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1. 发明申请

WO2007074051A1 EINLEGETEIL SOWIE SPRITZGUSSTEIL MIT EINLEGETEIL 审中-公开
标题翻译：插入带有插入部分PART和零件成型
公开(公告)号：WO2007074051A1
公开(公告)日：2007-07-05
申请号：PCT/EP2006/069569
申请日：2006-12-12
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , MUELLER, Lutz , STOLPMANN, Dagmar
发明人： FUERTSCH, Matthias , MUELLER, Lutz , STOLPMANN, Dagmar
IPC分类号： B29C45/14 , F16B37/12
CPC分类号： B29C45/14778 , B29C2045/0093 , B29K2705/00 , Y10T428/13 , Y10T428/26
摘要： Die Erfindung geht aus von einem Einlegeteil in ein Spritzgussteil (14), insbesondere Befestigungsbuchse zum Aufnehmen eines Befestigungsmittels in einer Aufnahmeöffnung (17), mit wenigstens einer äußeren Oberfläche (18, 19). Es wird vorgeschlagen, dass wenigstens die äußere Oberfläche (19) eine metallische Korrosionsschutzschicht (12) aufweist, auf der eine Versiegelungsschicht (13) abgeschieden ist.
摘要翻译：本发明是基于注射模制部分（14）的插入件，尤其是安装插座中的接收开口（17）容纳紧固件，具有至少一个外表面（18，19）。本发明提出，至少所述外表面（19）具有在其上的密封层（13）沉积的金属腐蚀保护层（12）。

2. 发明申请

WO2003001158A1 MIKROMECHANISCHER MASSENFLUSSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译： MICRO机械质量流量传感器与方法研究
公开(公告)号：WO2003001158A1
公开(公告)日：2003-01-03
申请号：PCT/DE2002/002096
申请日：2002-06-08
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , FISCHER, Frank , METZGER, Lars , SUNDERMEIER, Frieder
发明人： FUERTSCH, Matthias , FISCHER, Frank , METZGER, Lars , SUNDERMEIER, Frieder
IPC分类号： G01F1/684
CPC分类号： G01F1/6845
摘要： Bei einem Massenflussensor mit einem Schichtaufbau auf der Oberseite eines Siliziumsubstrats (1) und mindestens einem, aus einer leitenden Schicht im Schichtaufbau herausstrukturierten Heizelement (8) wird die thermische Isolation zwischen dem Heizelement (8) und dem Siliziumsubstrat (1) durch einen Siliziumdioxidblock (5) erreicht, der unterhalb des Heizelementes (8) entweder im Schichtaufbau auf dem Siliziumsubstrat (1) oder in der Oberseite des Siliziumsubstrats (1) hergestellt ist. Dadurch ist der Sensor oberflächenmikromechanisch, also ohne Wafer-Rückseitenprozesse, herstellbar.
摘要翻译：在与在硅衬底（1）和至少一个出结构中的层结构的加热元件的导电层的顶部上的层结构的质量流量传感器（8），加热元件（8）和所述硅衬底（1）之间的热绝缘的二氧化硅块（5 ）为止，由（加热元件8）的下方，或者（在硅衬底1）或（在硅衬底1的上侧上的层结构）。因此，传感器是表面微加工，没有晶片背面工艺生产。

3. 发明申请

WO2002083462A1 VORRICHTUNG ZUM ERFASSEN EINER DEFORMATION EINES BAUELEMENTES 审中-公开
标题翻译：探测设备组件的应变
公开(公告)号：WO2002083462A1
公开(公告)日：2002-10-24
申请号：PCT/DE2002/001236
申请日：2002-04-05
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , LORZENZ, Gerd
发明人： FUERTSCH, Matthias , LORZENZ, Gerd
IPC分类号： B60R21/01
CPC分类号： B60R21/0136 , G01R31/318508
摘要： Die Erfindung schafft eine Vorrichtung (1), zum Erfassen einer Deformation eines Bauelementes (10), insbesondere im Kraftfahrzeugbereich, mit: einer dem Bauelement (10) als Deformationsindikator zugeordneten deformierbaren Hohlkörperanordnung, die mindestens einen Öffnungsbereich (3) aufweist; und mindestens einer Sensoreinrichtung (4; 12), die zum Messen einer der Deformation der Hohlkörperanordnung (2) entsprechenden Luftströmung im jeweiligen Öffnungsbereich (3) angeordnet ist. Zusätzlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Erfassen einer solchen Deformation eines Bauelementes (10) und zum Aktivieren einer entsprechenden Schutzanwendung (15), wobei nach dem Messen der Deformation die Messdaten mittels einer Auswerteeinheit (13) ausgewertet und gegebenenfalls eine entsprechende Schutzanwendung aktiviert werden kann, falls die Messdaten der mindestens einen Sensoreinrichtung (4; 12) eine Deformation der Hohlkörperanordnung (2) und somit des Bauelementes (10) anzeigen.
摘要翻译：本发明提供一种装置（1），用于在汽车领域中检测部件（10）的变形，尤其是，包括：分配为具有至少一个开口部（3）变形指示器变形的空腔体布置中，装置（10）; 和至少一个传感器装置（4; 12），用于测量（2）对应于相应的开口部分（3）的空气流的中空体装置的变形布置。此外，本发明涉及一种用于检测部件（10）的这种变形以及用于激活一个相应的保护的应用程序（15），通过评价单元（13）测量的测量数据的变形评价和任选的相应的保护的应用可以被激活，如果至少一个传感器装置的测量数据（4; 12）示出了中空体装置（2），因此所述部件（10）的变形。

4. 发明申请

WO2005044720A1 LAYOUTMASSNAHMEN ZUR BEGRENZUNG DER AUSBREITUNG VON OBERFLÄCHENRISSEN IN MEMS 审中-公开
标题翻译： LAYOUT措施限制MEMS表面裂纹的蔓延
公开(公告)号：WO2005044720A1
公开(公告)日：2005-05-19
申请号：PCT/DE2004/001954
申请日：2004-09-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
发明人： FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0264
摘要： Der Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements, welches wenigstens einen ersten, einen zweiten und einen dritten Bereich aufweist. Der erste und der zweite Bereich des mikromechanischen Bauelements weist dabei vorteilhafterweise den gleichen Schichtaufbau auf. Zwischen dem ersten und dem zweiten Bereich ist der dritte Bereich angeordnet. Während der Nutzung des mikromechanischen Bauelements beispielsweise als Halterung eines Sensorelements können auf den Bauelement Risse entstehen. Diese Risse können sich unter ungünstigen Umständen auf der Oberfläche des mikromechanischen Bauelements vergrößern bzw. ausbreiten. Beim Aufbau der drei Bereiche ist dabei vorgesehen, dass der dritte Bereich im Vergleich zum ersten und/oder zweiten Bereich höhere Anfälligkeit der Rissausbreitung aufweist. Erfindungsgemäß sind der dritte Bereich und die beiden anderen Bereiche derart gestaltet, dass die Rissausbreitung vorzugsweise im dritten Bereich an vorgebbaren Positionen auf den Bauelement gestoppt wird.
摘要翻译：本发明描述了一种微型机械装置和用于制造具有至少一个第一，第二和第三区域的微机械部件的方法。微机械部件的第一和第二区域具有在该情况下有利的是相同的层结构。在第一和第二区域之间，所述第三区域被设置。虽然使用了微机械部件的，例如，作为传感器元件的保持器可在组分发生裂纹。这些裂纹可不利条件下的微机械装置或扩散的表面上而增加。在三个区域的构造中规定，所述第三区域具有更高的易感性裂纹扩展相比，第一和/或第二区域。根据本发明的第三区域和其它两个区域被配置为使得裂纹扩展在第三区域优选停止在设备上的预定位置。

5. 发明申请

WO2005015021A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS VORZUGSWEISE FÜR FLUIDISCHE ANWENDUNGEN UND MIKROPUMPE MIT EINER PUMPMEMBRAN AUS EINER POLYSILICIUMSCHICHT 审中-公开
标题翻译： PROCESS FOR优选制造微机械结构，用于从多晶硅层流体应用和微型泵与泵膜
公开(公告)号：WO2005015021A1
公开(公告)日：2005-02-17
申请号：PCT/DE2004/001447
申请日：2004-07-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , BENZEL, Hubert , FINKBEINER, Stefan , PINTER, Stefan , FISCHER, Frank , STAHL, Heiko , PIRK, Tjalf
发明人： FUERTSCH, Matthias , BENZEL, Hubert , FINKBEINER, Stefan , PINTER, Stefan , FISCHER, Frank , STAHL, Heiko , PIRK, Tjalf
IPC分类号： F04B43/04
CPC分类号： F04B43/043
摘要： Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen mit Hohlräumen beschrieben. Das Bauteil ist aus zwei Funktionsschichten aufgebaut, wobei die zwei Funktionsschichten mit mikromechanischen Verfahren unterschiedlich strukturiert werden. Auf einer Grundplatte wird eine erste Stopschicht mit einer ersten Struktur aufgebracht. Auf die erste Stopschicht und auf erste Anlageflächen der Grundplatte wird eine erste Funktionsschicht aufgebracht. Auf die erste Funktionsschicht wird eine zweite Stopschicht mit einer zweiten Struktur aufgebracht. Auf die zweite Stopschicht und auf zweite Anlageflächen der ersten Funktionsschicht wird eine zweite Funktionsschicht aufgebracht. Auf die zweite Funktionsschicht wird eine Ätzmaske aufgebracht. Die zweite und die erste Funktionsschicht werden durch die Verwendung der ersten und der zweiten Stopschicht durch Ätzverfahren und/oder durch die Verwendung der ersten und zweiten Stopschicht als Opferschichten strukturiert. Durch ergänzendes Strukturieren der Grundplatte können mit dem Verfahren zusätzliche bewegliche Fluidikelemente realisiert werden. Das Verfahren wird vorzugsweise verwendet, um eine Mikropumpe mit einer epitaktischen Polysiliciumschicht als Pumpmembran herzustellen.
摘要翻译：一种优选制造微机械部件与所描述的空腔流体的应用方法。该组件是由两个功能层，其特征在于，所述两个功能层是由微机械方法不同地形成图案构成。在基板上，第一止动层被施加有第一结构。第一功能层施加到第一止动层和基板的第一接触表面。第二停止层被施加与第一功能层上的第二结构。第二功能层被施加到第二停止层和所述第一功能层的第二支撑区。蚀刻掩模被施加到所述第二功能层。第二和第一功能层是通过使用第一和通过蚀刻和/或通过使用所述第一和第二停止层作为牺牲层的第二阻挡层图案化。通过互补图案化的底板附加移动的流体元件可以与处理来实现。该方法优选用于产生微型泵具有外延多晶硅层作为泵送隔膜。

6. 发明申请

WO2004080885A3 MEMBRANE SENSOR 审中-公开
标题翻译：干簧管传感器
公开(公告)号：WO2004080885A3
公开(公告)日：2004-11-11
申请号：PCT/DE2004000295
申请日：2004-02-18
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , MUELLER-FIEDLER ROLAND , HECHT HANS , MUCHOW JOERG , FUERTSCH MATTHIAS , STRATMANN ANDREAS , WEBER HERIBERT , BERNHARD WINFRIED , GRUEN DETLEF , DUELL ANDREAS , SCHINK RAINER , WAGNER ULRICH , SCHELLING CHRISTOPH
发明人： MUELLER-FIEDLER ROLAND , HECHT HANS , MUCHOW JOERG , FUERTSCH MATTHIAS , STRATMANN ANDREAS , WEBER HERIBERT , BERNHARD WINFRIED , GRUEN DETLEF , DUELL ANDREAS , SCHINK RAINER , WAGNER ULRICH , SCHELLING CHRISTOPH
IPC分类号： G01F1/684 , G01L9/00 , G01N7/10
CPC分类号： G01L9/0042 , G01F1/6845 , G01N7/10
摘要： The invention relates to a micromechanical sensor and to a method for producing a micromechanical sensor that has at least one membrane. The membrane is made of a first material whereby, in order to sense a medium surrounding it, this membrane is accommodated in a second material. The invention is characterized in that the membrane is reinforced, at least in part, by a third material at breakable locations on membrane edge. Reinforcement of the membrane edge increases the stability and thus the serviceable life of the membrane and of the sensor.
摘要翻译：在本发明中是微机械传感器或用于制造具有至少一个膜的微机械传感器的方法。膜由第一种材料制成，因此它被容纳在第二种材料中用于感测周围介质。本发明的实质在于，膜在膜的边缘上的断裂敏感部位处通过第三材料至少部分地增强。膜边缘的加强增加了膜的稳定性，从而延长了膜或传感器的使用寿命。

7. 发明申请

WO2004080885A2 MEMBRANSENSOR 审中-公开
标题翻译：干簧管传感器
公开(公告)号：WO2004080885A2
公开(公告)日：2004-09-23
申请号：PCT/DE2004/000295
申请日：2004-02-18
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MUELLER-FIEDLER, Roland , HECHT, Hans , MUCHOW, Joerg , FUERTSCH, Matthias , STRATMANN, Andreas , WEBER, Heribert , BERNHARD, Winfried , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHINK, Rainer , WAGNER, Ulrich , SCHELLING, Christoph
发明人： MUELLER-FIEDLER, Roland , HECHT, Hans , MUCHOW, Joerg , FUERTSCH, Matthias , STRATMANN, Andreas , WEBER, Heribert , BERNHARD, Winfried , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHINK, Rainer , WAGNER, Ulrich , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： B81B
CPC分类号： G01L9/0042 , G01F1/6845 , G01N7/10
摘要： Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich um einen mikromechanischen Sensor bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors, der wenigstens eine Membran aufweist. Die Membran wird dabei so aus einem ersten Material hergestellt, dass sie zur Sensierung eines sie umgebenden Mediums in einem zweiten Material untergebracht ist. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass die Membran wenigstens teilweise durch ein drittes Material an bruchempfindlichen Stellen am Membranrand verstärkt ist. Durch die Verstärkung des Membranrands wird die Stabilität und somit auch die Lebensdauer der Membran bzw. des Sensors erhöht.
摘要翻译：在本发明中，它是一种微机械传感器，以及一种用于制造微机械传感器的方法，具有至少一个膜。该膜是在这种情况下由第一材料制成的，它被容纳用于感测周围介质到第二材料。本发明的本质在于以下事实：所述的膜是由第三材料在对脆弱的膜的边缘位置至少部分地加强。通过增强稳定性的膜边缘，从而所述膜的或传感器的寿命增加。

8. 发明申请

WO2003076878A1 MEMBRANSENSOR MIT EINER VERSTÄRKUNGSSCHICHT IM RANDBEREICH DER MEMBRAN 审中-公开
标题翻译：在芦苇边境地区加强层干簧管传感器
公开(公告)号：WO2003076878A1
公开(公告)日：2003-09-18
申请号：PCT/DE2003/000593
申请日：2003-02-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WAGNER, Ulrich , SCHINK, Rainer , BERNHARD, Winfried , FUERTSCH, Matthias , MUELLER-FIEDLER, Roland
发明人： WAGNER, Ulrich , SCHINK, Rainer , BERNHARD, Winfried , FUERTSCH, Matthias , MUELLER-FIEDLER, Roland
IPC分类号： G01F1/684
CPC分类号： B81B3/0075 , B81B2201/02 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , G01F1/6845
摘要： Es wird ein Membransensor mit einer Einfassung der Membran (2) in einer Halterung (1) am Sensorgehäuse vorgeschlagen, bei dem die Einfassung aus einer zusätzlichen Schicht (3;5;6;7) besteht, die auf der Seite der Membran (2), die dem zu sensierenden Medium ausgesetzt ist, entlang der Kante auf die Membran (2) heraufreicht und zumindest teilweise die feste Oberfläche der angrenzenden Halterung (1) bedeckt. Die Schicht (3;5;6;7) weist vorzugsweise eine Dicke auf, die nahezu keinen Einfluss auf die Strömung des mit einem Luftmassen- oder Luftgütesensor zu sensierenden Mediums hat. Die zusätzliche Schicht (3;5;6;7) kann aus einem in Dünnschicht- oder in Dickschichttechnik strukturierbarem Material gebildet sein.
摘要翻译：因此建议在传感器外壳上，在支架（1）具有振动板（2）的轮辋上的隔膜传感器，其中附加层的外壳（3; 5; 6; 7），其在膜的侧面（2）其被暴露于介质要被感测，沿着膜片的（2）向上延伸并且至少部分地在相邻的支承体的固体表面（1）覆盖的边缘。层（3; 5; 6; 7）优选具有的厚度为具有与气流或空气质量传感器的流动几乎没有影响要被感测介质。附加层（3; 5; 6; 7）可在薄膜或厚膜技术材料的可成像的形成。

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