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    • 2. 发明申请
    • GASSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
    • 气体传感器与方法研究
    • WO2005012892A1
    • 2005-02-10
    • PCT/DE2004/001645
    • 2004-07-23
    • PARAGON AGWEBER, HeribertPRUETZ, Odd-AxelKRUMMEL, ChristianSCHELLING, ChristophGRUEN, Detlef
    • WEBER, HeribertPRUETZ, Odd-AxelKRUMMEL, ChristianSCHELLING, ChristophGRUEN, Detlef
    • G01N27/12
    • G01N27/128
    • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Gassensor mit einer auf einem Halbleitersubstrat (2) ausgebildeten Membranschicht (3), auf der eine Auswertestruktur (7) in einem Auswertebereich (8) und eine Heizstruktur (9) ausserhalb des Auswertebereichs (8) angeordnet sind, und mit einer über der Auswertestruktur (7) und der Heizstruktur (9) angeordneten gassensitiven Schicht (10), wobei die gassensitive Schicht (10) von der Heizstruktur (9) beheizbar und der elektrische Widerstand der gassensitiven Schicht (10) von der Auswertestruktur (7) auswertbar ist und wobei die Heizstruktur (9) auf einer haftvermittelnden Oxidschicht (6) auf der Oberseite der Membranschicht (3) angeordnet und durch eine Deckoxidschicht (11) von dergassensitiven Schicht getrennt ist. Um eine zuverlässige Funktionsweise zu ermöglichen, ist bei dem Gassensor vorgesehen, dass in dem Auswertebereich (8) eine gegenüber einer Oxidätzung unempfindliche Haftvermittlerschicht (13) zwischen der Membranschicht (3) und der Auswertestruktur (7) angeordnet ist oder dass die Auswertestruktur (7) in dem Auswertebereich (8) entsprechend der Heizstruktur (9) durch die Deckoxidschicht (11) von der gassensitiven Schicht (10) getrennt ist, wobei die Deckoxidschicht (11) Kontaktlöcher (12) aufweist, welche jeweils einen mittleren Bereich der Oberfläche der Auswertestruktur (7) freilegen, um einen direkten Kontakt zwischen der Auswertestruktur (7) und der gassensitiven Schicht (10) herzustellen.
    • 本发明涉及具有在半导体基板上的气体传感器(2)形成的薄膜层(3),其上(9)的评价范围(8)的外侧被布置成评估区域(8)和加热结构的评估结构(7),并用 (9)布置在所述气体敏感层(10),加热中的一个评价结构上述(7),并且其中所述加热结构(9)加热的气体敏感层(10)和评价结构体的气体敏感层(10)的电阻(7) 被评估,并且其中所述加热结构(9),设置在上膜层(3)的顶部粘合促进氧化物层(6)和由覆盖氧化物层(11)由dergassensitiven层分离。 为了使一个可靠的操作,在该或向氧化物蚀刻耐底漆层(13)设置于薄膜层(3)和在所述评价区域的评价结构(7)之间的气体传感器(8)提供,所述评估结构(7) 在通过气体敏感层的覆盖氧化物层(11)相对应的加热结构(9)的评价区域(8)(10)断开,其特征在于,所述覆盖氧化物层(11)具有接触孔(12),(在每种情况下评价的表面的中间部分 暴露7)建立评价的结构(7)和气体敏感层(10)之间的直接接触。
    • 3. 发明申请
    • INERTIALSENSOR ZUR MESSUNG EINER DREHRATE UND/ODER BESCHLEUNIGUNG
    • 用于测量旋转和/或加速度的惯性传感器
    • WO2018001875A1
    • 2018-01-04
    • PCT/EP2017/065473
    • 2017-06-22
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • PRUETZ, Odd-Axel
    • G01C19/5733G01P15/08
    • G01C19/5733G01P15/0802
    • Es wird ein Inertialsensor zur Messung einer Drehrate und/oder Beschleunigung vorgeschlagen, insbesondere ein mikroelektromechanischer Inertialsensor, wobei der Inertialsensor ein Substrat aufweist, wobei das Substrat eine Haupterstreckungsebene aufweist, wobei der Inertialsensor wenigstens zwei aus einer Ruhelage auslenkbare Massen aufweist, wobei die Massen mechanisch mit dem Substrat gekoppelt sind, wobei der Inertialsensor wenigstens ein Detektionsmittel zur Detektion von Bewegungen der Massen entlang einer ersten Richtung aufweist, wobei die Massen durch wenigstens ein erstes Koppelelement, ein zweites Koppelelement und ein drittes Koppelelement miteinander mechanisch gekoppelt sind, wobei das erste Koppelelement eine erste Haupterstreckungsrichtung aufweist, wobei das zweite Koppelelement eine zweite Haupterstreckungsrichtung aufweist, wobei das dritte Koppelelement eine dritte Haupterstreckungsrichtung aufweist, wobei die erste Haupterstreckungsrichtung, die zweite Haupterstreckungsrichtung und die dritte Haupterstreckungsrichtung in der Ruhelage im Wesentlichen parallel zu der Haupterstreckungsebene angeordnet sind, wobei die Koppelelemente im Wesentlichen starr ausgebildet sind, wobei jedes Koppelelement mit wenigstens einem anderen der Koppelelemente verbunden ist, wobei die Koppelelemente derart angeordnet sind, dass bei einer Auslenkung der Massen aus der Ruhelage eine Verschwenkung der ersten Haupterstreckungsrichtung gegenüber der zweiten Haupterstreckungsrichtung und eine Verschwenkung der zweiten gegenüber der dritten Haupterstreckungsrichtung erfolgt, wobei die Koppelemente über wenigstens eine Substratanbindungsstelle mechanisch mit dem Substrat gekoppelt sind.
    • 提出了一种惯性传感器,用于测量旋转速度和/或加速度,特别是微机电惯性传感器,其中,所述惯性传感器包括基板,所述从静止位置偏转具有主延伸平面,其中,所述惯性传感器的至少两个基板 具有质量,所述质量块机械地联接到所述基板,其中,所述惯性传感器包括至少一个检测装置,用于检测质量的移动沿着第一方向,由至少一个第一耦接元件,第二连接元件机械地耦合到彼此群众,和第三联接元件 是,与所述第一耦合元件具有延伸部,其中,所述第二耦合元件具有延伸部的第二主方向的第一主方向,所述第三耦合元件具有第三主方向,其中,所述第一主方向,所述第二 延伸的主方向,并且延伸在静止位置的第三主方向布置成基本上平行于所述主延伸平面,其中,所述耦合元件基本上是刚性的,其特征在于,每个联接元件被连接到至少一个其它的耦合元件,所述耦合元件被布置成使得,当所述的偏转 质量从静止位置,抵抗延伸的第二主方向和针对导航使用第二过至少一个基板附着位点的枢转超过延伸的第一主方向的枢转被机械地耦合到基底;通过延伸的第三主方向,其中,所述联接元件导航用途进行。