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    • 5. 发明申请
    • SENSORANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG EINES PARAMETERS EINES FLUIDEN MEDIUMS
    • 传感器安排确定参数的对流体介质
    • WO2010031639A1
    • 2010-03-25
    • PCT/EP2009/060187
    • 2009-08-06
    • ROBERT BOSCH GMBHRENNINGER, ErhardHECHT, Hans
    • RENNINGER, ErhardHECHT, Hans
    • G01F1/684G01F1/692
    • G01F1/6845G01F1/692
    • Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung (110) zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines mit einer Strömungsrichtung (118) strömenden fluiden Mediums (116), insbesondere einer durch ein Strömungsrohr strömenden Ansaugluftmasse einer Brennkraftmaschine. Die Sensoranordnung (110) weist mindestens einen Sensorchip (120) zur Bestimmung des wenigstens einen Parameters auf, welche mit mindestens eine Sensoroberfläche (122) umfasst. Die Sensoranordnung (110) weist weiterhin einen Sensorträger (112) auf, mit welchem der Sensorchip (120) derart verbunden ist, dass die Sensoroberfläche (122) von dem fluiden Medium (116) überströmt wird. Der Sensorträger (112) ist zumindest teilweise als Multilayeraufbau (124) ausgestaltet. Der Multilayeraufbau (124) weist mindestens zwei Substratschichten (126) und elektrische Strukturen (130) in mindestens zwei verschiedenen Schichtebenen des Multilayeraufbaus (124) auf.
    • 本发明涉及一种传感器组件(110),用于通过内燃机的流动的吸入空气的质量确定的流动方向(118)流动的流体介质(116)的至少一个参数,特别是流管。 的传感器组件(110)具有用于确定所述至少一个参数包括至少一个传感器表面(122)的至少一个传感器芯片(120)。 的传感器组件(110)还包括传感器载体(112)与该传感器芯片(120),使得流体介质(116)的传感器表面(122)流过。 传感器载体(112)被设计为在至少部分地为多层结构(124)。 的多层结构(124)包括至少两个基片层(126)和在所述多层结构(124)的至少两个不同层的平面的电结构(130)。