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1. 发明申请

WO2007086398A1 試料表面検査装置及び検査方法审中-公开
标题翻译：检测样品表面的装置和方法
公开(公告)号：WO2007086398A1
公开(公告)日：2007-08-02
申请号：PCT/JP2007/051045
申请日：2007-01-24
申请人：株式会社荏原製作所 , 株式会社東芝 , 野路伸治 , 内藤儀彦 , 曽布川拓司 , 畠山雅規 , 寺尾健二 , 村上武司 , 奥村勝弥 , 東木達彦
发明人：野路伸治 , 内藤儀彦 , 曽布川拓司 , 畠山雅規 , 寺尾健二 , 村上武司 , 奥村勝弥 , 東木達彦
IPC分类号： H01J37/29 , G01N23/225 , H01J37/147 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/29 , H01J37/045 , H01J2237/2446
摘要： Provided are an apparatus for inspecting defects un semiconductor device manufacturing process with high precision which has not been conventionally achieved and a method for inspecting or evaluating the semiconductor devices. In the method for inspecting a sample surface by means of a mapping electron beam inspecting apparatus (1), the size of an area on the sample surface to be irradiated with an electron beam generated from an electron gun (21) is formed to be larger than a pattern size on the sample surface in substantially circular or ellipse. The electron beam is applied at substantially the center of the pattern on the sample surface, secondary electrons generated from the sample surface by electron beam irradiation are focused on the electron dectecting surface of a detector (41) and the sample surface is inspected.
摘要翻译：提供了一种用于高精度检测半导体器件制造过程的缺陷的装置，以及用于检查或评估半导体器件的方法。在通过映射电子束检查装置（1）检查样品表面的方法中，形成用从电子枪（21）产生的电子束照射的样品表面上的区域的尺寸较大大于圆形或椭圆形的样品表面上的图案尺寸。电子束在样品表面的图案的大致中心处被施加，通过电子束照射从样品表面产生的二次电子聚焦在检测器（41）的电子检测表面上，并检查样品表面。

2. 发明申请

WO2007086400A1 試料表面検査方法及び検査装置审中-公开
标题翻译：检测样品表面的方法和装置
公开(公告)号：WO2007086400A1
公开(公告)日：2007-08-02
申请号：PCT/JP2007/051047
申请日：2007-01-24
申请人：株式会社荏原製作所 , 野路伸治 , 内藤儀彦 , 曽布川拓司 , 寺尾健二 , 畠山雅規 , 奥村勝弥
发明人：野路伸治 , 内藤儀彦 , 曽布川拓司 , 寺尾健二 , 畠山雅規 , 奥村勝弥
IPC分类号： H01J37/29 , G01N23/225 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/265 , G01R31/307 , H01J37/04 , H01J2237/2441 , H01J2237/2446 , H01J2237/2594 , H01J2237/2817
摘要：　精度の良い試料表面検査を行える方法及び装置を提供する。　電子線式試料表面検査装置を用いて試料表面を検査する方法であって、前記試料表面検査装置の電子銃から発生した電子ビームを前記試料表面に照射し、前記試料表面から発生した二次電子を検出器の電子検出面に向けて結像させ前記試料表面を検査する方法において、前記検出器の検出面における前記二次電子の結像条件を、前記試料表面の電位が前記試料表面に照射された電子ビームの量に応じて変化さるように制御することに特徴を有する
摘要翻译：提供了一种用于执行高精度样品表面检查的方法和装置。该方法用于通过使用电子束型样品表面检查装置来检查样品表面。在该方法中，用从样品表面检查装置的电子枪产生的电子束照射样品表面，从样品表面产生的二次电子聚焦在检测器的电子检测表面上，并检查样品表面。该方法的特征在于，根据施加在样品表面上的电子束的量，将二次电子在检测器的检测表面上的聚焦条件控制为使样品表面上的电位发生变化。

3. 发明专利

JP2016143651A 検査装置及び検査方法审中-公开
标题翻译：检查装置和检查方法
公开(公告)号：JP2016143651A
公开(公告)日：2016-08-08
申请号：JP2015021318
申请日：2015-02-05
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：畠山雅規 , 内藤儀彦 , 渡辺賢治
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/22 , G01N23/227 , G01N23/225 , H01L21/66 , G01B15/08 , H01J37/29
摘要：【課題】検査対象の表面粗さを検査する新規な検査装置を提供する。【解決手段】検査システム100は、電子ビームを発生する電子源101と、電子源101から発生した電子ビームを試料Sに導く1次電子光学系102と、試料から発生するミラー電子を検出面で受けて検出する撮像装置104と、試料から発生したミラー電子を撮像装置104の撮像面に導く2次電子光学系105と、撮像装置104にて撮像されたミラー電子の分布の所定方向の半値幅に基づいて、校正情報を用いて試料の表面粗さを求める検査処理部107とを備えている。【選択図】図12
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于检查检查对象的表面粗糙度的新型检查装置。解决方案：检查系统100包括产生电子束的电子源101，用于引入从...产生的电子束的一次电子光学系统102 电子源101到样本S，用于接收由检测表面产生的样品的镜像并检测镜电子的成像装置104，用于将从样品产生的镜电子引入成像表面的二次电子光学系统105 以及检测处理单元107，用于基于由成像装置104捕获的镜电子的分布的预定方向上的半值宽度，通过使用校准信息来确定样品的表面粗糙度。选择的图：图12

4. 发明专利

JP5897841B2 異物付着防止機能を備えた電子線検査装置及び方法有权
标题翻译：电子束检查装置和方法，包括一异物附着防止功能
公开(公告)号：JP5897841B2
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：JP2011169040
申请日：2011-08-02
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：渡辺賢治 , 畠山雅規 , 内藤儀彦 , 小濱達也 , 寺尾健二 , 村上武司 , 林丈英 , 塚本究 , 曽布川拓司 , 木村憲雄
IPC分类号： H01L21/66 , H01J37/29 , H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/22 , H01J37/265 , H01J37/29 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/24495 , H01J2237/24564 , H01J2237/2817

5. 发明专利

JP6091573B2 試料観察方法及び装置有权
标题翻译：样观察的方法和装置
公开(公告)号：JP6091573B2
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：JP2015187508
申请日：2015-09-24
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：畠山雅規 , 村上武司 , 内藤儀彦 , 寺尾健二 , 木村憲雄 , 渡辺賢治
IPC分类号： G01N23/203 , G01N23/22 , H01J37/295 , H01J37/09 , H01J37/244 , G01N23/225
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/29 , H01J2237/24475 , H01J2237/24585 , H01J2237/24592 , H01J2237/2805 , H01J2237/2806 , H01J2237/2817 , H01L22/12

6. 发明专利

JP5719391B2 電子線装置及びこれを用いた試料観察方法有权
标题翻译：电子束装置和使用其的样品观察方法
公开(公告)号：JP5719391B2
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：JP2013032082
申请日：2013-02-21
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：加賀徹 , 寺尾健二 , 畠山雅規 , 渡辺賢治 , 内藤儀彦 , 村上武司 , 木村憲雄
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/29

8. 发明专利

JP2016106374A 異物付着防止機能を備えた電子線検査装置及び方法有权
标题翻译：电子束检测装置及防止外来粘合的功能的方法
公开(公告)号：JP2016106374A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：JP2016040808
申请日：2016-03-03
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：渡辺賢治 , 畠山雅規 , 内藤儀彦 , 小濱達也 , 寺尾健二 , 村上武司 , 林丈英 , 塚本究 , 曽布川拓司 , 木村憲雄
IPC分类号： H01J37/29 , H01J37/09 , H01J37/244 , H01L21/66 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/22 , H01J37/265 , H01J37/29 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/24495 , H01J2237/24564 , H01J2237/2817
摘要：【課題】試料表面に異物が付着することを極力防止することができる電子線検査装置を提供する。【解決手段】試料200を配置したステージ100が真空排気可能な真空チャンバ112の内部に設置されており、該試料200の周囲を包囲する位置に集塵電極122が配置されている。集塵電極122には、試料200に印加される電圧と同じ極性で絶対値が等しいかそれ以上の電圧が印加される。これにより、集塵電極122にパーティクル等の異物が付着するので、試料表面への異物付着を低減することができる。集塵電極を用いる代わりに、ステージを包含する真空チャンバの壁面に凹みを形成するか、又は、所定の電圧が印加されるメッシュ構造の金属製平板を壁面に敷設してもよい。また、中央に貫通孔124aを有する隙間制御板124を試料200及び集塵電極122の上方に間隙制御板124を配置することにより、異物付着をより低減することができる。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够尽可能防止异物附着到试样表面的电子束检查装置。解决方案：将放置样品200的载物台100设置在真空室112的内部，该真空室112可被抽真空并将集尘电极122配置在样品200周围的位置。集尘电极122被施加与施加到样品200的电压相同极性的电压，绝对值为等于或大于电压。因此，由于诸如颗粒的异物粘附到集尘电极122，所以可以减少异物附着到样品表面。代替使用集尘电极，可以在包含载物台的真空室的壁表面上形成凹部，或者在壁表面上设置具有施加了预定电压的网格结构的金属板。此外，通过在样品200上方的间隙控制板124和集尘电极122，间隙控制板124的中心具有通孔124a，可以进一步降低异物的附着。图3

9. 发明专利

JP5815627B2 試料観察方法及び装置、並びにそれらを用いた検査方法及び装置有权
标题翻译：样观察的方法和装置，和检测的方法和装置使用相同的
公开(公告)号：JP5815627B2
公开(公告)日：2015-11-17
申请号：JP2013203667
申请日：2013-09-30
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：畠山雅規 , 村上武司 , 内藤儀彦 , 寺尾健二 , 木村憲雄 , 渡辺賢治
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/29 , H01J37/244 , H01J37/09 , H01J37/22 , H01J37/28 , G01N23/225
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/29 , H01J2237/24475 , H01J2237/24585 , H01J2237/24592 , H01J2237/2805 , H01J2237/2806 , H01J2237/2817 , H01L22/12

10. 发明专利

JP2016189335A 試料観察方法及び試料観察装置审中-公开
标题翻译：标本观察方法和装置
公开(公告)号：JP2016189335A
公开(公告)日：2016-11-04
申请号：JP2016115096
申请日：2016-06-09
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：畠山雅規 , 渡辺賢治 , 内藤儀彦 , 村上武司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/20 , G01N23/203 , G01N23/225 , H01L21/66 , H01J37/29
摘要：【課題】観察目的箇所を迅速かつ正確に特定し得る試料観察方法の提供【解決手段】本発明の試料観察方法は、写像投影型観察装置と該写像投影型観察装置とは別のSEM型観察装置と光学顕微鏡により同一のステージ上に載置された試料を観察するための複合型の試料観察方法である。本発明の試料観察方法では、光学顕微鏡による試料観察、ミラー電子画像による試料観察、及び、SEM画像による試料観察で得られた各画像が観察対象試料のどの位置に対応しているのかを相互に対応付けることができる。これにより、上記3つの観察方法のうちのある方法で特定された観察目的個所を他の観察方法で観察しようとした場合でも、上記観察目的箇所を迅速かつ正確に特定することができる。【選択図】図21
摘要翻译：要解决的问题：提供能够快速且精确地识别要观察的区域的样本观察方法。解决方案：本发明的样本观察方法是用于观察放置在同一台上的样本的复合样本观察方法映射投影型检查装置，与映射投影型检查装置分离的SEM型检查装置和光学显微镜。在本发明的样本观察方法中，要观察的样本的具体位置可以与通过光学显微镜的样本观察获得的图像，通过镜像电子图像的样本观察和通过 SEM图像。因此，即使通过其他观察方法观察上述三种观察方法中通过一种方法识别的观察区域，也可以快速，准确地识别要观察的区域。图21

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