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    • 10. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON LICHTAUSKOPPELSTRUKTUREN IN EINEM HALBLEITERKÖRPER UND LICHT EMITTIERENDER HALBLEITERKÖRPER
    • 工艺在半导体体及发光半导体主体PRODUCING LICHTAUSKOPPELSTRUKTUREN
    • WO2012116887A1
    • 2012-09-07
    • PCT/EP2012/052314
    • 2012-02-10
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHZINI, LorenzoWEIMAR, AndreasRODE, Patrick
    • ZINI, LorenzoWEIMAR, AndreasRODE, Patrick
    • H01L33/20
    • H01L33/20
    • Es wird ein Verfahren zur Herstellung von Lichtauskoppelstrukturen (115) in einem Halbleiterkörper (1) angegeben. Bei einem Verfahrensschritt wird der Halbleiterkörper (1) bereitgestellt, der eine zur Lichterzeugung geeignete aktive Zone (120) enthält. Auf einer Oberfläche (111) des Halbleiterkörpers (1) wird eine Maskenschicht (3) hergestellt. Die Maskenschicht (3) weist eine Mehrzahl von Struktureinheiten (30) auf, deren Position und Größe reproduzierbar einstellbar und gezielt eingestellt ist. Die Konturen der Struktureinheiten (30) legen einen von der Maskenschicht (3) unbedeckten Teilbereich (1111) der Oberfläche (111) fest. In einem weiteren Verfahrensschritt wird der Halbleiterkörper (1) an dem von der Maskenschicht (3) unbedeckten Teilbereich (1111) der Oberfläche (111) zur Ausbildung der Lichtauskoppelstrukturen (115) geätzt. Zudem wird ein Licht emittierender Halbleiterkörper (1) angegeben.
    • 本发明提供一种用于在半导体主体(1)的制备Lichtauskoppelstrukturen(115)的处理。 在一个方法步骤中,设置在半导体主体(1),其包含适用于光产生活性区域(120)的装置。 在半导体本体的一个表面(111)(1)产生时,掩模层(3)。 掩模层(3)包括多个,其位置和尺寸被再现地调整可调整的和选择性的结构单元(30)的。 的结构单元(30)的轮廓限定的掩模层的一个表面(111)牢固地(3)的未覆盖部分(1111)。 在进一步的方法步骤中,在半导体本体(1),所述表面(111)用于形成Lichtauskoppelstrukturen(115)的掩模层(3)的暴露部分(1111)的被蚀刻。 另外,发光半导体主体(1)中指定。