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1. 发明申请

WO2004066405A1 PIEZO-LINEARANTRIEB MIT EINER GRUPPE VON PIEZOSTAPELAKTUATOREN 审中-公开
标题翻译：随着压电叠层作动器一组PIEZO线性驱动
公开(公告)号：WO2004066405A1
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/EP2004/000176
申请日：2004-01-14
申请人： CARL ZEISS SMT AG , RIEF, Klaus , FISCHER, Juergen
发明人： RIEF, Klaus , FISCHER, Juergen
IPC分类号： H01L41/09
CPC分类号： G03F7/70825 , G03F7/70258 , H02N2/0045 , H02N2/021
摘要： In einem Piezo-Linearantrieb (12) mit einer Gruppe von Piezostapelaktuatoren, welche einen in einer Führung befindlichen Läufer (17) antreiben, weisen die Aktuatoren mehrere auf einem gemeinsamen Trägerelement (13) befindliche Stapel (14) auf. Innerhalb eines Stapels (14) ist ein erstes Stapelteil (15) ausgehend vom Trägerelement (13) als Longitudinal- und wenigstens ein zweites Stapelteil (16) als Scheraktor ausgebildet. Die einzelnen Stapel (14) stehen in Klemm- und/oder Scherkontakt mit dem Läufer (17), wobei die einzelnen Stapel (14) in einem Schrittbetrieb wechselseitig Klemm- und Vorschubbewegungen ausführen. Zwischen dem ersten Stapelteil (15), welcher als Longitudinalaktor ausgebildet ist, und dem wenigstens einen zweiten Stapelteil (16), welcher als Scheraktor ausgebildet ist, ist wenigstens ein Verbindungselement (18) angeordnet. Das Verbindungselement (18) verbindet jeweils zumindest einen Teil der Stapel (14) untereinander, wobei die Verbindung in Aktorrichtung der Longitudinalaktoren (15) weich und in Bewegungsrichtung des Läufers (17) steif ausgebildet ist.
摘要翻译：在具有一组驱动位于一个指南中的转子（17）压电堆的致动器的压电线性驱动（12），所述致动器包括位于栈更常见的载体元件（13）（14）上。内的堆栈（14）包括从所述支撑构件（13），其纵向和至少形成为致动器的剪切的第二堆叠部分（16）的第一堆叠部（15）。单个堆叠（14）处于夹持与所述转子（17），其中所述个体堆叠（14）相互在步骤操作夹紧和前进运动执行和/或剪切接触。第一堆叠部分（15），其被设计为Longitudinalaktor，并且其被设计为一个致动器的剪切，至少一个连接元件（18）被布置在所述至少一个第二堆叠部分（16）之间。所述连接元件（18）各自具有至少一个堆（14），以彼此的一部分，其中，所述化合物是软的，在所述转子（17）的运动方向处于Aktorrichtung Longitudinalaktoren（15）是刚性的。

2. 发明申请

WO1995029087A1 MULTI-AXLE STEERING SYSTEM FOR VEHICLES 审中-公开
标题翻译：多轴车辆
公开(公告)号：WO1995029087A1
公开(公告)日：1995-11-02
申请号：PCT/EP1995001417
申请日：1995-04-15
申请人： ZF FRIEDRICHSHAFEN AG , ELSER, Dieter , RIEF, Klaus
发明人： ZF FRIEDRICHSHAFEN AG
IPC分类号： B62D07/14
CPC分类号： B62D7/144 , F15B11/22
摘要： A multi-axle steering gear designed for vehicles has a steering gear (4) for a first steering axle (1) and a hydrostatic link for a second steering axle (2). There is a master cylinder (11) on the first steering axle (1) and a slave cylinder (23) on the second steering axle (2). The working chambers (12, 13; 24, 25) of the master (11) and slave (23) cylinder are interconnected by pressure lines (26, 27) and thus together form the hydrostatic steering system. On the second steering axle (2) there is a centring device (34) to reset its steered wheels to the straight-ahead position. To provide automatic synchronisation of the steered wheels of the first steering axle (1) and the second steering axle (2) there is a device (38) on the master cylinder (11), a connection only between the two working chambers (12, 13) of the master cylinder being made in the straight-ahead position and a small range around it.
摘要翻译：一种多桥转向，其目的是用于车辆，包括用于第一转向轴（1）和一流体静力转向系统的第二转向轴的转向齿轮（4）（2）。在第一转向轴（1）是一个主缸（11）和所述第二转向轴（2）被一个从动液压缸（23）被布置。工作腔室（12，13; 24，25）在主缸（11），并通过相互连接的压力管线（26，27）的从动液压缸（23），并因此一起形成的流体静力转向。在第二转向轴（2）具有用于（2）在其正前方位置设置在第二转向轴的转向轮的返回的定心装置（34）。对于第一转向轴（1）和所述第二转向轴的转向轮的自动同步（2）是一种装置（38）到所述主缸（11），通过它在直行位置和仅在两个之间的连接的相邻的小区域主缸（11）的工作腔（12，13）可以被制造。

3. 发明申请

WO2008037496A3 PROJECTION OBJECTIVE FOR A MICROLITHOGRAPHY APPARATUS WITH IMPROVED IMAGING PROPERTIES AND METHOD FOR IMPROVING THE IMAGING PROPERTIES OF THE PROJECTION OBJECTIVE 审中-公开
公开(公告)号：WO2008037496A3
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：PCT/EP2007/008476
申请日：2007-09-28
申请人： CARL ZEISS SMT AG , BECKENBACH, Mariella , RIEF, Klaus , BERTELE, Andreas , SIGEL, Benjamin , BLEIDISTEL, Sascha , HUMMEL, Wolfgang , FROMMEYER, Andreas , GRUNER, Toralf , SCHWAER, Jochen , SCHWAER, Baerbel , SCHLETTERER, Thomas , HOEGELE, Artur , SCHOEPPACH, Armin
发明人： BECKENBACH, Mariella , RIEF, Klaus , BERTELE, Andreas , SIGEL, Benjamin , BLEIDISTEL, Sascha , HUMMEL, Wolfgang , FROMMEYER, Andreas , GRUNER, Toralf , SCHWAER, Jochen , SCHWAER, Baerbel , SCHLETTERER, Thomas , HOEGELE, Artur , SCHOEPPACH, Armin
IPC分类号： G03F7/20 , G02B7/02
摘要： A projection objective for microlithography comprises a plurality of lenses (32, 34, 36, 38, 42) which in each case have a local optical axis (40), a first manipulator (60) with a first actuator (46, 72) and at least one second actuator (48, 74) being assigned to at least one first lens (42) from the plurality of lenses (32, 34, 36, 38). A first force input and/or moment input can be realized by means of the first actuator (46, 72) and a second force input and/or moment input can be realized by means of the second actuator (48, 74), wherein the first force input and/or moment input and the second force input and/or moment input differ with regard to at least one of the parameters: intensity of the force and/or moment input, direction of the force input relative to the local optical axis (40), direction of the moment input relative to a periphery of the first lens (42).

4. 发明申请

WO1996029230A1 MULTIPLE AXLE STEERING SYSTEM FOR VEHICLES 审中-公开
标题翻译：多轴车辆
公开(公告)号：WO1996029230A1
公开(公告)日：1996-09-26
申请号：PCT/EP1996001117
申请日：1996-03-15
申请人： ZF FRIEDRICHSHAFEN AG , RIEF, Klaus
发明人： ZF FRIEDRICHSHAFEN AG
IPC分类号： B62D07/14
CPC分类号： B62D7/144
摘要： A multiple axis steering system for vehicles comprises a steering gear (4) for a first steering axle (1) and a hydrostatic steering force transmission device with a master cylinder (5) for a second steering axle (2) adjusted via a slave cylinder (13). Oil leaks inside the steering system cause a kinematic fault between the first steering axle (1) and the second steering axle (2). The aim is therefore to ensure automatic synchronisation of the steering system when the transmission hydraulics are not under load and the vehicle is moving in a straight line, and to keep the steering system design simple. To allow the use of a master cylinder (5) with uneven piston surfaces, it is proposed that check valves (22, 22A) with mutually opposing actions should be fitted in the transmission line (6) to prevent drift of the steering axle under the preload pressure of an accumulator (17). In addition, preloaded synchroniser check valves (23, 23A) are provided between the accumulator (17) and transmission lines (6, 7); these are opened by small differential pressures between the lines (6, 7) and can compensate for smaller seal leaks. Suction valves (24, 24A) are provided in addition between the accumulator (17) and transmission lines (6, 7); via those valves the transmission hydraulic system is pressurised with accumulator pressure.
摘要翻译：用于车辆的多桥转向包括用于第一转向轴（1）并且包括用于第二转向轴（2），其经由一从动缸（13）调节的主缸（5）一流体静力转向力传递装置的转向齿轮（4）。由于漏油在转向系统中，存在被设置在第一转向轴（1）和所述第二转向轴之间的运动误差（2）。因此，它应该是可能的转向机构在直线行驶范围空载传输液压自动同步。转向系统是有一个简单的结构。因此，主缸（5）与不平衡活塞表面可用，在相对有效止回阀的前面在传输线（6）可见（22，22A），其防止转向轴的蓄压器（17）的偏置压力下的失控。此外，蓄压器（17）和传输线之间（6，7）偏置同步止回阀（23，23A）被安装在所述线路之间的低的压力差打开（6,7）并且可以补偿较小的密封泄漏。蓄压器（17）和传输线之间的（6,7）也是抗气蚀阀（24，24A）被提供，通过该液压传动被偏压至储存压力。

5. 发明申请

WO2010083965A1 DAMPING DEVICE 审中-公开
标题翻译：阻尼装置
公开(公告)号：WO2010083965A1
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：PCT/EP2010/000200
申请日：2010-01-15
申请人： CARL ZEISS SMT AG , VOGLER, Alexander , RIEF, Klaus , FROMMEYER, Andreas , BRYDON, Alan, L.
发明人： VOGLER, Alexander , RIEF, Klaus , FROMMEYER, Andreas , BRYDON, Alan, L.
IPC分类号： G02B7/02 , F16F15/023 , G03F7/20 , G02B27/64 , F16F7/10 , F16F15/02
CPC分类号： G02B7/00 , F16F7/104 , G02B7/02 , G03F7/70825 , G03F7/709
摘要： The invention relates to a damping device of an optical element (1) of a projection exposure machine, comprising at least two mass dampers (3), arranged spaced apart from one another, the vibration absorbers (3) each having at least one damper mass (30) and at least one damping element (32) and the damper masses (30) of the at least two mass dampers (3) being interconnected by means of at least one connecting element. The invention further relates to an optical element (1) of a projection exposure machine and to a projection exposure machine.
摘要翻译：本发明涉及一种投影曝光机的光学元件（1）的阻尼装置，包括至少两个互相间隔布置的质量阻尼器（3），所述减振器（3）各自具有至少一个阻尼块（30）和所述至少两个质量阻尼器（3）中的至少一个阻尼元件（32）和阻尼块（30）通过至少一个连接元件相互连接。本发明还涉及一种投影曝光机的光学元件（1）和投影曝光机。

6. 发明申请

WO2002085688A1 ELEKTROMECHANISCHE LENKUNTERSTÜTZUNGSEINRICHTUNG FÜR EIN FAHRZEUG 审中-公开
标题翻译：机电转向辅助装置用于车辆
公开(公告)号：WO2002085688A1
公开(公告)日：2002-10-31
申请号：PCT/EP2002/002898
申请日：2002-03-15
申请人： ZF LENKSYSTEME GMBH , JANDL, Gerhard , RIEF, Klaus
发明人： JANDL, Gerhard , RIEF, Klaus
IPC分类号： B62D5/04
CPC分类号： B62D5/0409
摘要： Eine elektromechanische Lenkunterstützungseinrichtung für ein Fahrzeug weist einen Elektromotor mit einem fest in einem Ge-häuse angeordneten Stator und einem im Gehäuse drehbar gelager-ten Rotor auf, welcher über eine Koppeleinrichtung eine Lenk-stellwelle antreibt, die eine Lenksäule im Fahrzeug verstellt.Im Übertragungsweg zwischen Rotor und Lenkstellwelle ist ein der Koppeleinrichtung zugeordnetes elastisches Deformationsele-ment vorgesehen, das als ein in Richtung der Lenkstellwellen-Drehachse (7) wirkender Translationsdämpfer ausgebildet ist.
摘要翻译：一种机电转向的车辆辅助装置包括电动马达具有固定地布置在壳体中的定子和在该壳体转子可旋转地gelager个，其经由耦合装置，转向控制轴，在之间的车辆verstellt.Im传输路径的转向柱驱动转子和联接装置的转向控制轴与设置其用作在轴的旋转轴线的方向上的转向致动器的弹性Deformationsele-包换相关联（7）翻译阻尼器形成。

7. 发明申请

WO1995015879A1 VEHICLE WITH FRONT AND REAR WHEEL STEERING 审中-公开
标题翻译：与转向前轮和后轮车辆
公开(公告)号：WO1995015879A1
公开(公告)日：1995-06-15
申请号：PCT/EP1994004010
申请日：1994-12-02
申请人： ZF FRIEDRICHSHAFEN AG , RIEF, Klaus , KOGEL, Walter , ELSER, Dieter
发明人： ZF FRIEDRICHSHAFEN AG
IPC分类号： B62D06/00
CPC分类号： B62D7/159
摘要： In a vehicle (1) with steerable front and rear wheels (2, 3), the steering angle ( beta ) of the rear wheels (3) is set according to that of the front wheels ( alpha ) and other parameters. The deflection of the rear wheels (3) when running and steering out of the straight line is delayed in relation to that of the front wheels (2). This steering characteristic prevents a rear corner (5) of the vehicle on the outside of a curve from running over an obstacle at the side, e.g. a kerbstone.
摘要翻译：在车辆（1）具有取决于所述前轮（2）等参数进行设置的转向角（阿尔法）的后轮（3）的可转向前轮和后轮（2,3），转向角（测试版）。后轮（3）的起始和转向出正前方位置的过程中的调整，如下所述前轮（2）的转向运动的时间延迟。由该车辆的后部的kurvenäusserer顶点（5）开始横向位于障碍物诸如路边当这样的转向特性，越过被避免。

8. 发明申请

WO2012163643A1 BEWEGUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS IN EINER MIKROLITHOGRAFISCHEN PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE 审中-公开
标题翻译： AN光学元件的微光刻投射曝光系统MOVEMENT
公开(公告)号：WO2012163643A1
公开(公告)日：2012-12-06
申请号：PCT/EP2012/058593
申请日：2012-05-10
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , AUBELE, Karl-Eugen , ULMER, Sven , RIEF, Klaus , JASSMANN, Marco
发明人： AUBELE, Karl-Eugen , ULMER, Sven , RIEF, Klaus , JASSMANN, Marco
IPC分类号： G03F7/20 , G02B7/00 , H01L41/04 , H01L41/09 , H02N2/06
CPC分类号： G03F7/70191 , G02B7/005 , G03F7/70258 , G03F7/70825 , H02N2/021 , H02N2/06
摘要： Die Erfindung betrifft eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie beinhaltend ein durch einen ersten und einen zweiten Aktuator aktuierbares optisches Element. Die Aktuatoren werden mittels Steuerungsintervallen derart gesteuert, dass zu jedem Zeitpunkt der Steuerung eine gemäß einem vorab wählbaren Parameter α vorgegebene Mindestauslenkbarkeit garantiert ist.
摘要翻译：本发明涉及一种投射曝光系统的用于微光刻，其包括第一和第二致动器aktuierbares光学元件。所述致动器由控制间隔的装置以这样的方式控制，即在任何时间的控制的根据一个预先选择的参数的预定Mindestauslenkbarkeit保证。

9. 发明申请

WO2007062794A1 OBJECTIVE, IN PARTICULAR PROJECTION OBJECTIVE FOR SEMICONDUCTOR LITHOGRAPHY 审中-公开
标题翻译：目标，特殊投影目标半导体光刻
公开(公告)号：WO2007062794A1
公开(公告)日：2007-06-07
申请号：PCT/EP2006/011371
申请日：2006-11-28
申请人： CARL ZEISS SMT AG , RIEF, Klaus
发明人： RIEF, Klaus
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70266
摘要： An objective, in particular a projection objective in semiconductor lithography, having an optical axis (z-axis) is provided with optical elements (20) mounted in an objective housing (10). At least one optical element is mounted in an inner part connected to an outer part (21) via an intermediate part (23) . Adjusting devices (26, 27) are provided in such a way as to enable relative movements between the outer part (21) and the intermediate part (23) and between the intermediate part (23) and the inner part (22), which can realize translations of the optical element in a plane perpendicular to the optical axis (z) and also parallel to the optical axis (z) and tiltings relative to the optical axis (z).
摘要翻译：具有光轴（z轴）的目标，特别是具有半导体平版印刷术的投影物镜，设置有安装在物镜壳体（10）中的光学元件（20）。至少一个光学元件经由中间部分（23）安装在连接到外部部分（21）的内部部分中。调节装置（26,27）设置成能够实现外部部分（21）和中间部分（23）之间以及中间部分（23）和内部部分（22）之间的相对运动，这可以实现光学元件在垂直于光轴（z）并且平行于光轴（z）并且相对于光轴（z）倾斜的平面中的平移。

10. 发明申请

WO03052511A2 IMAGING DEVICE IN A PROJECTION EXPOSURE FACILITY 审中-公开
标题翻译：图像设置在投影曝光系统
公开(公告)号：WO03052511A2
公开(公告)日：2003-06-26
申请号：PCT/EP0214380
申请日：2002-12-17
申请人： ZEISS CARL SEMICONDUCTOR MFG , HUMMEL WOLFGANG , FISCHER JUERGEN , AUBELE KARL-EUGEN , MERZ ERICH , RAOUL REINER , RIEF KLAUS , SCHOENGART STEFAN , NEUMAIER MARKUS , TROSSBACH BAERBEL , RASSEL THORSTEN , WEBER ULRICH , MUEHLBEYER MICHAEL , HOLDERER HUBERT , KOHL ALEXANDER , WEBER JOCHEN , LIPPERT JOHANNES
发明人： HUMMEL WOLFGANG , FISCHER JUERGEN , AUBELE KARL-EUGEN , MERZ ERICH , RAOUL REINER , RIEF KLAUS , SCHOENGART STEFAN , NEUMAIER MARKUS , TROSSBACH BAERBEL , RASSEL THORSTEN , WEBER ULRICH , MUEHLBEYER MICHAEL , HOLDERER HUBERT , KOHL ALEXANDER , WEBER JOCHEN , LIPPERT JOHANNES
IPC分类号： G02B7/02 , G03F7/20 , G03F7/207 , H01L21/027 , G03F
CPC分类号： G03F7/70258 , G03F7/70825
摘要： Disclosed is an imaging device (7) in a projection exposure facility (1) used in microlithography, comprising at least one optical element (10, 33, 34) and at least one manipulator (9, 36, 41) provided with a linear drive (11) for manipulating the position of the optical element (10, 33, 34). The linear drive (11) encompasses a driven section (14) and a non-driven section (15) which are movable towards each other along an axis (17). The two sections (14, 15) are at least temporarily connected to each other at least approximately parallel to the axis of movement (17) via functional elements (18) operable along an axis (17) and via functional elements (19) operable in one direction.
摘要翻译：在用于微光刻的投射曝光设备（1）的成像装置（7）具有用于操纵光学元件的位置的至少一个光学元件（10，33，34）和一个线性驱动器中的至少一个（11）操纵器（9，36，41）（10，33，34）。线性驱动器（11）具有一个驱动部分（14）和一非驱动部分（15），其相对于彼此在运动（17）的轴线的方向上是可移动的。部分区域（14，15）通过具有作用（17）和功能元件（19）与有效方向的轴至少大致平行于运动（17）的相关联的轴线彼此至少暂时的功能元件（18）相连接。

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