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1. 发明申请

WO2006087045A1 MIKROMECHANISCHER MEMBRANSENSOR MIT DOPPELMEMBRAN 审中-公开
标题翻译：采用双锥形微机械膜片传感器
公开(公告)号：WO2006087045A1
公开(公告)日：2006-08-24
申请号：PCT/EP2005/057023
申请日：2005-12-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ILLING, Matthias , WEBER, Heribert , SCHELLING, Christoph , STAHL, Heiko , WEISS, Stefan
发明人： ILLING, Matthias , WEBER, Heribert , SCHELLING, Christoph , STAHL, Heiko , WEISS, Stefan
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00158 , B81B2201/0264 , B81C1/00476 , B81C2201/0109 , B81C2201/053
摘要： Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Membransensors bzw. einen mit dem Verfahren hergestellten mikromechanischen Membransensor. Dabei ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor wenigstens eine erste Membran und eine im Wesentlichen über der ersten Membran liegende zweite Membran aufweist. Weiterhin ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor einen ersten Hohlraum und einen im Wesentlichen über dem ersten Hohlraum liegenden zweiten Hohlraum aufweist.
摘要翻译：本发明描述了一种用于制造微机械膜型传感器或通过该方法制备的微机械膜型传感器的方法。它提供了微机械膜型传感器具有至少一个第一膜和一个基本上覆盖所述第一膜第二膜。它进一步提供的是微机械膜型传感器具有第一腔体和基本上高于所述第一空腔第二空腔。

2. 发明申请

WO2005118463A1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT MEHREREN KAMMERN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：具有多个室和方法的微机械部件
公开(公告)号：WO2005118463A1
公开(公告)日：2005-12-15
申请号：PCT/EP2005/051917
申请日：2005-04-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FISCHER, Frank , GRAF, Eckhard , STAHL, Heiko , KUEPPERS, Hartmut , SCHEUERER, Roland
发明人： FISCHER, Frank , GRAF, Eckhard , STAHL, Heiko , KUEPPERS, Hartmut , SCHEUERER, Roland
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0041 , B81B7/02 , B81B2201/025 , B81C2201/019 , B81C2203/0145
摘要： Die Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement mit wenigstens zwei Kavernen, wobei die Kavernen von einem mikromechanischen Bauteil und einer Kappe begrenzt sind, wobei die Kavernen unterschiedliche atmosphärische Innendrücke aufweisen. Die Erfindung beschreibt weiterhin ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit wenigstens zwei Kavernen, wobei die Kavernen von einem mikromechanischen Bauteil und einer Kappe begrenzt sind. Dabei werden das mikromechanische Bauteil und die Kappe bei einem ersten vorgebbaren atmosphärischen Druck hermetisch miteinander verbunden. Danach wird ein Zugang zu wenigstens einer Kaverne erzeugt, und anschliessend wird der Zugang bei einem zweiten vorgebbaren atmosphärischen Druck hermetisch verschlossen.
摘要翻译：本发明描述了一种具有至少两个腔的微机械部件，其中一个微机械部件和盖的空腔是有限的，其中所述空腔具有不同的内部大气压。本发明进一步描述了一种用于制造具有至少两个腔的微机械部件，其中一个微机械部件和盖的空腔是有限的处理。在这种情况下，微机械部件，并且在第一预定大气压力盖气密地互相连接。此后，产生至少一个腔体的访问，然后在一第二预定大气压力的访问被密封。

3. 发明申请

WO2005015021A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS VORZUGSWEISE FÜR FLUIDISCHE ANWENDUNGEN UND MIKROPUMPE MIT EINER PUMPMEMBRAN AUS EINER POLYSILICIUMSCHICHT 审中-公开
标题翻译： PROCESS FOR优选制造微机械结构，用于从多晶硅层流体应用和微型泵与泵膜
公开(公告)号：WO2005015021A1
公开(公告)日：2005-02-17
申请号：PCT/DE2004/001447
申请日：2004-07-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , BENZEL, Hubert , FINKBEINER, Stefan , PINTER, Stefan , FISCHER, Frank , STAHL, Heiko , PIRK, Tjalf
发明人： FUERTSCH, Matthias , BENZEL, Hubert , FINKBEINER, Stefan , PINTER, Stefan , FISCHER, Frank , STAHL, Heiko , PIRK, Tjalf
IPC分类号： F04B43/04
CPC分类号： F04B43/043
摘要： Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen mit Hohlräumen beschrieben. Das Bauteil ist aus zwei Funktionsschichten aufgebaut, wobei die zwei Funktionsschichten mit mikromechanischen Verfahren unterschiedlich strukturiert werden. Auf einer Grundplatte wird eine erste Stopschicht mit einer ersten Struktur aufgebracht. Auf die erste Stopschicht und auf erste Anlageflächen der Grundplatte wird eine erste Funktionsschicht aufgebracht. Auf die erste Funktionsschicht wird eine zweite Stopschicht mit einer zweiten Struktur aufgebracht. Auf die zweite Stopschicht und auf zweite Anlageflächen der ersten Funktionsschicht wird eine zweite Funktionsschicht aufgebracht. Auf die zweite Funktionsschicht wird eine Ätzmaske aufgebracht. Die zweite und die erste Funktionsschicht werden durch die Verwendung der ersten und der zweiten Stopschicht durch Ätzverfahren und/oder durch die Verwendung der ersten und zweiten Stopschicht als Opferschichten strukturiert. Durch ergänzendes Strukturieren der Grundplatte können mit dem Verfahren zusätzliche bewegliche Fluidikelemente realisiert werden. Das Verfahren wird vorzugsweise verwendet, um eine Mikropumpe mit einer epitaktischen Polysiliciumschicht als Pumpmembran herzustellen.
摘要翻译：一种优选制造微机械部件与所描述的空腔流体的应用方法。该组件是由两个功能层，其特征在于，所述两个功能层是由微机械方法不同地形成图案构成。在基板上，第一止动层被施加有第一结构。第一功能层施加到第一止动层和基板的第一接触表面。第二停止层被施加与第一功能层上的第二结构。第二功能层被施加到第二停止层和所述第一功能层的第二支撑区。蚀刻掩模被施加到所述第二功能层。第二和第一功能层是通过使用第一和通过蚀刻和/或通过使用所述第一和第二停止层作为牺牲层的第二阻挡层图案化。通过互补图案化的底板附加移动的流体元件可以与处理来实现。该方法优选用于产生微型泵具有外延多晶硅层作为泵送隔膜。

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