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1. 发明授权

EP1402291B1 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON LICHT EINES GEGEBENEN POLARISATIONSZUSTANDES 有权
标题翻译：过程对于给定的偏振态产生光
公开(公告)号：EP1402291B1
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：EP02737717.5
申请日：2002-06-25
申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
发明人： EDLINGER, Johannes , HEINE-KEMPKENS, Claus , HÄUSLER, Detlev
IPC分类号： G02B5/30 , G02B27/28
CPC分类号： G02B5/3025 , G02B27/286
摘要： The invention relates to a method for producing light having a given state of polarization, whereby a beam splitter, which is sensitive to the state of polarization, is supplied with light at an input. The light having the given state of polarization is transmitted by the beam splitter from a first output. The light having a state of polarization, differing from the given state, is modified in relation to said state and transmitted. The present invention also relates to a polarizer assembly, a lighting assembly, a projection system and the use thereof.

2. 发明授权

EP1502156B1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER EINHEIT MIT EINER RÄUMLICHEN OBERFLÄCHENSTRUKTURIERUNG SOWIE VERWENDUNG DIESES VERFAHRENS 有权
标题翻译： VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER EINHEIT MIT EINERRÄUMLICHENOBERFLÄCHENSTRUKTURIERUNGSOWIE VERWENDUNG DIESES VERFAHRENS
公开(公告)号：EP1502156B1
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：EP03749830.0
申请日：2003-05-07
申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
发明人： GRABHER, Patrick , HEINE-KEMPKENS, Claus , BISCHOFBERGER, Roger
IPC分类号： G03F7/00 , G03F7/40 , G02B7/00
CPC分类号： G03F7/0007 , G03F7/40 , G03F7/405 , G03F7/42 , G03F7/422 , G03F7/425
摘要： In a first step of the inventive method, a photoresist is applied to the base layer (3) in order to produce a photoresist layer (9). A masked exposure (13) of the photoresist layer (9), adapted to a pre-determined final surface structuring, is carried out in a second step. In a third step, parts of the photoresist layer (9) are removed by development, such that initial surface structuring comprising photoresist partial regions (25) as sacrificial layer regions is obtained. In a fourth step, a coating (29, 31) covering the obtained initial surface structuring is applied, especially sputtered, preferably as an alternating layer system. In a fifth step, energy is supplied to the initial surface structuring in order to destabilise the sacrificial layer regions (25). In a sixth step, a high pressure liquid jet (33) is applied to the initial surface structuring at a pre-determined processing temperature, whereby at least parts of the coating (29) covering the sacrificial layer regions (25) are mechanically removed or at least broken off in order to produce the final surface structuring.
摘要翻译：在本发明方法的第一步骤中，将光致抗蚀剂施加到基层（3）以产生光致抗蚀剂层（9）。在第二步骤中执行适合于预定最终表面结构化的光致抗蚀剂层（9）的掩模曝光（13）。在第三步骤中，通过显影除去部分光致抗蚀剂层（9），使得获得包括作为牺牲层区域的光致抗蚀剂部分区域（25）的初始表面结构化。在第四步骤中，涂覆覆盖获得的初始表面结构化的涂层（29,31），尤其是溅射，优选作为交替层系统。在第五步中，将能量提供给初始表面结构化以便使牺牲层区域（25）不稳定。在第六步骤中，将高压液体射流（33）施加到在预定处理温度下的初始表面结构化，由此机械地去除覆盖牺牲层区域（25）的涂层（29）的至少一部分或至少要断开才能生成最终的表面结构。

3. 发明授权

EP1198607B1 VAKUUMBEHANDLUNGSANLAGE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON WERKSTÜCKEN 有权
标题翻译：真空处理系统及其制造方法WORKPIECES
公开(公告)号：EP1198607B1
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：EP00929190.7
申请日：2000-05-22
申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
发明人： ZUEGER, Othmar
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/54 , H01J37/34
CPC分类号： H01J37/32935 , C23C14/0036 , C23C14/542 , H01J37/34
摘要： According to the invention, organs (22) are provided in the vacuum treatment chamber of a vacuum treatment installation which produce the treatment atmosphere (U) in said chamber and in a treatment area (BB). A sensor array (24) detects the atmosphere which currently prevails in the treatment area. Said sensor array (24) acts in a closed-loop as an actual value recorder and one of the organs (22) acts as an actuating member. The workpieces are transported through the treatment area (BB) in the chamber. The treatment atmosphere (U) in the treatment area (BB) is modulated over time according to a predetermined profile (M), using one of the organs.

4. 发明公开

EP1366208A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TEILEN UND VAKUUMBEHANDLUNGSSYSTEM 审中-公开
标题翻译：用于生产部件和真空处理系统
公开(公告)号：EP1366208A1
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：EP02710739.0
申请日：2002-02-14
申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
发明人： WAGNER, Rudolf , WILTSCHE, Siegfried , RAMM, Jürgen
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/02 , C23C16/42 , C23C16/24 , C23C16/513 , C23C14/56
CPC分类号： C23C16/4411 , C23C16/0245 , C23C16/4404 , C23C16/503 , H01J37/32477 , H01J37/32522
摘要： When producing coated parts, the same demands for coating the parts are made as those for effecting a coating with an epitaxial layer. According to the invention, a reactive gas is admitted into a process chamber (PR) and is activated by means of a low-energy plasma discharge. In order to improve the industrial capability of a method of the aforementioned type, the process chamber (PR) is separated (14) from the inner wall of the recipient (1) located in the surrounding area.

5. 发明授权

EP1070239B1 KAPAZITIVE VAKUUMMESSZELLE 有权
标题翻译：电容式真空测量计
公开(公告)号：EP1070239B1
公开(公告)日：2002-04-24
申请号：EP98956750.8
申请日：1998-12-04
申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
发明人： BJÖRKMAN, Per , OLSSON, Ray
IPC分类号： G01L9/00 , G01L7/08 , G01L21/00
CPC分类号： G01L9/0075 , Y10T29/43 , Y10T29/435 , Y10T29/49007 , Y10T29/49155 , Y10T29/49174 , Y10T29/49224
摘要： The invention relates to a capacitive vacuum measuring cell which is almost completely made of ceramic and, as a result, is highly resistant to corrosion. In order to be able to measure very low pressures with a high precision, a very thin ceramic membrane having a thickness of

6. 发明公开

EP1179611A3 Kammer für den Transport von Werkstücken 失效
标题翻译：商会运送工件
公开(公告)号：EP1179611A3
公开(公告)日：2002-04-17
申请号：EP01119538.5
申请日：1993-09-11
申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
发明人： Schertler, Roman
IPC分类号： C23C14/56 , H01L21/00 , C23C14/04
CPC分类号： H01L21/67161 , C23C14/042 , C23C14/566 , C23C14/568 , H01L21/67126 , H01L21/67196 , H01L21/67236 , H01L21/67709 , H01L21/67745 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , Y10S414/139 , Y10S414/141 , Y10T279/23
摘要： Eine Vakuumkammer (1) mit mindestens zwei Innenöffnungen (4,6) weist ein getrieben-drehbares Karussell (20) auf, mit Werkstückaufnahmen. Ein in der Kammer (1) bezuglich des Karussells (20) unabhängiges Transportorgan (30b), ausgerichtet auf mindestens eine der Oeffnungen (4,6), wird rückgeholt, um die entsprechende Oeffnung mit dem mittels des Karussells (20) hintransportierten Werkstück zu bedienen.

7. 发明公开

EP1186681A1 Vakuumanlage mit koppelbarem Werkstückträger 有权
标题翻译： Vakuumanlage mit koppelbaremWerkstückträger
公开(公告)号：EP1186681A1
公开(公告)日：2002-03-13
申请号：EP01119423.0
申请日：2001-08-11
申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
发明人： Seeli, Roger , Pedrazzini, Mauro , Derflinger, Volker
IPC分类号： C23C14/32 , H01J37/32 , C23C14/50 , C23C14/34
CPC分类号： H01J37/32055 , C23C14/325 , C23C14/3478 , C23C14/505 , H01J37/32752
摘要： Eine Vakuumanlage zum Behandeln von Werkstücken weist eine evakuierbare Behandlungskammer mit einer zentral angeordneten Niedervoltbogen-Entladungsanordnung und seitlich angeordneter Ladeöffnung auf. Eine Kopplungsvorrichtung zwischen Werkstückträger (10d) und einer anlagenseitigen Aufnahmevorrichtung erlaubt das vereinfachte Be- und Entnehmen der zu behandelnden Werkstücke (2) mitsamt dem Träger durch einfaches Anheben resp. Absetzen auf/von der Aufnahmevorrichtung.
摘要翻译：真空装置包括可以抽真空并包含低压电弧放电装置的处理室; 涂料源（21）和通过联接装置分离地联接到接收装置的工件支撑件（10c）。涂覆室具有横截面大于工件支撑件的横向开口，使得支撑件可与工件保持器（2）脱离并从真空装置移除。优选特征：工件支撑件能够围绕处理室的中心轴线旋转。用于支撑件的接收室能够在处理室的中心轴线上旋转。

8. 发明公开

EP1180262A1 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON HYBRID-DISKS UND HYBRID-DISK 有权
标题翻译：方法生产杂交盘和混合盘
公开(公告)号：EP1180262A1
公开(公告)日：2002-02-20
申请号：EP00920313.4
申请日：2000-05-05
申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
发明人： DUBS, Martin
IPC分类号： G11B7/24 , G11B7/26
CPC分类号： G11B7/252 , G11B7/254 , G11B7/257 , G11B7/258 , G11B2007/2571 , G11B2007/25713 , G11B2007/25715
摘要： A semi-permeable layer system (2) is inserted behind a first substrate (1) which is transparent in a given spectral band. A further substrate (5) which is transparent in the above-mentioned band is placed therebehind. A reflecting layer system (6) follows. A moisture-proof system (10) is provided on top of the first substrate which is also transparent in the above-mentioned spectral band. The semi-permeable layer system, reflecting layer system and anti-moisture system are deposited by means of a vacuum coating method of the same type.

9. 发明公开

EP1156131A1 Verfahren zur Herstellung beschichteter Kunststoffkörper sowie Verwendung desselben 有权
标题翻译： Verfahren zur Herstellung beschichteterKunststoffkörpersowie Verwendung desselben
公开(公告)号：EP1156131A1
公开(公告)日：2001-11-21
申请号：EP01111533.4
申请日：2001-05-11
申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
发明人： Beck, Eugen , Ramm, Jürgen , Zimmermann, Heinrich
IPC分类号： C23C14/02 , C23C16/02
CPC分类号： C23C14/022 , C23C16/0245
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung beschichteter Kunststoffkörper, bei dem, vor der Beschichtung, die zu beschichtende Oberfläche einer Vorbehandlung in einer angeregten Gasatmosphäre unterworfen wird. Dabei wird die Gasatmosphäre überwiegend aus einem Edelgas und Stickstoff und/oder Wasserstoff gebildet. Die lonenenergie in der Gasatmosphäre und im Bereich der zu beschichtenden Oberfläche ist höchstens 50eV. Weiter wird die Verwendung des Verfahrens für die Herstellung von optischen Speicherplatten oder Bauelementen, von Leiterplatten oder Teilen für die Halbleiterfertigung beschrieben.
摘要翻译：在涂覆之前，将产物表面在具有包含稀有气体和氮气和/或氢气的排出气体气氛的室（11）中进行预处理。气体中靠近基板表面的离子能量不超过50eV。独立权利要求用于制造光学数据存储盘，光学透镜，印刷电路板或用于半导体生产的部件的过程。

10. 发明公开

EP1070239A1 KAPAZITIVE VAKUUMMESSZELLE 有权
标题翻译：电容式真空测量计
公开(公告)号：EP1070239A1
公开(公告)日：2001-01-24
申请号：EP98956750.8
申请日：1998-12-04
申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
发明人： BJÖRKMAN, Per , OLSSON, Ray
IPC分类号： G01L9/00 , G01L7/08 , G01L21/00
CPC分类号： G01L9/0075 , Y10T29/43 , Y10T29/435 , Y10T29/49007 , Y10T29/49155 , Y10T29/49174 , Y10T29/49224
摘要： The invention relates to a capacitive vacuum measuring cell which is almost completely made of ceramic and, as a result, is highly resistant to corrosion. In order to be able to measure very low pressures with a high precision, a very thin ceramic membrane having a thickness of ∫250 νm is utilized. Said membrane is arranged in a ceramic housing in a stress-free and symmetric manner.

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