • G01L21/22G01L19/04
    • G01L9/0022G01L9/085G01L19/04G01L21/22
    • Das Stimmgabelquarz-Manometer besitzt einen in einem Schutzgehäuse gehalterten Stimmgabel- quarz, der seinerseits Teil einer selbstschwingenden Rückkoppelungsschaltung ist. Das Schutzgehäuse (3) wird erfindungsgemäss mittels einer Vergussmasse (4) oder direkt in das Gehäuse eines Messkopfes (1) oder eine Halterung eingesetzt, welche letztere ihrerseits in den Messkopf eingesetzt werden kann, wobei wahlweise eine möglichst ideal starre oder elastische Aufhängung vorgesehen ist. Eine Messschaltung (20) ist direkt im Messkopf nahe dem Stimmgabelquarz (2) angeordnet und temperaturmässig mit letzterem gekoppelt. Vorzugsweise besitzt die Messschaltung (20) ein HF-mässig von der den Stimmgabelquarz enthaltenden Rückkoppelungsschaltung entkoppeltes Temperatur-Korrekturnetzwerk.
    • 音叉石英表的音叉晶体固定在保护外壳内,而外壳又是自激振荡反馈电路的一部分。 根据由密封化合物的装置插入本发明的保护壳体(3)(4)或直接进入一个测量头(1),或者可以是反过来在测量头后者使用的载体的外壳,任选地,其中提供了一种理想的可能刚性的或弹性的悬浮液中。 测量电路(20)直接布置在测量头中靠近音叉石英(2)并且在温度方面与后者结合。 优选地,测量电路(20)具有从包含音叉石英的反馈轭路电路去耦RF的温度校正网络。
    • 17. 发明公开
    • Stimmgabel-Quarz-Manometer
    • Stimmgabel-石英硅压计。
    • EP0379839A2
    • 1990-08-01
    • EP89810926.9
    • 1989-12-08
    • BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT
    • Stocker, Rudolf, Dr.
    • G01L21/22G01L19/04
    • G01L9/0022G01L9/085G01L19/04G01L21/22
    • Das Stimmgabelquarz-Manometer besitzt einen in einem Schutzgehäuse gehalterten Stimmgabel- quarz, der seinerseits Teil einer selbstschwingenden Rückkoppelungsschaltung ist. Das Schutzgehäuse (3) wird erfindungsgemäss mittels einer Vergussmasse (4) oder direkt in das Gehäuse eines Messkopfes (1) oder eine Halterung eingesetzt, welche letztere ihrerseits in den Messkopf eingesetzt werden kann, wobei wahlweise eine möglichst ideal starre oder elastische Aufhängung vorgesehen ist. Eine Messschaltung (20) ist direkt im Messkopf nahe dem Stimmgabelquarz (2) angeordnet und temperaturmässig mit letzterem gekoppelt. Vorzugsweise besitzt die Messschaltung (20) ein HF-mässig von der den Stimmgabelquarz enthaltenden Rückkoppelungsschaltung entkoppeltes Temperatur-Korrekturnetzwerk.
    • 石英音叉压力计具有音叉晶体,其保持在保护壳体中,并且又是自振荡反馈回路的一部分。 根据本发明,保护壳体(3)通过铸造复合物(4)或直接插入到测量头(1)的壳体中,或者插入保持器中,后者可以将其插入其中 测量头,可选地提供尽可能理想的刚性或弹性的悬架。 测量电路(20)直接配置在音叉晶体(2)附近的测量头中,并在温度方面与后者耦合。 测量电路(20)优选地具有温度校正网络,其在RF与来自包含音叉晶体的反馈回路之间解耦。 ... ...