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1. 发明申请

WO2008015044A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2008015044A1
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：PCT/EP2007/055597
申请日：2007-06-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
发明人： HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5747
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem Antriebsmassenelement (13), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (18) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, einem Erfassungsmassenelement (14), das entlang einer zweiten Achse (z), die senkrecht zur Oberfläche verläuft, unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Erfassungseinrichtung, durch welche die Auslenkung des Erfassungsmassen- Elements (14) entlang der zweiten Achse (z) erfaßbar ist. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehra tensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种具有驱动质量元件的旋转速度传感器（13）设置在由沿第一轴（y），它沿所述表面振动运行的驱动装置（18）的基板的与表面可以被驱动，（检测质量元件 14），其是沿第二轴（z偏转）垂直于科里奥利力的作用下的表面上，和检测装置，通过它可以检测到沿所述第二轴（z的Erfassungsmassen-元件（14）的偏转）是。所述第二轴线（Z）的垂直于旋转率传感器的表面上的布置可以几十传感器，进一步Drehra一起适合用于检测绕定向不同的旋转轴的旋转，在一个芯片上集成。

2. 发明申请

WO2009062786A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009062786A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/EP2008/063228
申请日：2008-10-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
摘要： Drehratensensor mit einem Substrat und einer Mehrzahl von beweglichen Teilstrukturen, die über einer Oberfläche des Substrats angeordnet sind, wobei die beweglichen Teilstrukturen an ein gemeinsames, insbesondere ein zentrales, Federelement gekoppelt sind, wobei Mittel vorgesehen sind, um die beweglichen Teilstrukturen zu einer gekoppelten Schwingung in einer zur Oberfläche des Substrats parallelen Ebene anzuregen, wobei die beweglichen Teilstrukturen Coriolis-Elemente aufweisen, wobei Mittel vorgesehen sind, durch eine Coriolis-Kraft verursachte Auslenkungen der Coriolis-Elemente nachzuweisen, wobei ein erstes Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine erste Achse vorgesehen ist, wobei ein zweites Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine zweiten Achse vorgesehen ist, wobei die zweite Achse senkrecht zur ersten Achse ausgerichtet ist.
摘要翻译：具有基板和多个可动子，其被布置在所述基板，其中，所述可动部结构被耦合到公共的表面上的，特别是中央，弹簧元件，其中，在被提供用于可动子的耦合后的振动的装置的横摆率传感器平行的平面内激发于衬底平面的表面，所述可动部分的结构科里奥利元件，所述设置装置，用于检测由科里奥利元件的科里奥利力挠曲，导致其中，用于检测绕第一轴线旋转的速率的第一科里奥利元件设置，其中，用于检测的旋转速度的第二科里奥利元件围绕第二轴线设置，第二轴线垂直于第一轴线取向。

3. 发明申请

WO2003058166A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2003058166A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/DE2002/003622
申请日：2002-09-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
发明人： WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat und einem Coriolis-Element (2a, 2b) vorgeschlagen, wobei das Coriolis-Element (2a, 2b) über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist, wobei Anregungsmittel (12a, 13a, 12b, 13b) vorgesehen sind, durch die das Coriolis-Element (2a, 2b) zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse (X) anregbar ist, wobei Detektionsmittel (15a, 16a, 15b, 16b, 17) vorgesehen sind, durch die eine Auslenkung der Coriolis Elemente (2a, 2b) aufgrund einer Coriolis-Kraft in einer zweiten Achse (Y), die im senkrecht zu der ersten Achse vorgesehen ist, nachweisbar sind, wobei die erste und zweite Achse (X, Y) parallel zur Oberfläche des Substrats sind, wobei gegenüber dem Substrat zumindest teilweise beweglich vorgesehene Sensorelemente (1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b) vorgesehen sind, wobei kraftvermittelnde Mittel (19, 20) vorgesehen sind, wobei die Mittel (19, 20) vorgesehen sind, eine statische Kraftwirkung zwischen dem Substrat und wenigstens einem der Sensorelemente (1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b) zu vermitteln.
摘要翻译：会有具有基底和一个科里奥利元件的横摆率传感器（2A，2B）的建议，其中，所述科里奥利元件（2A，2B）被布置在衬底的表面上，所述（12A，13A，12B，13B）被提供激励装置通过该科里奥利元件（2A，2B）是可激发的振动平行于第一轴线（X），其中，设置检测装置（15A，16A，15B，16B，17）（由科里奥利元件2a的偏转，2B）由于在第二轴（Y），其在垂直设置于所述第一轴的科里奥利力，被检测的，所述第一和第二轴线（X，Y）是平行于衬底的表面上，相对于基板至少部分地可移动地设置传感器元件（1A，3B 1B，2A，2B，3A）被提供，所述力施加装置（19，20）设置，所述装置（19，20）设置，所述基板之间的静态力和的Senso中的至少一个 relemente（1A，1B，2A，2B，3A，3B）通信。

4. 发明申请

WO2003058167A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2003058167A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/DE2002/003624
申请日：2002-09-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
发明人： WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat und einem Coriolis-Element (2a, 2b) vorgeschlagen, wobei das Coriolis-Element (2a, 2b), über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist, wobei das Coriolis-Element (2a, 2b) zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse (X) anregbar ist, wobei eine Auslenkung des Coriolis-Elements (2a, 2b) aufgrund einer Coriolis-Kraft in einer zweiten Achse (Y), die im wesentlichen senkrecht zu der ersten Achse (X) vorgesehen ist, nachweisbar sind, wobei die erste und zweite Achse (X, Y) parallel zur Oberfläche des Substrats vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass kraftvermittelnde Mittel (19, 20) vorgesehen sind, wobei die Mittel (19, 20) vorgesehen sind, eine dynamische Kraftwirkung zwischen dem Substrat und dem Corioliselement (2a, 2b) zu vermitteln.
摘要翻译：会有具有基底和一个科里奥利元件的横摆率传感器（2A，2B）的建议，其中，所述科里奥利元件（2A，2B）布置的基板，所述科里奥利元件的表面上（2A，2B）振荡平行于第一轴线（X）可被激发，其中，所述科里奥利元件的偏转（2A，2B）设置，由于科里奥利力在第二轴线（Y）基本上垂直于第一轴线（X），被检测的，所述第一和第二轴线（X，Y）被提供平行于基板的表面上，其特征在于，力施加装置（19，20）设置，所述装置（19，20）被设置，动态力作用所述基板和所述科里奥利之间（2A，2B）来传达。

5. 发明申请

WO2008071480A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2008071480A1
公开(公告)日：2008-06-19
申请号：PCT/EP2007/060966
申请日：2007-10-15
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
发明人： KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem beweglichen Element (8), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (9) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, und das entlang einer zweiten Achse (z) unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Kompensationseinrichtung (15, 16), die eingerichtet ist, unerwünschte Schwingungen des beweglichen Elements (8) entlang der zweiten Achse (z) zu kompensieren, die durch die Antriebseinrichtung (9) hervorgerufen werden. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehratensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种具有一个可动元件（8）被布置在基板的一个表面，并通过一驱动装置（9）沿第一轴（y），它沿所述表面振动运行可被驱动旋转率传感器，和沿第二轴线（z）是一个科里奥利力的作用下可被偏转，并且其适于补偿沿所述第二轴（z）的可动构件（8）的不期望的振动的补偿装置（15，16），由所表示的引起驱动装置（9）。所述第二轴线（Z）垂直于旋转率传感器的表面的布置可以被集成，以进一步旋转率传感器，其适用于检测旋转大约涉及不同的旋转轴线，在一个芯片上一起。

6. 发明申请

WO2002066929A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2002066929A1
公开(公告)日：2002-08-29
申请号：PCT/DE2002/000524
申请日：2002-02-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
发明人： WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem ersten und einem zweiten Coriolis-Elemente (100, 200) vorgeschlagen, die nebeneinander über einer Oberfläche (1) eines Substrats angeordnet sind. Die Coriolis-Elemente (100, 200) werden zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse Y angeregt. Durch eine Coriolis-Kraft werden die Coriolis-Elemente (100, 200) in einer zweiten Achse X, die senkrecht zu der ersten Achse Y ist, ausgelenkt. Die Schwingungen des ersten und zweiten Coriolis-Elementes (100, 200) erfolgen gegenphasig zueinander auf Bahnen, die ohne die Wirkung einer Coriolis-Kraft zwei zueinander parallele Geraden sind.
摘要翻译：还提出了具有第一和第二科里奥利元件被并排地布置在衬底上的一个表面（1）（100，200）的偏航率传感器。科里奥利元件（100，200）被激励振动平行于第一轴线Y. 由科里奥利力，科里奥利元件（100，200）在第二轴线X垂直于所述第一轴线Y偏转第一和第二科里奥利元件（100，200）的振动发生在相反的相位彼此上纤维网，其是两个相互平行的直线的情况下的科里奥利力的作用。

7. 发明申请

WO2002066928A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2002066928A1
公开(公告)日：2002-08-29
申请号：PCT/DE2002/000499
申请日：2002-02-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
发明人： WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem ersten und einem zweiten Coriolis-Elemente (100, 200) vorgeschlagen, die nebeneinander über eine Oberfläche (1) eines Substrats angeordnet sind. Die Coriolis-Elemente (100, 200) werden zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse angeregt. Durch eine Coriolis-Kraft werden die Coriolis-Elemente (100, 200) in einer zweiten Achse, die senkrecht zu der ersten Achse ist, ausgelenkt. Das erste und zweite Coriolis-Element (100,200) sind durch eine Feder (52) gekoppelt, die in der ersten und in der zweiten Achse weich ausgebildet ist. Es werden so die Frequenzen der Schwingungen in den beiden Achse für die gleich- und gegenphasige Schwingung unterschiedlich ausgestaltet.
摘要翻译：还提出了具有第一和第二科里奥利元件被并排地布置在衬底上的一个表面（1）（100，200）的偏航率传感器。科里奥利元件（100，200）被激励振动平行于第一轴线。由科里奥利力，科里奥利元件（100，200）中的第二轴垂直于所述第一轴线偏转。第一和第二科里奥利元件（100,200）是由被设计为在所述第一柔性弹簧（52）和在所述第二轴联接。有那么不同的设计在这两个轴的DC和反相位振荡，振荡的频率。

8. 发明申请

WO2003064975A1 MIKROMECHANISCHER DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：微机械旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2003064975A1
公开(公告)日：2003-08-07
申请号：PCT/DE2002/003570
申请日：2002-09-23
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
发明人： WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drehratensensor mit einem ersten Coriolis-Massenelement (2a) und einem zweiten Coriolis-Massenelement (2b), welche über einer Oberfläche eines Substrats (100) angeordnet sind; einer Antriebseinrichtung, durch die das erste Coriolis-Massenelement (2a) und das zweite Coriolis-Massenelement (2b) zu Schwingungen entlang einer ersten Achse (x) antreibbar sind; und einer Erfassungseinrichtung, durch die Auslenkungen des ersten Coriolis-Massenelements (2a) und des zweiten Coriolis-Massenelements (2b) entlang einer zweiten Achse (y), die senkrecht zur ersten Achse (x) ist, aufgrund einer entsprechend wirkenden Coriolis-Kraft erfaßbar sind; wobei die erste Achse (x) und die zweite Achse (y) parallel zur Oberfläche des Substrats (100) verlaufen; die Erfassungseinrichtung eine erste Erfassungs-Masseneinrichtung (3a, 3a`) und eine zweite Erfassungs-Masseneinrichtung (3b, 3b`) aufweist; und die Schwerpunkte des ersten Coriolis-Massenelements (2a), des zweiten Coriolis-Massenelements (2b), der ersten Erfassungs-Masseneinrichtung (3a, 3a`) und der zweiten Erfassungs-Masseneinrichtung (3b, 3b`) im Ruhezustand in einem gemeinsamen Massenschwerpunkt (SP) zusammen fallen.
摘要翻译：本发明提供了具有第一科里奥利质量元件（2a）和被布置在基板（100）的一个表面上的第二科里奥利质量元件（2b）中的微机械旋转速率传感器; 一个驱动装置由所述第一科里奥利质量元件（2a）和第二科里奥利质量元件（2b）中，以沿第一轴（x）的振荡能够被驱动; 和检测装置，通过垂直于所述第一轴线的第一科里奥利质量元件（2a）和第二科里奥利质量元件（2b）中沿第二轴（y）的偏转（x）被检测到由于相应作用的科里奥利力是; 其中延伸的第一轴（x）和第二轴（y）平行于所述基板（100）的表面上; 所述感测装置包括第一检测质量装置（3A，3a`）和第二检测质量装置（3b，3b`）; 和第一科里奥利质量元件（2a）的联络点，所述第二科里奥利质量元件（2b）中，第一检测质量装置（3A，3a`）和所述第二检测质量装置（3b，3b`）静止在重力的共同中心（SP）重合。

9. 发明申请

WO2002066927A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2002066927A1
公开(公告)日：2002-08-29
申请号：PCT/DE2001/004858
申请日：2001-12-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
发明人： WILLIG, Rainer , THOMAE, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , GOETZ, Siegbert , DOERING, Christian , FEHRENBACH, Michael , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , FUNK, Karsten , LUTZ, Markus , WUCHER, Gerhard , FRANZ, Jochen
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Coriolis-Elemente (100) vorgeschlagen, das über einer Oberfläche (1) eines Substrats angeordnet ist. Das Coriolis-Element (100) wird zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse X angeregt. Durch eine Coriolis-Kraft wird das Coriolis-Element (100) in einer zweiten Achse Y, die senkrecht zu der ersten Achse Y ist, ausgelenkt. Für den Nachweis der Auslenkung ist ein Nachweiselement (140) vorgesehen.
摘要翻译：因此建议用科里奥利元件（100）的旋转率传感器，其被布置在基板的一个表面（1）上。科里奥利元件（100）被激励而振荡平行于第一轴线X 由科里奥利力，在第二轴线Y的科里奥利元件（100）垂直于第一轴线Y，被偏转。用于检测的检测元件的偏转的（140）被提供。

10. 发明申请

WO2011051065A1 KOPPELFEDER FÜR DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译： KOPPEL弹簧旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2011051065A1
公开(公告)日：2011-05-05
申请号：PCT/EP2010/064321
申请日：2010-09-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , HEITZ, Markus , SATTLER, Robert , HAUER, Joerg , GAUGER, Christoph , BALSLINK, Thorsten
发明人： CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , HEITZ, Markus , SATTLER, Robert , HAUER, Joerg , GAUGER, Christoph , BALSLINK, Thorsten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat und einem ersten und zweiten Corioliselement vorgeschlagen, wobei das erste Corioliselement zu einer ersten Schwingung parallel zu einer zur Haupterstreckungsebene parallelen ersten Achse anregbar ist, wobei eine Corioliskraft eine erste Auslenkung des ersten Corioliselements in Richtung einer im wesentlichen zur ersten Achse senkrechten zweiten Achse bewirkt, wobei das zweite Corioliselement parallel zur Haupterstreckungsebene neben dem ersten Corioliselement angeordnet ist, wobei das zweite Corioliselement zu einer zweiten Schwingung parallel zur ersten Achse anregbar ist, wobei eine Corioliskraft eine zweite Auslenkung des zweiten Corioliselements in Richtung der zweiten Achse bewirkt, wobei die Schwingungen des ersten und zweiten Corioliselementes parallel zur zweiten Achse einen Störeigenmode mit einer ersten Eigenfrequenz und einen Detektionseigenmode mit einer zweiten Eigenfrequenz aufweisen, wobei im Störeigenmode die Auslenkungen des ersten und des zweiten Corioliselementes parallel zur zweiten Achse gleichsinnig sind und wobei im Detektionseigenmode die Auslenkungen des ersten und des zweiten Corioliselementes parallel zur zweiten Achse gegensinnig sind, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Corioliselement über ein Koppelelement mit dem zweiten Corioliselement derart verbunden ist, dass die erste Eigenfrequenz größer ist als die zweite Eigenfrequenz, wobei das Koppelelement am Substrat angebunden ist.
摘要翻译：所以建议与主基底具有平面和第一和第二科里奥利旋转率传感器，其特征在于，所述第一科里奥利被激发到第一振荡平行于平行于所述第一轴线的主延伸平面的平面上的，一个科里奥利力的第一科里奥利的第一偏转朝向基本上使所述第一轴垂直于所述第二轴线，所述第二科里奥利被布置为平行于主平面邻近所述第一科里奥利，其中所述第二科里奥利平行于所述第一轴线的可受激的第二振荡，在方向上的第二科里奥利的第二偏转的方法，其中的科里奥利力第二轴线导致第一和第二Corioliselementes的振动包括平行于所述第二轴线具有第一固有频率一个Störeigenmode和检测本征模具有第二固有频率其中所述第一和第二Corioliselementes的偏转是平行于在Störeigenmode相同方向上的第二轴，并且其中所述第一和第二Corioliselementes的位移平行于在检测的本征模式相反的方向上的第二轴，其特征在于，所述第一科里奥利第二经由与联接元件科里奥利被连接，使得第一固有频率比第2共振频率，其中，所述耦合元件被附接到基板越大。

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