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1. 发明申请

WO2009056420A3 MIKROMECHANISCHES SYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：WO2009056420A3
公开(公告)日：2009-05-07
申请号：PCT/EP2008/063116
申请日：2008-10-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , FRANKE, Axel , KEHR, Kersten
发明人： PIRK, Tjalf , FRANKE, Axel , KEHR, Kersten
IPC分类号： B81B7/00
摘要： Ein mikromechanisches System 1 umfasst ein Substrat 100, eine Aufhängung 130, eine Basis 140 und einen mikromechanischen Sensor 150, wobei die Aufhängung 130 die Basis 140 über dem Substrat 100 beweglich trägt und wobei der mikromechanische Sensor 150 an der Basis 140 angeordnet ist.

2. 发明申请

WO2012076223A3 MIKROELEKTROMECHANISCHES SENSORMODUL SOWIE ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2012076223A3
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：PCT/EP2011/068003
申请日：2011-10-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , WAGNER, Thomas , FEYH, Ando , BISCHOPINK, Georg , FRANKE, Axel
发明人： PIRK, Tjalf , WAGNER, Thomas , FEYH, Ando , BISCHOPINK, Georg , FRANKE, Axel
IPC分类号： H01L25/16 , G01C19/56
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikroelektromechanisches Sensormodul. Das mikroelektromechanische Sensormodul umfasst Sensiermittel zur Messung einer Beschleunigung, Druck, Luftfeuchtigkeit oder dergleichen, ein Steuerungsmittel zur Steuerung der Sensiermittel, Energieversorgungsmittel zur Energieversorgung des Sensormoduls sowie Übertragungsmittel zur Übertragung von Signalen des Sensiermittels wobei zumindest drei der Mittel auf Chipebene jeweils in zumindest einem Chip integriert sind. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein entsprechendes Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Sensormoduls.

3. 发明申请

WO2013068169A2 TRÄGER FÜR EINE ELEKTRISCHE SCHALTUNG MIT EINEM INTEGRIERTEN ENERGIESPEICHER 审中-公开
标题翻译：支持用于电路与集成储能
公开(公告)号：WO2013068169A2
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：PCT/EP2012/068585
申请日：2012-09-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , EHRENPFORDT, Ricardo , BOHNE, Laura , STEIGERT, Juergen , BRETTSCHNEIDER, Thomas , RUPP, Jochen
发明人： PIRK, Tjalf , EHRENPFORDT, Ricardo , BOHNE, Laura , STEIGERT, Juergen , BRETTSCHNEIDER, Thomas , RUPP, Jochen
IPC分类号： H01M6/40 , H01M10/04 , H01M10/42
CPC分类号： H01M6/40 , H01M6/16 , H01M6/181 , H01M6/188 , H01M10/0436 , H01M10/0525 , H01M10/0564 , H01M10/0565 , H01M10/0585 , H01M10/425 , H01M2010/0495
摘要： Die Erfindung betrifft Träger für eine elektrische Schaltung mit einem integrierten Energiespeicher, wobei der Träger (10) aufweist zumindest eine eine Innenfläche (20, 56) aufweisende Kavität (18,47), wobei die Kavität (18, 47) von einer Substratschicht (12, 14, 46, 48, 50) des Trägers (10) zumindest teilweise umgrenzt wird, zumindest ein ionenleitendes Material (42, 42', 58), welches in zumindest einer der Kavitäten (18, 47) angrenzend an die Innenfläche (20, 56) angeordnet ist, zumindest eine erste Elektrode (22, 52), welche zumindest eines der ionenleitenden Materialien (42, 42', 58) kontaktiert und mit zumindest einem ersten Teil (31) der elektrischen Schaltung (15) des Trägers (10) elektrisch leitend verbunden ist, und zumindest eine zweite Elektrode (24, 54), welche zumindest eines der ionenleitenden Materialien (42, 42', 58) kontaktiert und mit zumindest einem zweiten Teil (33) der elektrischen Schaltung (15) des Trägers (10) elektrisch leitend verbunden ist.
摘要翻译：本发明涉及一种载体用于电电路具有集成能量存储器，其中，所述载体（10）具有至少一个内表面（20，56）具有空腔（18,47），所述腔（18，47）（在基板层12的，14，46，48，50中的载流子的）（10）至少部分地限定至少一个离子传导材料（42，42”，58），其（在邻近内表面的腔体18中的至少一个，47）（20， 56）布置在至少一个第一电极（22，52），所述离子传导材料（42，其（至少一个，42”，接触58）和载体10的电路（15）的（至少一个第一部分31））导电连接，以及至少一个第二电极（24，54）（在离子传导材料（42，42”的载体10的电路（15）的，58）接触和至少一个第二部分（33）中的至少一个）导电连接。

4. 发明申请

WO2010057703A2 VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES ELEKTROSTATISCHEN ANTRIEBS UND ELEKTROSTATISCHE ANTRIEBE 审中-公开
标题翻译：一种用于操作静电驱动和静态DRIVES
公开(公告)号：WO2010057703A2
公开(公告)日：2010-05-27
申请号：PCT/EP2009/062352
申请日：2009-09-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N2/14 , G02B6/3512 , G02B26/0841 , H02N1/006
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines elektrostatischen Antriebs mit einer Stator-Elektrode (50) und einer Aktor-Elektrode (52), welche als Mehrlagenelektroden ausgebildet sind, wobei die Aktor-Elektrode (52) in ihrer spannungslosen Ausgangsstellung ohne eine zwischen einer Stator-Elektrodenuntereinheit (50b, 50c) und einer Akior-Elektrodenuntereinheit (52b, 52c) angelegte Spannung so in Bezug auf die Stator-Elektrode (50) angeordnet ist, dass die erste Aktor-Elektrodenuntereinheit (52b) einen kleineren Absland zu der ersten Stator-Eiektrodenuntereinheit (50b) aufweist ais die zweite Aktor-Elektrodenuntereinheit (52c), mit dem Schritt; Vorauslenken der Aktor-Elektrode (52) in Bezug auf die Stator-Elektrode (50) aus ihrer spannursgsiosen Ausgangsstellung in eine erste End-Stellung durch Anlegen eines ersten Potentials ( π 1) an die erste Stator-Elektrodenuniereinheit (50b) und eines von dem ersten Potential ( π 1) abweichenden zweiten Potentials ( π 2) an die erste Aktor-Elektrodenuntereinheit (52b); und Anlegen eines dritten Potentials ( π 3) an die zweite Stator-Elektrodenuntereinheit (50c) und an die zweite Aktor-Elektrodenuntereinheit (52c), welches von dem ersten Potential ( π 1) und dem zweiten Potential ( π 2) abweicht.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于在其去激励的初始位置的定子电极（50）和形成为多层电极的致动器电极（52），其中，所述致动器电极（52）不具有一个定子之间操作的静电驱动 -Elektrodenuntereinheit（50B，50C）和一个Akior电极子单元（52B，52C）施加的电压被如此布置成相对于所述定子电极（50），该第一致动器电极子单元（52B）具有较小的Absland向第一定子 Eiektrodenuntereinheit（50B）AIS第二致动器电极子单元（52C），与所述步骤; 通过施加第一电势（P1）向第一定子Elektrodenuniereinheit前进相对于从在第一端部位置其spannursgsiosen初始位置定子电极（50）引导所述致动器电极（52）（50B）和第一的电位（P1）不同的第二电势（P2）到所述第一致动器电极子单元（52B）; 偏离并施加第三电位（P3）到第二定子电极子单元（50℃）和第二致动器电极子单元（52C），其从第一电位（P1）和所述第二电势（P2）。

5. 发明申请

WO2009124605A3 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHRÄGSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2009124605A3
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066388
申请日：2008-11-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
摘要： Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das Bauelement umfasst ein Substrat (1) mit einer Oberfläche (O); einen ersten Anker (3e; 3e'), welcher auf der Oberfläche (O) des Substrats (1) vorgesehen ist und welcher sich vom Substrat (1) weg erstreckt; und mindestens einen an einer Seitenfläche (S1, S2; S1'; S1'') des Ankers (3e; 3e') vorgesehenen Ausleger (3c, 3d; 3c; 3c'), welcher schräg vom Anker (3e; 3e') weggerichtet ist.

6. 发明申请

WO2009095108A3 FESTKÖRPERGELENK UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2009095108A3
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/EP2008/065532
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B7/00
摘要： Das erfindungsgemäße Festkörpergelenk (16) zum Aufhängen einer mikromechanischen Einrichtung (2) beinhaltet einen tragenden Balken (17) und eine auf dem tragenden Balken (17) aufgebrachte dünne Schicht (22). Die dünne Schicht ragt seitlich über den tragenden Balken (17) hin. In der dünnen Schicht (22) sind ein oder mehrere Leiterbahnen (18) eingebettet.

7. 发明申请

WO2009074368A3 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2009074368A3
公开(公告)日：2009-06-18
申请号：PCT/EP2008/063670
申请日：2008-10-10
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C3/00
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement (100) mit den Schritten: Bilden einer Isolierschicht (14) direkt auf einem ersten Halbleitersubstrat (10) und Ätzen mindestens eines Trenngrabens (26) durch das erste Halbleitersubstrat (10) zum Teilen des ersten Halbleitersubstrats (10) in mindestens ein elektrisch isoliertes Mittelteil (32 bis 38) und ein das Mittelteil (32 bis 38) umgebendes Rahmenteil (30). Des Weiteren betriff die Erfindung ein entsprechendes mikromechanisches Bauelement (100).

8. 发明申请

WO2013110395A1 DIELEKTRISCHES MATERIAL ZUR VERWENDUNG IN ELEKTRISCHEN ENERGIESPEICHERN 审中-公开
标题翻译：介电材料用于电气节能
公开(公告)号：WO2013110395A1
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：PCT/EP2012/074942
申请日：2012-12-10
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , SUENNER, Thomas , ECKARDT, Martin , ROELVER, Robert , HERNANDEZ GUILLEN, Francisco
发明人： PIRK, Tjalf , SUENNER, Thomas , ECKARDT, Martin , ROELVER, Robert , HERNANDEZ GUILLEN, Francisco
IPC分类号： H01L49/02 , H01L29/12 , H01G4/002
CPC分类号： H01G4/08 , B82Y10/00 , H01G4/10 , H01G4/1272 , H01G4/33 , H01L28/40 , H01L29/0665 , H01L29/127 , H01L29/1608 , H01L29/2003 , H01L29/51 , Y02T10/7022
摘要： Die Erfindung geht aus von einem dielektrisches Material zur Verwendung in elektrischen Energiespeichern (10), das zumindest zwei Nanostrukturen (18, 20, 22, 24) umfasst, die jeweils in einer elektrisch isolierenden Matrix (28) aus einem Material eingebettet sind, das eine größere Bandlücke aufweist als ein Material der Nanostrukturen (18, 20, 22, 24). Es wird vorgeschlagen, dass parallel zu einer Richtung (16) eines von außen anwendbaren elektrischen Feldes eine von Null verschiedene Wahrscheinlichkeit eines Tunnelns von Ladungsträgern zwischen den zwei Nanostrukturen (18, 20, 22, 24) eingestellt ist.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在电能存储（10），所述至少两个纳米结构（18，20，22，24），使用的介电材料的每个中的电绝缘基质（28）嵌入在具有一个材料大的带隙比所述纳米结构（18，20，22，24）的材料。所以建议平行于从外部电场可应用的一个方向（16），两个纳米结构（18，20，22，24）被设置之间的电荷载体隧道非零概率。

9. 发明申请

WO2012150064A1 SCHICHTANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：层排列
公开(公告)号：WO2012150064A1
公开(公告)日：2012-11-08
申请号：PCT/EP2012/053889
申请日：2012-03-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , GHAHREMANPOUR, Mehran , SAEGEBARTH, Joachim , BOGNER, Martin , SANDMAIER, Hermann
发明人： PIRK, Tjalf , GHAHREMANPOUR, Mehran , SAEGEBARTH, Joachim , BOGNER, Martin , SANDMAIER, Hermann
IPC分类号： H01M4/62 , H01M10/0565 , H01M10/0525
CPC分类号： H01M10/0565 , H01M4/624 , H01M10/0525 , Y02E60/122 , Y02P70/54
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung, umfassend wenigstens drei aufeinanderfolgende Schichten, wobei die drei Schichten eine obere Elektrodenschicht (16), eine untere Elektrodenschicht (14) und eine zwischen der oberen (16) und der unteren (14) Elektrodenschicht angeordnete Elektrolytschicht (18) aufweisen, wobei wenigstens die Elektrolytschicht (18) und eine der oberen (16) und der unteren (14) Elektrodenschicht eine organische Matrix aufweisen, und wobei die organische Matrix der Elektrolytschicht (18) eine Ionenleitfähigkeit in einem Bereich von ≥ 10 -6 S/cm aufweist. Eine derartige Anordnung ist insbesondere geeignet zur Bildung eines Lithium-Ionen-Akkumulators und ermöglicht eine einfache und kostengünstige Herstellung sowie eine gute Anpassbarkeit an die gewünschte Anwendung.
摘要翻译：本发明涉及一种包括至少三个相继的层，这三个层的顶部电极层（16），下部电极层（14）和布置设置在上（16）之间以及所述底部（14）的电极层，电解质层（18）有，至少在电解质层（18）和上部（16）中的一个和具有有机基质的底部（14）的电极层，并且其中所述电解质层（18）的有机基质具有范围10-6 S的离子电导率/ 厘米。这种布置特别适合于形成锂离子二次电池，并且能够容易且廉价地制造，以及良好的适应性，以所期望的应用。

10. 发明申请

WO2009127274A3 MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT DREHBAREM STELLELEMENT, VERFAHREN ZUM BETREIBEN DES BAUTEILS UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR DAS BAUTEIL 审中-公开
公开(公告)号：WO2009127274A3
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008/066721
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Feder (20a, 20b), einem an einem ersten Ende der Feder (20a, 20b) befestigten Hebelelement (22a, 22b), einer Antriebeinrichtung, welche dazu ausgelegt ist, das Hebelelement (22a, 22b) um eine senkrecht zu einer Längsachse des Hebelelements (22a, 22b) ausgerichtete erste Drehachse zu drehen, und einem an einem zweiten Ende der Feder (20a, 20b) befestigten Stellelement (10), welches so mittels der Feder (20a, 20b) an das Hebelelement (22a, 22b) gekoppelt ist, dass bei einem Drehen des Hebelelements (22a, 22b) um die erste Drehachse mittels der Antriebeinrichtung das Stellelement (10) um eine zweite Drehachse (18) gedreht wird. Zusätzlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.

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