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1. 发明申请

WO2005045368A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2005045368A1
公开(公告)日：2005-05-19
申请号：PCT/DE2004/001809
申请日：2004-08-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , ROCZNIK, Marko
发明人： GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , ROCZNIK, Marko
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5755
摘要： Die Erfindung geht aus von einem Drehratensensor mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Hauptanspruches. Der erfindungsgemässe Drehratensensor weist kraftvermittelnde Mittel auf. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass die durch diese Mittel vermittelte Kraftwirkung eine Frequenz derart aufweist, dass die Frequenz der vermittelten Kraftwirkung ein ganzzahliges Vielfaches der Frequenz der Schwingung des Antriebselements parallel zur x-Achse ist.
摘要翻译：本发明是基于在具有主权利要求的前序部分的特征的横摆率传感器。本发明的旋转速率传感器具有力赋予剂。本发明的核心是，介导通过这些手段迫使具有频率，使得的切换电源效果的频率是驱动元件的振荡频率的整数倍的效果是平行于x轴。

2. 发明申请

WO2008015044A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2008015044A1
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：PCT/EP2007/055597
申请日：2007-06-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
发明人： HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5747
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem Antriebsmassenelement (13), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (18) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, einem Erfassungsmassenelement (14), das entlang einer zweiten Achse (z), die senkrecht zur Oberfläche verläuft, unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Erfassungseinrichtung, durch welche die Auslenkung des Erfassungsmassen- Elements (14) entlang der zweiten Achse (z) erfaßbar ist. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehra tensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种具有驱动质量元件的旋转速度传感器（13）设置在由沿第一轴（y），它沿所述表面振动运行的驱动装置（18）的基板的与表面可以被驱动，（检测质量元件 14），其是沿第二轴（z偏转）垂直于科里奥利力的作用下的表面上，和检测装置，通过它可以检测到沿所述第二轴（z的Erfassungsmassen-元件（14）的偏转）是。所述第二轴线（Z）的垂直于旋转率传感器的表面上的布置可以几十传感器，进一步Drehra一起适合用于检测绕定向不同的旋转轴的旋转，在一个芯片上集成。

3. 发明申请

WO2009062786A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009062786A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/EP2008/063228
申请日：2008-10-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
摘要： Drehratensensor mit einem Substrat und einer Mehrzahl von beweglichen Teilstrukturen, die über einer Oberfläche des Substrats angeordnet sind, wobei die beweglichen Teilstrukturen an ein gemeinsames, insbesondere ein zentrales, Federelement gekoppelt sind, wobei Mittel vorgesehen sind, um die beweglichen Teilstrukturen zu einer gekoppelten Schwingung in einer zur Oberfläche des Substrats parallelen Ebene anzuregen, wobei die beweglichen Teilstrukturen Coriolis-Elemente aufweisen, wobei Mittel vorgesehen sind, durch eine Coriolis-Kraft verursachte Auslenkungen der Coriolis-Elemente nachzuweisen, wobei ein erstes Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine erste Achse vorgesehen ist, wobei ein zweites Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine zweiten Achse vorgesehen ist, wobei die zweite Achse senkrecht zur ersten Achse ausgerichtet ist.
摘要翻译：具有基板和多个可动子，其被布置在所述基板，其中，所述可动部结构被耦合到公共的表面上的，特别是中央，弹簧元件，其中，在被提供用于可动子的耦合后的振动的装置的横摆率传感器平行的平面内激发于衬底平面的表面，所述可动部分的结构科里奥利元件，所述设置装置，用于检测由科里奥利元件的科里奥利力挠曲，导致其中，用于检测绕第一轴线旋转的速率的第一科里奥利元件设置，其中，用于检测的旋转速度的第二科里奥利元件围绕第二轴线设置，第二轴线垂直于第一轴线取向。

4. 发明申请

WO2008071480A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2008071480A1
公开(公告)日：2008-06-19
申请号：PCT/EP2007/060966
申请日：2007-10-15
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
发明人： KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem beweglichen Element (8), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (9) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, und das entlang einer zweiten Achse (z) unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Kompensationseinrichtung (15, 16), die eingerichtet ist, unerwünschte Schwingungen des beweglichen Elements (8) entlang der zweiten Achse (z) zu kompensieren, die durch die Antriebseinrichtung (9) hervorgerufen werden. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehratensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种具有一个可动元件（8）被布置在基板的一个表面，并通过一驱动装置（9）沿第一轴（y），它沿所述表面振动运行可被驱动旋转率传感器，和沿第二轴线（z）是一个科里奥利力的作用下可被偏转，并且其适于补偿沿所述第二轴（z）的可动构件（8）的不期望的振动的补偿装置（15，16），由所表示的引起驱动装置（9）。所述第二轴线（Z）垂直于旋转率传感器的表面的布置可以被集成，以进一步旋转率传感器，其适用于检测旋转大约涉及不同的旋转轴线，在一个芯片上一起。

5. 发明申请

WO2004102116A1 MIKROMECHANISCHER BEWEGUNGSSENSOR 审中-公开
标题翻译：微机械运动
公开(公告)号：WO2004102116A1
公开(公告)日：2004-11-25
申请号：PCT/DE2004/000604
申请日：2004-03-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , KRIEG, Dietmar , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard
发明人： KRIEG, Dietmar , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5726 , G01C19/5776
摘要： Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Bewegungssensor, der eine auf ein schwingungsfähig gelagertes und durch einen elektrostatischen und mit einer periodischen Antriebsspannung beaufschlagten Schwingantrieb (KA1, KI2, KA2, KI2) zu permanenter periodischer Schwingung (γ(t)) angeregtes Balkenfederglied (1, 2) ausgeübte Auslenkung erfassen kann. Zur Kompensation auftretender Nichtlinearitäten des Resonanzfrequenzgangs des Balkenfederglieds (1, 2) kann ein vorhandener Kammantrieb (KA1, KI1, KA2, KI2) mit einer Summe (U PKA, Ges , U PKI, Ges ) aus einem normalen Antriebsspannungssignal und einem Kompensationsantriebssignal beauschlagt werden. Bei einer alternativen Ausführung können separate Kompensations-Kammantriebseinheiten zusätzlich zu den für den Schwingantrieb eingesetzten Kammantriebseinheiten (KA1, KA2, KI1, KI2) vorgesehen sein, die mit einem die Nichtlinearität kompensierenden Kompensationsspannungssignal beauftschlagt werden (Figur 3).
摘要翻译：本发明涉及一种微机械运动传感器，一个到一个可摆动地安装，并通过静电和通过周期性的驱动电压的振荡驱动器（KA1，KI2，KA2，KI2）到永久周期振荡（γ-（t））的作用在兴奋棒状弹簧元件（1，2）可以检测施加的偏转。存在用于补偿光束弹簧部件的共振频率响应的非线性（1，2）可以是现有的梳状驱动器（KA1，KI1，KA2，KI2）的beauschlagt与来自正常驱动电压信号的总和（UPKA，格斯，UPKI，GES）以及补偿驱动信号。在除了用于振荡驱动梳状驱动器单元（KA1，KA2，KI1，KI2）可以被提供，其被beauftschlagt与非线性补偿补偿电压信号（图3）替代实施例中单独的补偿梳状驱动器的单元。

6. 发明申请

WO2003058166A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2003058166A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/DE2002/003622
申请日：2002-09-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
发明人： WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat und einem Coriolis-Element (2a, 2b) vorgeschlagen, wobei das Coriolis-Element (2a, 2b) über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist, wobei Anregungsmittel (12a, 13a, 12b, 13b) vorgesehen sind, durch die das Coriolis-Element (2a, 2b) zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse (X) anregbar ist, wobei Detektionsmittel (15a, 16a, 15b, 16b, 17) vorgesehen sind, durch die eine Auslenkung der Coriolis Elemente (2a, 2b) aufgrund einer Coriolis-Kraft in einer zweiten Achse (Y), die im senkrecht zu der ersten Achse vorgesehen ist, nachweisbar sind, wobei die erste und zweite Achse (X, Y) parallel zur Oberfläche des Substrats sind, wobei gegenüber dem Substrat zumindest teilweise beweglich vorgesehene Sensorelemente (1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b) vorgesehen sind, wobei kraftvermittelnde Mittel (19, 20) vorgesehen sind, wobei die Mittel (19, 20) vorgesehen sind, eine statische Kraftwirkung zwischen dem Substrat und wenigstens einem der Sensorelemente (1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b) zu vermitteln.
摘要翻译：会有具有基底和一个科里奥利元件的横摆率传感器（2A，2B）的建议，其中，所述科里奥利元件（2A，2B）被布置在衬底的表面上，所述（12A，13A，12B，13B）被提供激励装置通过该科里奥利元件（2A，2B）是可激发的振动平行于第一轴线（X），其中，设置检测装置（15A，16A，15B，16B，17）（由科里奥利元件2a的偏转，2B）由于在第二轴（Y），其在垂直设置于所述第一轴的科里奥利力，被检测的，所述第一和第二轴线（X，Y）是平行于衬底的表面上，相对于基板至少部分地可移动地设置传感器元件（1A，3B 1B，2A，2B，3A）被提供，所述力施加装置（19，20）设置，所述装置（19，20）设置，所述基板之间的静态力和的Senso中的至少一个 relemente（1A，1B，2A，2B，3A，3B）通信。

7. 发明申请

WO2003058167A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2003058167A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/DE2002/003624
申请日：2002-09-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
发明人： WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat und einem Coriolis-Element (2a, 2b) vorgeschlagen, wobei das Coriolis-Element (2a, 2b), über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist, wobei das Coriolis-Element (2a, 2b) zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse (X) anregbar ist, wobei eine Auslenkung des Coriolis-Elements (2a, 2b) aufgrund einer Coriolis-Kraft in einer zweiten Achse (Y), die im wesentlichen senkrecht zu der ersten Achse (X) vorgesehen ist, nachweisbar sind, wobei die erste und zweite Achse (X, Y) parallel zur Oberfläche des Substrats vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass kraftvermittelnde Mittel (19, 20) vorgesehen sind, wobei die Mittel (19, 20) vorgesehen sind, eine dynamische Kraftwirkung zwischen dem Substrat und dem Corioliselement (2a, 2b) zu vermitteln.
摘要翻译：会有具有基底和一个科里奥利元件的横摆率传感器（2A，2B）的建议，其中，所述科里奥利元件（2A，2B）布置的基板，所述科里奥利元件的表面上（2A，2B）振荡平行于第一轴线（X）可被激发，其中，所述科里奥利元件的偏转（2A，2B）设置，由于科里奥利力在第二轴线（Y）基本上垂直于第一轴线（X），被检测的，所述第一和第二轴线（X，Y）被提供平行于基板的表面上，其特征在于，力施加装置（19，20）设置，所述装置（19，20）被设置，动态力作用所述基板和所述科里奥利之间（2A，2B）来传达。

8. 发明申请

WO2003064975A1 MIKROMECHANISCHER DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：微机械旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2003064975A1
公开(公告)日：2003-08-07
申请号：PCT/DE2002/003570
申请日：2002-09-23
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
发明人： WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drehratensensor mit einem ersten Coriolis-Massenelement (2a) und einem zweiten Coriolis-Massenelement (2b), welche über einer Oberfläche eines Substrats (100) angeordnet sind; einer Antriebseinrichtung, durch die das erste Coriolis-Massenelement (2a) und das zweite Coriolis-Massenelement (2b) zu Schwingungen entlang einer ersten Achse (x) antreibbar sind; und einer Erfassungseinrichtung, durch die Auslenkungen des ersten Coriolis-Massenelements (2a) und des zweiten Coriolis-Massenelements (2b) entlang einer zweiten Achse (y), die senkrecht zur ersten Achse (x) ist, aufgrund einer entsprechend wirkenden Coriolis-Kraft erfaßbar sind; wobei die erste Achse (x) und die zweite Achse (y) parallel zur Oberfläche des Substrats (100) verlaufen; die Erfassungseinrichtung eine erste Erfassungs-Masseneinrichtung (3a, 3a`) und eine zweite Erfassungs-Masseneinrichtung (3b, 3b`) aufweist; und die Schwerpunkte des ersten Coriolis-Massenelements (2a), des zweiten Coriolis-Massenelements (2b), der ersten Erfassungs-Masseneinrichtung (3a, 3a`) und der zweiten Erfassungs-Masseneinrichtung (3b, 3b`) im Ruhezustand in einem gemeinsamen Massenschwerpunkt (SP) zusammen fallen.
摘要翻译：本发明提供了具有第一科里奥利质量元件（2a）和被布置在基板（100）的一个表面上的第二科里奥利质量元件（2b）中的微机械旋转速率传感器; 一个驱动装置由所述第一科里奥利质量元件（2a）和第二科里奥利质量元件（2b）中，以沿第一轴（x）的振荡能够被驱动; 和检测装置，通过垂直于所述第一轴线的第一科里奥利质量元件（2a）和第二科里奥利质量元件（2b）中沿第二轴（y）的偏转（x）被检测到由于相应作用的科里奥利力是; 其中延伸的第一轴（x）和第二轴（y）平行于所述基板（100）的表面上; 所述感测装置包括第一检测质量装置（3A，3a`）和第二检测质量装置（3b，3b`）; 和第一科里奥利质量元件（2a）的联络点，所述第二科里奥利质量元件（2b）中，第一检测质量装置（3A，3a`）和所述第二检测质量装置（3b，3b`）静止在重力的共同中心（SP）重合。

9. 发明申请

WO2002066927A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2002066927A1
公开(公告)日：2002-08-29
申请号：PCT/DE2001/004858
申请日：2001-12-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
发明人： WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Coriolis-Elemente (100) vorgeschlagen, das über einer Oberfläche (1) eines Substrats angeordnet ist. Das Coriolis-Element (100) wird zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse X angeregt. Durch eine Coriolis-Kraft wird das Coriolis-Element (100) in einer zweiten Achse Y, die senkrecht zu der ersten Achse Y ist, ausgelenkt. Für den Nachweis der Auslenkung ist ein Nachweiselement (140) vorgesehen.
摘要翻译：因此建议用科里奥利元件（100）的旋转率传感器，其被布置在基板的一个表面（1）上。科里奥利元件（100）被激励而振荡平行于第一轴线X 由科里奥利力，在第二轴线Y的科里奥利元件（100）垂直于第一轴线Y，被偏转。用于检测的检测元件的偏转的（140）被提供。

10. 发明申请

WO2006079435A1 DELTA-SIGMA-MODULATOR 审中-公开
标题翻译： Δ-Σ调制器
公开(公告)号：WO2006079435A1
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：PCT/EP2005/056743
申请日：2005-12-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , KUHLMANN, Burkhard , GOMEZ, Udo-Martin , BAUER, Wolfram , NEUL, Reinhard , LANG, Christoph , VEITH, Michael
发明人： WILLIG, Rainer , KUHLMANN, Burkhard , GOMEZ, Udo-Martin , BAUER, Wolfram , NEUL, Reinhard , LANG, Christoph , VEITH, Michael
IPC分类号： H03M3/04
CPC分类号： H03M3/404 , H03M3/424 , H03M3/464
摘要： Die Erfindung geht aus von einem Delta-Sigma-Modulator, mit einem schwingfähigen System mit einer Eigenfrequenz (f R ), mit einer Elektronik und mit einer Regelschleife, die von dem schwingfähigen System auf die Elektronik und von der Elektronik wieder auf das schwingfähige System wirkt. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass die Regelschleife derart ausgestaltet ist, dass eine Verstärkung in der Regelschleife eine Verstärkungsüberhöhung in einem Frequenzbereich um die Eigenfrequenz (f R ) des schwingfähigen Systems aufweist.
摘要翻译：本发明涉及一种三角积分调制器与具有自然频率的可振动系统（F _{- [R ），与电子和具有类似于为电子的振荡系统和一控制回路电子再次作用于振荡系统。本发明的核心在于，控制回路被构造成使得振荡系统的控制环中的增益在周围的自然频率的频率范围内的峰化（F _{- [R ）包含。}}

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