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1. 发明申请

WO2008080683A3 MEHRACHSIGER MIKROMECHANISCHER BESCHLEUNIGUNGSSENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2008080683A3
公开(公告)日：2008-07-10
申请号：PCT/EP2007/062307
申请日：2007-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , SCHUBERT, Dietrich , KEHR, Kersten , REICHENBACH, Ralf
发明人： CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , SCHUBERT, Dietrich , KEHR, Kersten , REICHENBACH, Ralf
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18
摘要： Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Beschleunigungssensor, umfassend ein Substrat (1), eine parallel zur Substratebene verlaufende elastische Membran (5), die teilweise mit dem Substrat verbunden ist und einen Flächenbereich aufweist, der senkrecht zur Substratebene ausgelenkt werden kann, eine seismische Masse (6), deren Schwerpunkt außerhalb der Ebene der elastischen Membran (5) liegt, wobei sich die seismische Masse (6) in einem Abstand über Substratbereiche erstreckt, die außerhalb des Bereiches der elastischen Membran (5) liegen und eine Anordnung aus mehreren Elektroden (3a, 3b, 3c, 3d) aufweisen, die jeweils mit gegenüberliegenden Bereichen der seismischen Masse (6) schaltungstechnisch einen Kondensator bilden, und wobei die seismische Masse (6) in ihrem zentralen Bereich in dem Flächenbereich der elastischen Membran (5), der senkrecht zur Substratebene ausgelenkt werden kann, an der elastischen Membran (5) befestigt ist.

2. 发明申请

WO2009059639A1 DREHRATENSENSOR MIT ZWEI SENSITIVEN ACHSEN 审中-公开
标题翻译：与两个敏感轴的旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009059639A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/EP2007/062073
申请日：2007-11-08
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , KEHR, Kersten , GERHARDT, Christian
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , KEHR, Kersten , GERHARDT, Christian
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： Die Erfindung geht aus von einem Drehratensensor mit einem Substrat (10), einem Lager (20), einer an dem Lager (20) mittels Federn (30) drehbeweglich zur Ausführung einer planaren Antriebsschwingungsbewegung aufgehängten Schwingstruktur (40) und Antriebsmitteln zum Erzeugen der planaren Antriebsschwingungsbewegung der Schwingstruktur (40). Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der Drehratensensor erste Auswertemittel zum Erfassen einer Drehung in einer ersten Drehachse und zweite Auswertemittel zum Erfassen einer Drehung in einer zweiten Drehachse aufweist.
摘要翻译：本发明是基于在具有通过弹簧的基板（10），轴承（20），一个在轴承（20）（30）可旋转地悬挂用于进行平面驱动振荡运动的振荡结构（40），横摆率传感器和驱动装置，用于产生面状驱动振动运动的振动结构（40）。本发明的实质是，旋转速度传感器，其包括第一评估装置，用于在第一旋转轴线和第二评估检测旋转装置，用于以第二旋转轴检测旋转。

3. 发明申请

WO2008015044A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2008015044A1
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：PCT/EP2007/055597
申请日：2007-06-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
发明人： HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5747
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem Antriebsmassenelement (13), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (18) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, einem Erfassungsmassenelement (14), das entlang einer zweiten Achse (z), die senkrecht zur Oberfläche verläuft, unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Erfassungseinrichtung, durch welche die Auslenkung des Erfassungsmassen- Elements (14) entlang der zweiten Achse (z) erfaßbar ist. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehra tensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种具有驱动质量元件的旋转速度传感器（13）设置在由沿第一轴（y），它沿所述表面振动运行的驱动装置（18）的基板的与表面可以被驱动，（检测质量元件 14），其是沿第二轴（z偏转）垂直于科里奥利力的作用下的表面上，和检测装置，通过它可以检测到沿所述第二轴（z的Erfassungsmassen-元件（14）的偏转）是。所述第二轴线（Z）的垂直于旋转率传感器的表面上的布置可以几十传感器，进一步Drehra一起适合用于检测绕定向不同的旋转轴的旋转，在一个芯片上集成。

4. 发明申请

WO2009062786A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009062786A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/EP2008/063228
申请日：2008-10-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
摘要： Drehratensensor mit einem Substrat und einer Mehrzahl von beweglichen Teilstrukturen, die über einer Oberfläche des Substrats angeordnet sind, wobei die beweglichen Teilstrukturen an ein gemeinsames, insbesondere ein zentrales, Federelement gekoppelt sind, wobei Mittel vorgesehen sind, um die beweglichen Teilstrukturen zu einer gekoppelten Schwingung in einer zur Oberfläche des Substrats parallelen Ebene anzuregen, wobei die beweglichen Teilstrukturen Coriolis-Elemente aufweisen, wobei Mittel vorgesehen sind, durch eine Coriolis-Kraft verursachte Auslenkungen der Coriolis-Elemente nachzuweisen, wobei ein erstes Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine erste Achse vorgesehen ist, wobei ein zweites Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine zweiten Achse vorgesehen ist, wobei die zweite Achse senkrecht zur ersten Achse ausgerichtet ist.
摘要翻译：具有基板和多个可动子，其被布置在所述基板，其中，所述可动部结构被耦合到公共的表面上的，特别是中央，弹簧元件，其中，在被提供用于可动子的耦合后的振动的装置的横摆率传感器平行的平面内激发于衬底平面的表面，所述可动部分的结构科里奥利元件，所述设置装置，用于检测由科里奥利元件的科里奥利力挠曲，导致其中，用于检测绕第一轴线旋转的速率的第一科里奥利元件设置，其中，用于检测的旋转速度的第二科里奥利元件围绕第二轴线设置，第二轴线垂直于第一轴线取向。

5. 发明申请

WO2009056420A3 MIKROMECHANISCHES SYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：WO2009056420A3
公开(公告)日：2009-05-07
申请号：PCT/EP2008/063116
申请日：2008-10-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , FRANKE, Axel , KEHR, Kersten
发明人： PIRK, Tjalf , FRANKE, Axel , KEHR, Kersten
IPC分类号： B81B7/00
摘要： Ein mikromechanisches System 1 umfasst ein Substrat 100, eine Aufhängung 130, eine Basis 140 und einen mikromechanischen Sensor 150, wobei die Aufhängung 130 die Basis 140 über dem Substrat 100 beweglich trägt und wobei der mikromechanische Sensor 150 an der Basis 140 angeordnet ist.

6. 发明申请

WO2008071480A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2008071480A1
公开(公告)日：2008-06-19
申请号：PCT/EP2007/060966
申请日：2007-10-15
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
发明人： KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem beweglichen Element (8), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (9) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, und das entlang einer zweiten Achse (z) unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Kompensationseinrichtung (15, 16), die eingerichtet ist, unerwünschte Schwingungen des beweglichen Elements (8) entlang der zweiten Achse (z) zu kompensieren, die durch die Antriebseinrichtung (9) hervorgerufen werden. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehratensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种具有一个可动元件（8）被布置在基板的一个表面，并通过一驱动装置（9）沿第一轴（y），它沿所述表面振动运行可被驱动旋转率传感器，和沿第二轴线（z）是一个科里奥利力的作用下可被偏转，并且其适于补偿沿所述第二轴（z）的可动构件（8）的不期望的振动的补偿装置（15，16），由所表示的引起驱动装置（9）。所述第二轴线（Z）垂直于旋转率传感器的表面的布置可以被集成，以进一步旋转率传感器，其适用于检测旋转大约涉及不同的旋转轴线，在一个芯片上一起。

7. 发明申请

WO2005045368A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2005045368A1
公开(公告)日：2005-05-19
申请号：PCT/DE2004/001809
申请日：2004-08-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , ROCZNIK, Marko
发明人： GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , ROCZNIK, Marko
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5755
摘要： Die Erfindung geht aus von einem Drehratensensor mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Hauptanspruches. Der erfindungsgemässe Drehratensensor weist kraftvermittelnde Mittel auf. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass die durch diese Mittel vermittelte Kraftwirkung eine Frequenz derart aufweist, dass die Frequenz der vermittelten Kraftwirkung ein ganzzahliges Vielfaches der Frequenz der Schwingung des Antriebselements parallel zur x-Achse ist.
摘要翻译：本发明是基于在具有主权利要求的前序部分的特征的横摆率传感器。本发明的旋转速率传感器具有力赋予剂。本发明的核心是，介导通过这些手段迫使具有频率，使得的切换电源效果的频率是驱动元件的振荡频率的整数倍的效果是平行于x轴。

8. 发明公开

EP2106551A2 MEHRACHSIGER MIKROMECHANISCHER BESCHLEUNIGUNGSSENSOR 有权
公开(公告)号：EP2106551A2
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：EP07822570.3
申请日：2007-11-14
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , SCHUBERT, Dietrich , KEHR, Kersten , REICHENBACH, Ralf
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/084
摘要： The invention relates to a micromechanic acceleration sensor, comprising a substrate (1), an elastic membrane (5), which extends in parallel to the substrate plane, is partially connected to the substrate and comprises a surface region, which can be deflected perpendicular to the substrate plane. The invention further comprises a seismic mass (6), wherein the center of gravity thereof is outside of the plane of the elastic membrane (5). The seismic mass (6) extends at a distance across substrate regions, which are located outside of the region of the elastic membrane (5) and comprise an arrangement made of a plurality of electrodes (3a, 3b, 3c, 3d), which form a capacitor with opposing regions of the seismic mass (6) in a circuit. In the central region, the seismic mass (6) is fastened in the surface region of the elastic membrane (5), which can be deflected perpendicular to the substrate plane, to the elastic membrane (5).
摘要翻译：传感器具有平行于衬底平面延伸的弹性膜（5），与衬底（1）连接，其中膜包括垂直于平面移动的平面区域。震动块（6），其旋转点位于膜的平面之外，其中基底区域位于膜的平面区域的外侧。地震质量被固定在膜的平面区域的中心区域。一组电极（3a，3c）以电路技术方式形成具有相对于地震块的区域的冷凝器。

9. 发明公开

EP1682853A1 DREHRATENSENSOR 有权
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：EP1682853A1
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：EP04762654.4
申请日：2004-08-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , ROCZNIK, Marko
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5755
摘要： The invention relates to a rotational speed sensor comprising the features of the generic part of the main claim. The inventive rotational speed sensor is provided with force-transducing means. The invention is characterized in that the effective force transduced by said means is provided with a certain frequency such that the frequency of the transduced effective force represents an integer multiple of the oscillation frequency of the driving element parallel to the x axis.

10. 发明公开

EP2208020A1 DREHRATENSENSOR 有权
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：EP2208020A1
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：EP08805011.7
申请日：2008-10-02
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
摘要： The invention relates to a yaw rate sensor having a substrate and a plurality of moveable partial structures, which are arranged across a surface of the substrate, wherein the moveable partial structures are coupled to a common, particularly a central spring element, wherein means are provided in order to excite the moveable partial structures to carry out a coupled oscillation in a plane parallel to the surface of the substrate, wherein the moveable partial structures comprise Coriolis elements, wherein means are provided to prove deflections of the Coriolis elements caused by a Coriolis force, wherein a first Coriolis element is provided for detecting a yaw rate about a first axis, wherein a second Coriolis element is provided for detecting a yaw rate about a second axis, the second axis being aligned perpendicular to the first axis.

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