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1. 发明申请

WO2002086464A3 HALBLEITERGASSENSOR MIT KREISFÖRMIGER ANORDNUNG VON INTERDIGITALELEKTRODEN UND HEIZSTRUKTUREN UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG, BEI DEM DIE SENSITIVE HALBLEITERSCHICHT ALS TROPFEN AUFGEBRACHT WIRD 审中-公开
公开(公告)号：WO2002086464A3
公开(公告)日：2002-10-31
申请号：PCT/DE2002/000797
申请日：2002-03-05
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BAUER, Michael , GRUEN, Detlef , KRUMMEL, Christian , SCHILLING, Ulrich , REIN, Erwin , SEITER, Michael , WEBER, Heribert , PRUETZ, Odd-Axel
发明人： BAUER, Michael , GRUEN, Detlef , KRUMMEL, Christian , SCHILLING, Ulrich , REIN, Erwin , SEITER, Michael , WEBER, Heribert , PRUETZ, Odd-Axel
IPC分类号： G01N27/12
摘要： Die Erfindung betrifft einen Gassensor mit einer Membran (18), einer auf der Membran (18) angeordneten Heizstruktur (10), einer auf der Membran (18) angeordneten Auswertestruktur (12) und einer auf der Membran (18) angeordneten sensitiven Schicht (14), die von der Heizstruktur (10) beheizbar ist und deren elektrischer Widerstand von der Auswertestruktur (12) auswertbar ist, wobei die sensitive Schicht (14) als Tropfen (16) aufgebracht ist und die übrigen Strukturen (10, 12) der Form der sensitiven Schicht (14) zumindest teilweise angepasst sind. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines Gassensors.

2. 发明申请

WO2005012892A1 GASSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：气体传感器与方法研究
公开(公告)号：WO2005012892A1
公开(公告)日：2005-02-10
申请号：PCT/DE2004/001645
申请日：2004-07-23
申请人： PARAGON AG , WEBER, Heribert , PRUETZ, Odd-Axel , KRUMMEL, Christian , SCHELLING, Christoph , GRUEN, Detlef
发明人： WEBER, Heribert , PRUETZ, Odd-Axel , KRUMMEL, Christian , SCHELLING, Christoph , GRUEN, Detlef
IPC分类号： G01N27/12
CPC分类号： G01N27/128
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Gassensor mit einer auf einem Halbleitersubstrat (2) ausgebildeten Membranschicht (3), auf der eine Auswertestruktur (7) in einem Auswertebereich (8) und eine Heizstruktur (9) ausserhalb des Auswertebereichs (8) angeordnet sind, und mit einer über der Auswertestruktur (7) und der Heizstruktur (9) angeordneten gassensitiven Schicht (10), wobei die gassensitive Schicht (10) von der Heizstruktur (9) beheizbar und der elektrische Widerstand der gassensitiven Schicht (10) von der Auswertestruktur (7) auswertbar ist und wobei die Heizstruktur (9) auf einer haftvermittelnden Oxidschicht (6) auf der Oberseite der Membranschicht (3) angeordnet und durch eine Deckoxidschicht (11) von dergassensitiven Schicht getrennt ist. Um eine zuverlässige Funktionsweise zu ermöglichen, ist bei dem Gassensor vorgesehen, dass in dem Auswertebereich (8) eine gegenüber einer Oxidätzung unempfindliche Haftvermittlerschicht (13) zwischen der Membranschicht (3) und der Auswertestruktur (7) angeordnet ist oder dass die Auswertestruktur (7) in dem Auswertebereich (8) entsprechend der Heizstruktur (9) durch die Deckoxidschicht (11) von der gassensitiven Schicht (10) getrennt ist, wobei die Deckoxidschicht (11) Kontaktlöcher (12) aufweist, welche jeweils einen mittleren Bereich der Oberfläche der Auswertestruktur (7) freilegen, um einen direkten Kontakt zwischen der Auswertestruktur (7) und der gassensitiven Schicht (10) herzustellen.
摘要翻译：本发明涉及具有在半导体基板上的气体传感器（2）形成的薄膜层（3），其上（9）的评价范围（8）的外侧被布置成评估区域（8）和加热结构的评估结构（7），并用（9）布置在所述气体敏感层（10），加热中的一个评价结构上述（7），并且其中所述加热结构（9）加热的气体敏感层（10）和评价结构体的气体敏感层（10）的电阻（7）被评估，并且其中所述加热结构（9），设置在上膜层（3）的顶部粘合促进氧化物层（6）和由覆盖氧化物层（11）由dergassensitiven层分离。为了使一个可靠的操作，在该或向氧化物蚀刻耐底漆层（13）设置于薄膜层（3）和在所述评价区域的评价结构（7）之间的气体传感器（8）提供，所述评估结构（7）在通过气体敏感层的覆盖氧化物层（11）相对应的加热结构（9）的评价区域（8）（10）断开，其特征在于，所述覆盖氧化物层（11）具有接触孔（12），（在每种情况下评价的表面的中间部分暴露7）建立评价的结构（7）和气体敏感层（10）之间的直接接触。

3. 发明申请

WO2004080885A2 MEMBRANSENSOR 审中-公开
标题翻译：干簧管传感器
公开(公告)号：WO2004080885A2
公开(公告)日：2004-09-23
申请号：PCT/DE2004/000295
申请日：2004-02-18
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MUELLER-FIEDLER, Roland , HECHT, Hans , MUCHOW, Joerg , FUERTSCH, Matthias , STRATMANN, Andreas , WEBER, Heribert , BERNHARD, Winfried , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHINK, Rainer , WAGNER, Ulrich , SCHELLING, Christoph
发明人： MUELLER-FIEDLER, Roland , HECHT, Hans , MUCHOW, Joerg , FUERTSCH, Matthias , STRATMANN, Andreas , WEBER, Heribert , BERNHARD, Winfried , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHINK, Rainer , WAGNER, Ulrich , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： B81B
CPC分类号： G01L9/0042 , G01F1/6845 , G01N7/10
摘要： Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich um einen mikromechanischen Sensor bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors, der wenigstens eine Membran aufweist. Die Membran wird dabei so aus einem ersten Material hergestellt, dass sie zur Sensierung eines sie umgebenden Mediums in einem zweiten Material untergebracht ist. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass die Membran wenigstens teilweise durch ein drittes Material an bruchempfindlichen Stellen am Membranrand verstärkt ist. Durch die Verstärkung des Membranrands wird die Stabilität und somit auch die Lebensdauer der Membran bzw. des Sensors erhöht.
摘要翻译：在本发明中，它是一种微机械传感器，以及一种用于制造微机械传感器的方法，具有至少一个膜。该膜是在这种情况下由第一材料制成的，它被容纳用于感测周围介质到第二材料。本发明的本质在于以下事实：所述的膜是由第三材料在对脆弱的膜的边缘位置至少部分地加强。通过增强稳定性的膜边缘，从而所述膜的或传感器的寿命增加。

4. 发明申请

WO2005044720A1 LAYOUTMASSNAHMEN ZUR BEGRENZUNG DER AUSBREITUNG VON OBERFLÄCHENRISSEN IN MEMS 审中-公开
标题翻译： LAYOUT措施限制MEMS表面裂纹的蔓延
公开(公告)号：WO2005044720A1
公开(公告)日：2005-05-19
申请号：PCT/DE2004/001954
申请日：2004-09-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
发明人： FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0264
摘要： Der Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements, welches wenigstens einen ersten, einen zweiten und einen dritten Bereich aufweist. Der erste und der zweite Bereich des mikromechanischen Bauelements weist dabei vorteilhafterweise den gleichen Schichtaufbau auf. Zwischen dem ersten und dem zweiten Bereich ist der dritte Bereich angeordnet. Während der Nutzung des mikromechanischen Bauelements beispielsweise als Halterung eines Sensorelements können auf den Bauelement Risse entstehen. Diese Risse können sich unter ungünstigen Umständen auf der Oberfläche des mikromechanischen Bauelements vergrößern bzw. ausbreiten. Beim Aufbau der drei Bereiche ist dabei vorgesehen, dass der dritte Bereich im Vergleich zum ersten und/oder zweiten Bereich höhere Anfälligkeit der Rissausbreitung aufweist. Erfindungsgemäß sind der dritte Bereich und die beiden anderen Bereiche derart gestaltet, dass die Rissausbreitung vorzugsweise im dritten Bereich an vorgebbaren Positionen auf den Bauelement gestoppt wird.
摘要翻译：本发明描述了一种微型机械装置和用于制造具有至少一个第一，第二和第三区域的微机械部件的方法。微机械部件的第一和第二区域具有在该情况下有利的是相同的层结构。在第一和第二区域之间，所述第三区域被设置。虽然使用了微机械部件的，例如，作为传感器元件的保持器可在组分发生裂纹。这些裂纹可不利条件下的微机械装置或扩散的表面上而增加。在三个区域的构造中规定，所述第三区域具有更高的易感性裂纹扩展相比，第一和/或第二区域。根据本发明的第三区域和其它两个区域被配置为使得裂纹扩展在第三区域优选停止在设备上的预定位置。

5. 发明申请

WO2002061446A1 GMR-STRUKTUR UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译： GMR结构及其制造方法
公开(公告)号：WO2002061446A1
公开(公告)日：2002-08-08
申请号：PCT/DE2002/000243
申请日：2002-01-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , GRUEN, Detlef , FISCHER, Frank , SIEGLE, Henrik , HEIN, Peter
发明人： GRUEN, Detlef , FISCHER, Frank , SIEGLE, Henrik , HEIN, Peter
IPC分类号： G01R33/09
CPC分类号： B82Y25/00 , G01R33/093
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer GMR-Struktur, bei dem auf einen Träger (10, 12, 30, 34) eine metallische Vielfachschicht (12) aufgebracht wird und bei dem die metallische Vielfachschicht (14) zum Erzeugen der GMR-Struktur strukturiert wird, wobei der Träger (10, 12, 30, 34) vor dem Aufbringen der metallischen Vielfachschicht eine Struktur aufweist und das Strukturieren der metallischen Vielfachschicht durch CMP erfolgt. Die Erfindung betrifft ferner eine GMR-Struktur mit einem Träger (10, 12, 30, 34) und einer auf dem Träger (10, 12, 30, 34) angeordneten strukturierten metallischen Vielfachschicht, wobei die strukturierte metallische Vielfachschicht (14) in einer oder mehreren Vertiefungen (50) des Trägers (10, 12, 30, 34) angeordnet ist. Die Erfindung betrifft ferner eine Verwendung von GMR-Strukturen.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于制造GMR结构，其特征在于，上（10，12，30，34），多层金属（12）施加的支撑，并且其中图案化以产生所述GMR结构的金属多层（14）是，其中，所述载体（10，12，30，34）具有前的金属多个层来实现的应用程序，并通过CMP金属多个层的构图的结构。本发明还涉及一种GMR结构，包括一个支承件（10，12，30，34）和一个在载体上（10，12，30，34）布置成图案化的金属多层，其中在一图案化的金属的多个层（14）或多个所述载体（10，12，30，34）的凹陷（50）的布置。本发明还涉及一种使用GMR结构。

6. 发明授权

EP1358502B1 GMR-STRUKTUR UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG 有权
标题翻译： GMR结构及其制造方法
公开(公告)号：EP1358502B1
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：EP02701230.1
申请日：2002-01-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： GRUEN, Detlef , FISCHER, Frank , SIEGLE, Henrik , HEIN, Peter
IPC分类号： G01R33/09
CPC分类号： B82Y25/00 , G01R33/093
摘要： The invention relates to a method for the production of a GMR structure, wherein a metal multilayer (12) is placed on a support (10, 12, 30, 34) and said metal multilayer (14) is structured to produce a GMR structure. The support (10, 12, 30, 34) has a structure before the metal layer is placed thereon and structuring is performed by means of CMP. The invention also relates to a GMR structure comprised of a support (10, 12, 30, 34) and a structured metal multilayer that is arranged on said support (10, 12, 30, 34), wherein the structured metal multilayer (14) is arranged in one or several recesses (50) in the support (10, 12, 30, 34). The invention further relates to the use of GMR structures.

7. 发明公开

EP1358502A1 GMR-STRUKTUR UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG 有权
标题翻译： GMR结构及其制造方法
公开(公告)号：EP1358502A1
公开(公告)日：2003-11-05
申请号：EP02701230.1
申请日：2002-01-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： GRUEN, Detlef , FISCHER, Frank , SIEGLE, Henrik , HEIN, Peter
IPC分类号： G01R33/09
CPC分类号： B82Y25/00 , G01R33/093
摘要： The invention relates to a method for the production of a GMR structure, wherein a metal multilayer (12) is placed on a support (10, 12, 30, 34) and said metal multilayer (14) is structured to produce a GMR structure. The support (10, 12, 30, 34) has a structure before the metal layer is placed thereon and structuring is performed by means of CMP. The invention also relates to a GMR structure comprised of a support (10, 12, 30, 34) and a structured metal multilayer that is arranged on said support (10, 12, 30, 34), wherein the structured metal multilayer (14) is arranged in one or several recesses (50) in the support (10, 12, 30, 34). The invention further relates to the use of GMR structures.

8. 发明授权

EP1604177B1 MEMBRANSENSOR 有权
标题翻译：干簧管传感器
公开(公告)号：EP1604177B1
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：EP04711977.1
申请日：2004-02-18
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： MUELLER-FIEDLER, Roland , HECHT, Hans , MUCHOW, Joerg , FUERTSCH, Matthias , STRATMANN, Andreas , WEBER, Heribert , BERNHARD, Winfried , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHINK, Rainer , WAGNER, Ulrich , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： G01F1/684
CPC分类号： G01L9/0042 , G01F1/6845 , G01N7/10
摘要： The invention relates to a micromechanical sensor and to a method for producing a micromechanical sensor that has at least one membrane. The membrane is made of a first material whereby, in order to sense a medium surrounding it, this membrane is accommodated in a second material. The invention is characterized in that the membrane is reinforced, at least in part, by a third material at breakable locations on membrane edge. Reinforcement of the membrane edge increases the stability and thus the serviceable life of the membrane and of the sensor.

9. 发明公开

EP1604177A2 MEMBRANSENSOR 有权
公开(公告)号：EP1604177A2
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：EP04711977.1
申请日：2004-02-18
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： MUELLER-FIEDLER, Roland , HECHT, Hans , MUCHOW, Joerg , FUERTSCH, Matthias , STRATMANN, Andreas , WEBER, Heribert , BERNHARD, Winfried , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHINK, Rainer , WAGNER, Ulrich , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： G01F1/684
CPC分类号： G01L9/0042 , G01F1/6845 , G01N7/10
摘要： The invention relates to a micromechanical sensor and to a method for producing a micromechanical sensor that has at least one membrane. The membrane is made of a first material whereby, in order to sense a medium surrounding it, this membrane is accommodated in a second material. The invention is characterized in that the membrane is reinforced, at least in part, by a third material at breakable locations on membrane edge. Reinforcement of the membrane edge increases the stability and thus the serviceable life of the membrane and of the sensor.

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