专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2019173613A 真空排気装置および真空排気方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019173613A
公开(公告)日：2019-10-10
申请号：JP2018061070
申请日：2018-03-28
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：當間康 , 狩俣努 , 曽布川拓司
IPC分类号： F04B37/20 , F04D29/70 , F04D19/04
摘要：【課題】水分子の排気特性が良好な真空排気装置を提供する。【解決手段】真空排気装置1は、真空チャンバ2と真空ポンプ4との間に配置される吸湿チャンバ3と、真空チャンバ2と吸湿チャンバ3との間に配置されるゲートバルブ8を備える。吸湿チャンバ3の内部には、吸放湿剤17によって構成されている吸湿ユニット12が配置される。吸放湿剤17は、常温で吸湿し、常温より高い所定の基準温度以上で放湿する特性を有している。【選択図】図1

2. 发明专利

JP6715603B2 検査装置有权
公开(公告)号：JP6715603B2
公开(公告)日：2020-07-01
申请号：JP2016003722
申请日：2016-01-12
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：當間康
IPC分类号： H01J37/29 , H01J37/073

4. 发明专利

JP6584946B2 検査装置有权
公开(公告)号：JP6584946B2
公开(公告)日：2019-10-02
申请号：JP2015252534
申请日：2015-12-24
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：畠山雅規 , 當間康 , 渡辺賢治 , 寺尾健二 , 吉川省二 , 林丈英 , 田島涼
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/29 , G01N23/2252 , G01N23/2251 , H01L21/66 , H01J37/073

5. 发明专利

JP6220423B2 検査装置有权
公开(公告)号：JP6220423B2
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：JP2016127848
申请日：2016-06-28
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：畠山雅規 , 吉川省二 , 村上武司 , 渡辺賢治 , 内藤儀彦 , 當間康 , 狩俣努 , 林丈英 , 塚本究 , 小濱達也 , 小林登
IPC分类号： H01L21/66 , G01N23/227

6. 发明专利

JP2016183976A 検査装置有权
标题翻译：检查装置
公开(公告)号：JP2016183976A
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：JP2016127848
申请日：2016-06-28
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：畠山雅規 , 吉川省二 , 村上武司 , 渡辺賢治 , 内藤儀彦 , 當間康 , 狩俣努 , 林丈英 , 塚本究 , 小濱達也 , 小林登
IPC分类号： H01L21/66 , G01N23/227
摘要：【課題】検査精度を向上させ、5〜30nmのデザインルールにも適用できる検査方法及び検査装置を提供すること。【解決手段】本発明の検査装置は、荷電粒子又は電磁波の何れか一つをビームとして発生させるビーム発生手段と、ワーキングチャンバ内に保持した検査対象に前記ビームを導き照射する1次光学系と、可動式のニューメリカルアパーチャ、および前記検査対象から発生して当該ニューメリカルアパーチャを通過した二次荷電粒子を検出する第1検出器を有する2次光学系と、前記第1検出器によって検出された二次荷電粒子に基づいて画像を形成する画像処理系と、前記可動式のニューメリカルアパーチャと前記第1検出器の間に設けられ、前記検査対象から発生する二次荷電粒子のクロスオーバ位置における位置及び形状を検出する第2検出器とを備える。【選択図】図58
摘要翻译：要解决的问题：提供一种检测方法和检查装置，其能够提高应用于5至30nm的设计规则的检查精度。解决方案：检查装置包括：束产生装置，用于产生带电粒子和电磁波作为光束; 用于将光束引入保持在工作室中的检查对象物以照射检查对象物的主光学系统; 具有可动型数值孔径的次级光学系统，以及用于检测从检查对象物产生的并通过数值孔径的二次带电粒子的第一检测器; 图像处理系统，用于基于由第一检测器检测到的二次带电粒子形成图像; 以及第二检测器，设置在可移动型数值孔径和第一检测器之间，并且用于检测从检查目标产生的二次带电粒子的交叉位置处的位置和形状。选择的图示：图58

7. 发明专利

JP2021068505A 電子線装置及び電極审中-公开
公开(公告)号：JP2021068505A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：JP2019190640
申请日：2019-10-18
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：當間康 , 狩俣努
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/06 , H01J37/12
摘要：【課題】電子線の経路における電界分布の制御性を向上して、静電レンズの収差を改善する。【解決手段】電子線を対象物に照射する電子線装置であって、電子線を供給する電子源と、電子源と対象物との間の電子線の経路に設けられた電極723を備え、電極723は、電子線が通過する貫通孔が設けられた導電部材82と、貫通孔の少なくとも一部を覆って導電部材82の少なくとも一面に設けられた、入射面及び出射面を有するカーボンナノチューブ膜84と、を有する。【選択図】図3

8. 发明专利

JP2018181403A 検査装置及び照射装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018181403A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017073424
申请日：2017-04-03
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：當間康 , 狩俣努 , 松島圭亮 , 小原孝志
IPC分类号： H01J37/073
摘要：【課題】光電面の量子効率の低下を抑制しつつ光電面の寿命を延ばす。【解決手段】光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、当該光電面に沿った平面上で前記光電部を運動させる運動機構部と、当該運動機構部を制御する制御部と、を有し、光の光軸は当該光電面の中心から外れており、制御部は、当該光の当該光電面における照射位置移動速度が規定速度以下になるよう当該運動機構部を制御する。【選択図】図1

9. 发明专利

JP2017126428A 検査装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017126428A
公开(公告)日：2017-07-20
申请号：JP2016003722
申请日：2016-01-12
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：當間康
IPC分类号： H01J37/06 , H01J37/073 , H01L21/66 , H01J37/29
摘要：【課題】試料の検査領域全面で均一な検査を行うことのできる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置は、試料を載置するステージと、ステージの上の試料に対して1次ビームを照射する1次光学系72と、1次ビームの照射により試料から発生した2次ビームを検出器に導く2次光学系を備える。1次光学系72は、ガウス分布の光を出射する光源7200と、ガウス分布の光を均一分布の光に変換する光学部品7201と、均一分布の光が入射されることにより1次ビームを出射する光電面7202を備える。【選択図】図8

10. 发明专利

JP6017902B2 検査装置有权
公开(公告)号：JP6017902B2
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：JP2012203375
申请日：2012-09-14
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：當間康 , 畠山雅規
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/28

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式