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1. 发明申请

WO2010034556A2 KOPPELSTRUKTUR FÜR EINE DREHRATENSENSORVORRICHTUNG, DREHRATENSENSORVORRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：转向传感器装置的耦合结构，转向传感器装置及制造方法
公开(公告)号：WO2010034556A2
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/EP2009/060131
申请日：2009-08-05
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , SATTLER, Robert , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg
发明人： SATTLER, Robert , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/56 , Y10T29/49826
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Koppelstruktur (40) für eine Drehratensensorvorrichtung mit mindestens einer ersten Schwingmasse (42a); und einem die erste Schwingmasse (42a) umgebenden ersten Rahmen, an welchen die erste Schwingmasse (42a) gekoppelt ist; wobei der erste Rahmen vier Winkelelemente (10a,10b,10c,10d) umfasst, von denen jedes der Winkelelemente (10a,10b,10c,10d) mindestens einen ersten Schenkel und einen zweiten Schenkel aufweist und mit dem ersten Schenkel und mit dem zweiten Schenkel jeweils an ein anderes benachbartes Winkelelement (10a,10b,10c,10d) der vier Winkelelemente (10a,10b,10c,10d) gekoppelt ist. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung eine weitere Koppelstruktur (40) für eine Drehratensensorvorrichtung, eine Drehratensensorvorrichtung, Herstellungsverfahren für eine Koppelstruktur (40) für eine Drehratensensorvorrichtung und ein Herstellungsverfahren für eine Drehratensensorvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种用于具有至少一个第一振动质量（42a）的旋转速率传感器装置的耦合结构（40）。以及围绕所述第一振荡质量（42a）与所述第一振荡质量（42a）耦合的第一框架; 其中，所述第一帧中的四个角元件（10A，10B，10C，10D），其中之一的每个角元件（10A，10B，10C，10D）具有至少一个第一腿部和第二腿部和所述第一腿部和所述第二腿部每个与四个角元件（10a，10b，10c，10d）的另一个相邻角元件（10a，10b，10c，10d）耦合。此外，本发明提供了一种用于导航中使用的另外的耦合结构（40）是关于为r的横摆率传感器装置，用于导航使用横摆率传感器装置的制造方法r用于导航使用的耦合结构（40）R偏航速率传感器装置和用于导航用途的制造方法。R为横摆率传感器设备

2. 发明申请

WO2018096130A1 MEMS TRANSDUCER SYSTEM FOR PRESSURE AND ACOUSTIC SENSING 审中-公开
公开(公告)号：WO2018096130A1
公开(公告)日：2018-05-31
申请号：PCT/EP2017/080461
申请日：2017-11-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： DOLLER, Andrew , HATIPOGLU, Gokhan , ZHANG, Yujie , GEHL, Bernhard , MEISEL, Daniel Christoph
IPC分类号： B81B3/00 , H04R19/04
摘要： A MEMS transducer system includes a MEMS transducer device for sensing at least one of pressure signal or acoustic signal. The MEMS transducer device includes first and second diaphragms. Formed between the diaphragms are a spacer, plate capacitor elements, and electrode elements. The plate capacitor elements are coupled to the diaphragms via the spacer. An optional member may be disposed within the spacer. The distal ends of the electrode elements are coupled to a structure such as insulator element. An optional oxides may be formed within the plate capacitor elements. Pressure sensing electrode formed between the diaphragms may be coupled to the insulator element.

3. 发明申请

WO2018091690A1 MEMS MICROPHONE SYSTEM HAVING AN ELECTRODE ASSEMBLY 审中-公开
公开(公告)号：WO2018091690A1
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：PCT/EP2017/079670
申请日：2017-11-17
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： DOLLER, Andrew , HATIPOGLU, Gokhan , ZHANG, Yujie , GEHL, Bernhard , MEISEL, Daniel Christoph
IPC分类号： H04R19/00
摘要： A microphone system includes first diaphragm element, second diaphragm element spaced apart from the first diaphragm element and connected to the first diaphragm element via a spacer. Disposed between the diaphragm elements is a plate capacitor element.

4. 发明申请

WO2010108712A1 VORRICHTUNG ZUM RESONANTEN ANTREIBEN EINES MIKROMECHANISCHEN SYSTEMS 审中-公开
标题翻译： DEVICE FOR共振驱动微机械系统
公开(公告)号：WO2010108712A1
公开(公告)日：2010-09-30
申请号：PCT/EP2010/051008
申请日：2010-01-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FRANKE, Axel , FREUND, Frank , MEISEL, Daniel Christoph
发明人： FRANKE, Axel , FREUND, Frank , MEISEL, Daniel Christoph
IPC分类号： G01C19/56 , G02B26/08
CPC分类号： G01C19/5755
摘要： Es wird eine Vorrichtung zum resonanten Antreiben eines mikromechanischen Systems vorgeschlagen, welche zumindest eine federschwingungsgelagerte seismische Masse, zumindest einen Antrieb zum Antreiben einer Schwingung der seismischen Masse und zumindest ein mit der seismischen Masse bewegungsgekoppeltes Element umfasst. Ferner umfasst die Vorrichtung zumindest ein Detektionselement zum Detektieren eines mit der Schwingung der seismischen Masse veränderlichen Relationsparameters zwischen bewegungsgekoppeltem Element und Detektionselement, wobei das Detektionselement eingerichtet ist, bei Erreichen eines vorbestimmten Wertes des Relationsparameters eine Unterbrechung des Schwingungsantriebs zu verursachen.
摘要翻译：它提出了一种用于驱动包括用于驱动所述振动质量的振荡和至少一个运动耦合到所述振动质量元件的至少一个弹簧安装振动振动质量，至少一个驱动器的共振微机械系统的装置。此外，所述装置包括至少一个检测元件用于检测与bewegungsgekoppeltem元件和检测元件之间振动质量关系参数的振动的变量，所述检测元件被布置在到达关系参数的预定值，以使所述振动致动器的中断。

5. 发明申请

WO2009050021A1 MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG MIT ANTRIEBSRAHMEN 审中-公开
标题翻译：与带动下微机械装置
公开(公告)号：WO2009050021A1
公开(公告)日：2009-04-23
申请号：PCT/EP2008/062936
申请日：2008-09-26
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg
发明人： MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5684 , G01C19/5747
摘要： Die Erfindung geht aus von einer mikromechanischen Vorrichtung mit wenigstens einem Antriebsrahmen (10, 15, 17) und wenigstens einem Schwinger (20, 25, 27), wobei der Schwinger (20, 25, 27) in einem von dem Antriebsrahmen (10, 15, 17) umfaßten Bereich (50) angeordnet ist, wobei der Schwinger (20, 25, 27) mit dem Antriebsrahmen (10, 15, 17) mechanisch gekoppelt ist. Der Kern der Erfindung besteht darin, daß der Antriebsrahmen (10, 15, 17) zu einer Biegeschwingung (100) anregbar ist.
摘要翻译：本发明是基于具有至少一个驱动器框架（10，15，17）和至少一个振动器（20，25，27）的微机械装置，其中在一个振动器（20，25，27）（在驱动器的框架10，15 被布置，17）覆盖的区域（50），其中，所述振动器（20，25，27）与所述驱动器框架（10，15，17）机械地耦合。本发明的核心是，驱动器框架（10，15，17）的弯曲振荡（100）可以被激发。

6. 发明申请

WO2015185449A1 INTERPOSER FÜR DIE MONTAGE EINES VERTIKAL HYBRID INTEGRIERTEN BAUTEILS AUF EINEM BAUTEILTRÄGER 审中-公开
标题翻译： INTERPOSER用于垂直混合集成成分对一分量载波的安装
公开(公告)号：WO2015185449A1
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：PCT/EP2015/061946
申请日：2015-05-29
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , KRAMER, Torsten , REINMUTH, Jochen , HATTASS, Mirko , TEBJE, Lars , MEISEL, Daniel Christoph , REICHENBACH, Ralf , HEUCK, Friedjof , PUYGRANIER, Antoine
IPC分类号： B81B7/00 , G01L19/14 , H01L23/13
CPC分类号： B81B7/0048 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , H01L23/13 , H01L23/49827 , H01L2224/16225
摘要： Es wird ein Interposerkonzept zur Reduzierung von montagebedingten mechanischen Spannungen im Aufbau eines vertikal hybrid integrierten Bauteils vorgeschlagen, das eine zuverlässige mechanische Fixierung des Bauteils auf einem Bauteilträger und eine platzsparende elektrische Kontaktierung des Bauteils ermöglicht. Ein solcher Interposer (301) besteht aus einem flächigen Trägersubstrat (310) mit mindestens einer vorderseitigen Verdrahtungsebene (320), in der vorderseitige Anschlusspads (321) für die Montage des Bauteils (100) auf dem Interposer (301) ausgebildet sind, mit mindestens einer rückseitigen Verdrahtungsebene (330), in der rückseitige Anschlusspads (331) für die Montage auf einem Bauteilträger (110) ausgebildet sind, wobei die vorderseitigen Anschlusspads (321) und die rückseitigen Anschlusspads (331) versetzt zueinander angeordnet sind, und mit Durchkontakten (340) zur elektrischen Verbindung der mindestens einen vorderseitigen Verdrahtungsebene (320) und der mindestens einen rückseitigen Verdrahtungsebene (330). Erfindungsgemäß umfasst das Trägersubstrat (310) mindestens einen Randabschnitt (360) und mindestens einen Mittelabschnitt (350), die durch eine Stressentkopplungsstruktur (371) zumindest weitgehend mechanisch entkoppelt sind. Die vorderseitigen Anschlusspads (321) für die Montage des Bauteils (100) sind ausschließlich auf dem Mittelabschnitt (350) angeordnet, während die rückseitigen Anschlusspads (331) für die Montage auf einem Bauteilträger (110) ausschließlich auf dem Randabschnitt (360) angeordnet sind.
摘要翻译：它提出了一种内插的概念，以减少在垂直集成式混合装置的构造，其允许分量载波和保存部件的电接触的空间上的部件的可靠的机械固定组件相关的机械应力。这样的内插器（301）由具有在所述前侧接触垫中的至少一个前侧布线层（320）（321）的平坦载体基板（310）被设计用于在具有至少一个内插器（301）的安装部件（100）的在后连接器焊盘（331）被设计用于安装一分量载波（110）上回布线平面（330）被布置，其中，所述前侧接触垫（321）和从彼此偏移的后部连接器焊盘（331），以及通孔（340）用于所述至少一个前侧布线层（320）和所述至少一个背面布线层（330）电连接。根据本发明，所述载体基片（310）包括至少一个边缘部分（360）和至少其至少在很大程度上由应力隔离结构（371）机械分离的中间部分（350）。前侧接触垫（321），用于安装部件（100）被布置仅在中央部分（350），而所述后连接器焊盘（331），用于安装一个分量载波（110）上的上缘部（360）排他地布置。

7. 发明申请

WO2010034550A1 MIKROMECHANISCHER SENSOR 审中-公开
标题翻译：微机械传感器
公开(公告)号：WO2010034550A1
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/EP2009/060019
申请日：2009-08-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg
发明人： MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg
IPC分类号： G01P15/125 , G01C19/56 , B81B3/00
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0086 , B81B2201/0235
摘要： Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Sensor mit mindestens einem beweglich gelagerten Messelement, welches mindestens einer ortsfest angeordneten Elektrode gegenüber steht, wobei die Elektrode in einer ersten Ebene angeordnet ist und von mindestens einer Leiterbahn kontaktiert wird, welche in einer zweiten Ebene angeordnet ist, wobei sich zwischen der ersten Ebene und der zweiten Ebene eine dritte Ebene befindet, welche ein elektrisch leitfähiges Material umfasst.
摘要翻译：本发明涉及与作为相对地放置至少一个固定电极的至少一个可移动地安装测量元件的微机械传感器，其中所述电极被设置在第一平面中，并且通过被布置在第二平面中的至少一个导体轨道接触，在它们之间第一级和第二级是第三级，其包含导电材料。

8. 发明申请

WO2009062786A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009062786A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/EP2008/063228
申请日：2008-10-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
摘要： Drehratensensor mit einem Substrat und einer Mehrzahl von beweglichen Teilstrukturen, die über einer Oberfläche des Substrats angeordnet sind, wobei die beweglichen Teilstrukturen an ein gemeinsames, insbesondere ein zentrales, Federelement gekoppelt sind, wobei Mittel vorgesehen sind, um die beweglichen Teilstrukturen zu einer gekoppelten Schwingung in einer zur Oberfläche des Substrats parallelen Ebene anzuregen, wobei die beweglichen Teilstrukturen Coriolis-Elemente aufweisen, wobei Mittel vorgesehen sind, durch eine Coriolis-Kraft verursachte Auslenkungen der Coriolis-Elemente nachzuweisen, wobei ein erstes Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine erste Achse vorgesehen ist, wobei ein zweites Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine zweiten Achse vorgesehen ist, wobei die zweite Achse senkrecht zur ersten Achse ausgerichtet ist.
摘要翻译：具有基板和多个可动子，其被布置在所述基板，其中，所述可动部结构被耦合到公共的表面上的，特别是中央，弹簧元件，其中，在被提供用于可动子的耦合后的振动的装置的横摆率传感器平行的平面内激发于衬底平面的表面，所述可动部分的结构科里奥利元件，所述设置装置，用于检测由科里奥利元件的科里奥利力挠曲，导致其中，用于检测绕第一轴线旋转的速率的第一科里奥利元件设置，其中，用于检测的旋转速度的第二科里奥利元件围绕第二轴线设置，第二轴线垂直于第一轴线取向。

9. 发明申请

WO2018091644A1 SYSTEM OF NON-ACOUSTIC SENSOR COMBINED WITH MEMS MICROPHONE 审中-公开
公开(公告)号：WO2018091644A1
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：PCT/EP2017/079568
申请日：2017-11-17
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： DOLLER, Andrew , HATIPOGLU, Gokhan , ZHANG, Yujie , GEHL, Bernhard , MEISEL, Daniel Christoph
IPC分类号： H04R19/00 , G01L9/00 , H04R1/04 , B81B7/02
摘要： A system includes a pressure sensor combined with a MEMS microphone. The pressure sensor and the MEMS microphone arranged side by side are formed on a same substrate.

10. 发明申请

WO2015124432A1 SENSOREINHEIT MIT ENTKOPPLUNGSSTRUKTUR UND DESSEN HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：去耦结构传感器单元及其制造方法
公开(公告)号：WO2015124432A1
公开(公告)日：2015-08-27
申请号：PCT/EP2015/052370
申请日：2015-02-05
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： CLASSEN, Johannes , KRAMER, Torsten , MEISEL, Daniel Christoph , BENZEL, Hubert , FREY, Jens , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： B81B7/00 , B81C3/00
CPC分类号： B81B7/0048 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2207/017 , B81C3/001 , B81C2201/0132 , B81C2201/019 , H01L2224/16225 , H01L2924/15311
摘要： Es wird eine Sensoreinheit mit einem ersten Halbleiterbauelement und einem zweiten Halbleiterbauelement vorgeschlagen, wobei das erste Halbleiterbauelement ein erstes Substrat und eine Sensorstruktur aufweist, wobei das zweite Halbleiterbauelement ein zweites Substrat aufweist, wobei das erste und zweite Halbleiterbauelement über eine Waferverbindung miteinander verbunden sind, wobei die Sensoreinheit eine Entkopplungsstruktur aufweist, die derart konfiguriert ist, dass die Sensorstruktur thermisch und/oder mechanisch von dem zweiten Halbleiterbauelement entkoppelt ist.
摘要翻译：存在具有第一半导体器件和第二半导体器件提出，其中所述具有第一基板和传感器结构，其中所述第二半导体器件包括第二衬底上的第一半导体器件，第一和第二半导体器件通过晶片键合而彼此连接的传感器单元，其中，所述传感器单元包括被配置为使得所述传感器结构是从所述第二半导体器件的热和/或机械分离的去耦结构。

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