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1. 发明申请

WO2010031644A1 SENSORANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG EINES PARAMETERS EINES FLUIDEN MEDIUMS 审中-公开
标题翻译：传感器安排确定参数的对流体介质
公开(公告)号：WO2010031644A1
公开(公告)日：2010-03-25
申请号：PCT/EP2009/060482
申请日：2009-08-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , Renninger, Erhard , Briese, Achim , Hecht, Hans , Wagner, Ulrich , Konzelmann, Uwe , Gmelin, Christoph
发明人： Renninger, Erhard , Briese, Achim , Hecht, Hans , Wagner, Ulrich , Konzelmann, Uwe , Gmelin, Christoph
IPC分类号： G01F1/684
CPC分类号： G01F1/6842 , G01F15/12
摘要： Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung (110) zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines durch einen Kanal (124) strömenden fluiden Mediums, insbesondere einer Ansaugluftmasse einer Brennkraftmaschine. Die Sensoranordnung (110) weist mindestens einen in dem Kanal (124) angeordneten Sensorchip (130) zur Bestimmung des Parameters des fluiden Mediums auf. Der Sensorchip (130) ist in einem in den Kanal (124) ragenden Sensorträger (128) aufgenommen. Der Sensorträger (128) weist eine quer zur Strömung des fluiden Mediums angeordnete Anströmkante (150) auf, welche ihrerseits mindestens einen Turbulator (164) aufweist, der eingerichtet ist, um Wirbel (166) in dem strömenden fluiden Medium im Bereich des Sensorträgers (128) auszubilden.
摘要翻译：本发明涉及一种传感器组件（110），用于确定通过流动的流体介质，特别是用于内燃发动机的进气空气质量的信道（124）的至少一个参数。的传感器组件（110）具有至少一个用于确定流体介质的参数设置在所述通道（124）的传感器芯片（130）。传感器芯片（130）伸入到通道（124）的传感器载体（128）中的溶液。传感器载体（128）具有一横向于流体介质的前缘（150），其依次包括的流的至少一个湍流器（164）被布置成旋流（166）（在流动的流体介质在所述传感器载体128的区域形式）。

2. 发明申请

WO2009000813A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM SCHLEUSEN EINES SUBSTRATS IN EINE UND AUS EINER VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE 审中-公开
标题翻译：方法和设备锁基板至并从真空涂布设备
公开(公告)号：WO2009000813A1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：PCT/EP2008/057969
申请日：2008-06-23
申请人： VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH , SCHULZE, Dietmar , HECHT, Hans-Christian , KRAUSE, Jochen , HOFMANN, Michael
发明人： SCHULZE, Dietmar , HECHT, Hans-Christian , KRAUSE, Jochen , HOFMANN, Michael
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C23C14/566
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Schleusen eines Substrats in eine oder aus einer Prozesskammer einer Vakuumbeschichtungsanlage, bei welcher an einen Prozessbereich eine Schleusenkammer angrenzt, die durch zwei vakuumdicht schließbare Schleusentore von der umgebenden Atmosphäre und vom Prozessbereich trennbar ist und der Prozessbereich zumindest eine Prozesskammer sowie eine Transferkammer zur Änderung der Transportgeschwindigkeit des Substrats umfasst. Zum Schleusen eines Substrats wird ein eingangsseitiges vakuumdichtes Tor eines Schleusensystems geöffnet, das Substrat in das Schleusensystem transportiert und das Tor geschlossen, nachfolgend der Druck im Schleusensystem auf den Druck in dem in Transportrichtung folgenden Raum angepasst, darauf ein das Schleusensystem abschließendes ausgangsseitiges Tor geöffnet und das Substrats aus dem Schleusensystem transportiert. Das Schleusensystem wird durch eine Schleusenkammer und eine daran angrenzende Transferkammer gebildet, indem während der Schleusung des Substrats die Transferkammer mit der Schleusenkammer verbunden wird und das Schleusentor zwischen Transferkammer und Schleusenkammer geöffnet bleibt.
摘要翻译：本发明涉及的方法和用于在或离开真空镀膜设备的处理腔室，其中一个过程区，相邻的锁定室，其是可分离的基板的锁装置通过周围大气的两个真空密闭的闸门，并从处理区域和所述处理区域中，至少一个包括处理室和用于改变衬底的输送速度的传送室。的输入侧的锁定系统的真空密闭门被打开以用于基片的锁，在锁系统传送所述衬底和所述门关闭时，随后适于对在输送方向室下面的压力在锁定系统中的压力，打开它，一个锁定系统最终输出侧端口和基板输送出水闸系统。闸门系统是由一个锁定室和传送腔室的邻接传送腔室构成的基板的走私期间被连接到锁定室，并保持打开传送室之间的闸门和负载锁定室。

3. 发明申请

WO2008003792A3 VACUUM COATING SYSTEM COMPRISING A TRANSPORT UNIT FOR TRANSPORTING SUBSTRATES 审中-公开
标题翻译：用于输送基材的输送装置的真空涂布系统
公开(公告)号：WO2008003792A3
公开(公告)日：2008-05-22
申请号：PCT/EP2007056990
申请日：2007-07-09
申请人： ARDENNE ANLAGENTECH GMBH , BAUER REINHARDT , HUPKA FRANK , HEISIG ANDREAS , STRUEMPFEL JOHANNES , HECHT HANS-CHRISTIAN , ERBKAMM WOLFGANG
发明人： BAUER REINHARDT , HUPKA FRANK , HEISIG ANDREAS , STRUEMPFEL JOHANNES , HECHT HANS-CHRISTIAN , ERBKAMM WOLFGANG
IPC分类号： B65G37/00 , B65G15/24
CPC分类号： B65G37/005 , B65G15/24 , C23C14/568
摘要： The invention relates to a vacuum coating system with a transport unit for transporting substrates in a transport direction. Said system comprises at least one first continuous conveyer running in the transport direction and having a delivery element that is guided around at least two deflection rollers and that is located at a distance from a guide unit extending in the transport direction parallel to the delivery element of the first continuous conveyer in such a way that the substrates can be introduced into the gap between the delivery element of the first continuous conveyer and the guide unit and can be moved in the transport direction by the displacement of the delivery element of the first continuous conveyer.
摘要翻译：一种真空涂覆设备包括传输设备，用于在输送方向上输送的基板包括至少一个延伸设置在第一环形输送带引导围绕至少两个导向辊的环形输送带，其在从一个平行于第一循环输送机的输送机延伸一段距离布置在传送方向导向装置的传送方向被布置成使得所述底物是通过在第一环形输送带和所述导向器的输送机之间的距离的传送方向上的第一环形输送机的输送机的移动插入和移动。

4. 发明申请

WO2008003724A2 GETTER PUMP AND VACUUM COATING INSTALLATION COMPRISING A GETTER PUMP 审中-公开
标题翻译：带吸尘器的吸尘器和真空涂层系统
公开(公告)号：WO2008003724A2
公开(公告)日：2008-01-10
申请号：PCT/EP2007056773
申请日：2007-07-04
申请人： ARDENNE ANLAGENTECH GMBH , MILDE FALK , HECHT HANS-CHRISTIAN , BRUECKNER JOERN
发明人： MILDE FALK , HECHT HANS-CHRISTIAN , BRUECKNER JOERN
IPC分类号： F04B37/02 , F04B37/08 , H01J7/18
CPC分类号： C23C14/56 , F04B37/02
摘要： The invention relates to a highly efficient getter pump with low maintenance requirements and to a vacuum coating installation, in the vacuum chamber of which an ultra-high vacuum can be generated, thus allowing the substrate to be coated to remain uncontaminated by a dusting of getter material. The getter pump according to the invention comprises a pump housing (5) with an exposure opening (7). Said pump housing (5) is provided with a getter body (8), which consists of getter material, essentially closes the exposure opening (7) and is located so that it can move in relation to the exposure opening (7). An inner sub-section of the surface of the getter body (8) points towards the interior of the pump housing (5) and an outer sub-section of the surface of the getter body (8) points towards the exterior of the pump housing (5) through the exposure opening (7), the positions of the inner and outer sub-section of the surface of the getter body (8) being interchangeable by the movement of the getter body (8). The getter pump is characterised in that it is equipped with a removal device (9) for removing getter material from the inner sub-section of the surface of the getter body (8). The vacuum coating installation according to the invention comprises at least one getter pump of this type.
摘要翻译：本发明涉及一种具有高效率的吸气剂泵和具有低的维护要求和一个真空镀膜设备，其中，所述真空腔室可产生超高真空，其特征在于，要涂覆的基板不通过abgestäubtes吸气材料污染。根据本发明的吸气泵包括Getterpumpengehäuse（5）具有开口的曝光（7）和在Getterpumpengehäuse（5）的曝光开口（7）基本上封闭，相对于所述曝光开口（7）可移动地布置的吸气剂体（8）的吸气剂材料的，内部吸气剂体（8）的在Getterpumpengehäuse表面的部分（5）向内面向，并通过曝光开口的吸气剂体（8）的表面的外部部分（7）从所述Getterpumpengehäuse（5）另外，和的内部和外部部分的位置通过移动吸气剂体的吸气剂体（8）的表面（8）是可互换的，并且其特征在于，用于从所述吸气剂体（8）的表面的内部部分除去吸气材料的移除装置（9）设置。根据本发明的真空涂布系统包括至少一个这样的吸气泵。

5. 发明申请

WO2003046251A1 VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE ZUM BESCHICHTEN VON BANDFÖRMIGEN MATERIAL 审中-公开
标题翻译：真空镀膜生产线涂料带状材料
公开(公告)号：WO2003046251A1
公开(公告)日：2003-06-05
申请号：PCT/DE2002/004300
申请日：2002-11-22
申请人： VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH , ERBKAMM, Wolfgang , HECHT, Hans-Christian , STUDENT, Hans-Jochen , UNGÄNZ, Peter
发明人： ERBKAMM, Wolfgang , HECHT, Hans-Christian , STUDENT, Hans-Jochen , UNGÄNZ, Peter
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C23C14/562
摘要： Der Erfindung, die eine Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von bandförmigen Material (6) in Prozesskammern betrifft, bei der in einer ersten evakuierbaren Haspelkammer (2) eine Abwickeleinrichtung (4) mit einem ersten Walzenstuhl (11) angeordnet ist, und in einer zweiten evakuierbaren Haspelkammern (3) eine Aufwickeleinrichtung (5) mit einem zweiten Walzenstuhl (12) angeordnet ist, zwischen denen das zu beschichtende bandförmige Material mindestens eine evakuierbare Prozesskammer (1) durchläuft, wobei in der ein Prozesswalzenstuhl (14) mit Führungseinrichtungen für das bandförmige Material und eine Kühlwalze (15, 16) angeordnet ist, über deren Oberfläche sich mindestens eine Magnetronsputterquelle (17) befindet, liegt die Aufgabe zugrunde, die Präzision in der Parallelität aller, am Prozess beteiligter, Walzen zu erhöhen. Dies wird dadurch gelöst, dass der Abwickelwalzenstuhl, der Prozesswalzenstuhl und der Aufwickelwalzenstuhl in definierten Punkten (18, 19, 20, 21) befestigt werden und dass im Betriebszustand der Anlage eine Druckdifferenz, zwischen einer Haspelkammer und der Prozesskammer, maximal 50 Pa beträgt und/oder ein gemeinsamer Walzenstuhl für mehrere Kühlwalzen ausgeführt ist.
摘要翻译：本发明涉及一种真空涂层植物在处理室的带状材料（6），中涂层，其中在第一可抽真空的卷轴室（2）的开卷装置（4）被布置成与第一辊磨机（11），并且在第二抽真空的卷轴室（ 3）的卷绕装置（5）向第二辊磨机（12）布置，在它们之间至少可抽空处理室（1）传递到待涂布的带状材料，在其中处理辊磨机（14），为带形材料引导装置，和一个冷却辊（15，16）布置，其中至少一个磁控管溅射源（17），该任务是基于所有的表面上，以增加在过程中涉及的辊的平行度的精度。这是在该Abwickelwalzenstuhl，处理辊磨机和Aufwickelwalzenstuhl在定义的点（18，19，20，21）来实现附接，并且是在系统中，一个卷轴室和处理腔室，最大为50Pa的之间的压力差的操作状态和/ 或一个共同的辊磨机对多个冷却辊进行。

6. 发明申请

WO02073140A3 SENSOR CHIP WITH ADDITIONAL HEATING ELEMENT, METHOD FOR PREVENTING A SENSOR CHIP FROM BEING SOILED, AND USE OF AN ADDITIONAL HEATING ELEMENT ON A SENSOR CHIP 审中-公开
标题翻译：额外的加热器或传感器芯片程序，以防止污染上的传感器芯片或使用附加嘉在传感器芯片
公开(公告)号：WO02073140A3
公开(公告)日：2002-10-31
申请号：PCT/DE0200894
申请日：2002-03-13
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , HECHT HANS , KONZELMANN UWE , SCHULZ TORSTEN
发明人： HECHT HANS , KONZELMANN UWE , SCHULZ TORSTEN
IPC分类号： G01F1/68 , G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/696 , G01F1/699
CPC分类号： G01F1/6845 , G01F1/699
摘要： In conventional sensor chips contaminations of a flowing medium can deposit in the area of the sensor and can permanently soil it, resulting in a negative influence on the measuring behavior of the membrane. The inventive sensor chip (1) is characterized in that an additional heating element (39) is provided that is arranged upstream and at a distinct distance to the sensor area. As a result, the contaminations of the flowing medium deposit in the area of the additional heating element (39) and are thus prevented from reaching the sensor area (17).
摘要翻译：在根据现有技术的传感器芯片，将流动的介质中的杂质可以反映在传感器区域的区域中，并永久污染它们，从而导致在膜的测量行为具有负面影响。在本发明的传感器芯片（1）被布置成其上游和在从所述传感器区域相当大的距离设置在附加加热器（39）。这导致流动介质的杂质被反映在附加加热器（39），即所述区域因此可以不再传感器区域（17）通过。

7. 发明申请

WO0224722A3 CRYSTALLINE FGF9 DIMER AND METHODS OF USE 审中-公开
标题翻译： CRYSTALLINE FGF9二聚体及使用方法
公开(公告)号：WO0224722A3
公开(公告)日：2002-09-12
申请号：PCT/IL0100871
申请日：2001-09-16
申请人： PROCHON BIOTECH LTD , YAYON AVNER , HECHT HANS-JUERGEN , BOGIN OREN , WEICH HERBERT , ADAR RIVKA
发明人： YAYON AVNER , HECHT HANS-JUERGEN , BOGIN OREN , WEICH HERBERT , ADAR RIVKA
IPC分类号： C07K14/50 , G06F19/00
CPC分类号： C07K14/50 , C07K2299/00
摘要： The crystal structure of FGF9 has been determined and is shown to exist in a tetragonal space group I41 with lattice constants a = 151.9 ANGSTROM and c = 117.2 ANGSTROM . The crystal may be refined to an R value of R = 22.0 % at 2.6 ANGSTROM resolution. The crystal may be used in drug screening assays. A three-dimensional model of FGF9 is also disclosed, as is a three-dimensional computer image of the three-dimensional structure of FGF9, computer-readable data storage medium encoded with computer-readable data corresponding to the three-dimensional computer image, as well as computers for producing such a three-dimensional representation.
摘要翻译： FGF9的晶体结构已经确定并且显示存在于晶格常数a = 151.9和c =117.2的四方空间群I41中。在2.6的分辨率下，晶体可以被细化为R = 22.0％的R值。该晶体可用于药物筛选测定。还公开了FGF9的三维模型，如FGF9的三维结构的三维计算机图像，用对应于三维计算机图像的计算机可读数据编码的计算机可读数据存储介质，作为以及用于产生这种三维表示的计算机。

8. 发明申请

WO1994020823A1 MEASUREMENT SENSOR 审中-公开
标题翻译：测量传感器
公开(公告)号：WO1994020823A1
公开(公告)日：1994-09-15
申请号：PCT/DE1994000202
申请日：1994-02-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HECHT, Hans
发明人： ROBERT BOSCH GMBH
IPC分类号： G01F01/68
CPC分类号： G01F1/72 , G01F1/684 , G01F1/692
摘要： Prior art measurement sensors for the determination of the mass of a flowing fluid have a substrate on which individual resistors are applied in the form of films. The disposition of the resistors is unsymmetrical with respect to the longitudinal axis of the substrate, so that a pulsed flow characterized by flow fluctuations gives an inaccurate measurement result. The resistors, in particular the heating resistor (RH) and the measurement resistor (RS), are therefore disposed along the longitudinal axis (40) of the substrate (15) in such a way that the longitudinal axis (40) divides the film for the resistances (RH; RS) symmetrically. This symmetrical disposition makes it possible to have a symmetrical heat-flow distribution, so that the measurement sensor gives constantly accurate results almost independently of the direction of flow (2) of the fluid, particularly with a pulsed flow. The measurement sensor proposed is intended for use in the determination of the mass of a flowing fluid, in particular the aspirated air in an internal-combustion engine.
摘要翻译：用于确定流动流体的质量的已知测量元件包括施加有层的单独电阻的基板。电阻器相对于衬底的纵向轴线不对称地布置，使得以流量变化为特征的脉动流动对测量结果产生不利影响。根据本发明，电阻器，特别是加热电阻器（RH）和测量电阻器（RS）因此沿纵向轴线（40）布置，使得电阻器共享层电阻（RH，RS）对称。这种对称布置允许热流的对称分布，从而使测量元件提供一致的精度的测量结果，特别是对于一个脉动流，近似独立的流动方向（2）的。根据本发明制造的测量元件用于确定流动流体的质量，尤其是吸入到内燃机中的空气的质量。

9. 发明申请

WO1991016605A1 PROCESS AND DEVICE FOR MEASURING AIR FLOW 审中-公开
标题翻译：用于测量空气流量的过程和装置
公开(公告)号：WO1991016605A1
公开(公告)日：1991-10-31
申请号：PCT/DE1991000268
申请日：1991-03-26
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HECHT, Hans , MAST, Martin
发明人： ROBERT BOSCH GMBH
IPC分类号： G01F01/68
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F1/688 , G01F1/692 , G01P5/12
摘要： Described is a process for measuring the air flow in, for instance, the air intake ducts in motor vehicles, using a heat sensor (8) mounted on a substrate (1). The sensor is thermally insulated from the substrate and the heat flow (q3, q4) past the sensor is determined and/or modified and used to correct the sensor signal.

10. 发明申请

WO1990002317A1 DEVICE FOR MEASURING A FLOWING AIR VOLUME 审中-公开
标题翻译：用于测量流动空气体积的装置
公开(公告)号：WO1990002317A1
公开(公告)日：1990-03-08
申请号：PCT/DE1989000524
申请日：1989-08-09
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , STECHER, Günther , HECHT, Hans , BERGFRIED, Dietrich , ZIEGENBEIN, Botho , MÜHLHEIM, Richard
发明人： ROBERT BOSCH GMBH
IPC分类号： G01F01/68
CPC分类号： G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/698
摘要： A device for measuring a flowing air volume has a thick film sensor element exposed to the air flow and composed of a heating film resistance (RH) crossed by a current and of a sensor film resistance (RS) that is part of a bridge circuit and detects the temperature of the heating film resistance (RH), both resistances being arranged on an insulating substrate (10). The heating film resistance (RH) and the sensor film resistance (RS) are separated by an electrically insulating but thermally conductive intermediate layer (13) and housed in a bubble (11) made of ceramic material, in particular glass-ceramic, that forms an arch over the insulating substrate (10). The thin membrane (14) of ceramic material ensures an adequate thermal insulation between the film resistances (RH, RS) and the insulating substrate (10), making possible short response times.
摘要翻译：用于测量流动空气体积的装置具有暴露于空气流中的厚膜传感器元件，并且由电流交叉的加热膜电阻（RH）和作为桥接电路的一部分的传感器膜电阻（RS）组成，检测加热膜电阻（RH）的温度，将两个电阻布置在绝缘基板（10）上。加热膜电阻（RH）和传感器膜电阻（RS）由电绝缘但导热的中间层（13）分开，并且容纳在由陶瓷材料（特别是玻璃陶瓷）制成的气泡（11）中，形成绝缘基板（10）上的拱形部。陶瓷材料的薄膜（14）确保膜电阻（RH，RS）和绝缘衬底（10）之间的充分的热绝缘，使得可能的短的响应时间。

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