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1. 发明专利

CA1293568C ELECTRONIC VOLUME CORRECTORS 未知
公开(公告)号：CA1293568C
公开(公告)日：1991-12-24
申请号：CA548424
申请日：1987-10-01
申请人： DUELL ANDREAS A G
发明人： DUELL ANDREAS A G , GRZESLO IGNANCY J
IPC分类号： G01F1/08 , G01F1/12 , G01F15/04 , G01F25/00 , G01F1/05
摘要： To obtain better accuracy, it is known to modify the mechanical metered volume reading of the flow through a gas pipeline according to the gas laws, which incorporate the pressure and temperature parameters of the gas. The present invention samples those parameters with analog sensors and inputs them into an analog to digital converter. The digital output from the converter is employed to obtain a more accurate digital volume reading.

2. 发明申请

WO2007093497A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PRÜFSTRUKTUR ZUR PRÜFUNG DER DURCHBIEGUNG EINER MEMBRAN EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS UND ENTSPRECHENDE PRÜFSTRUKTUR 审中-公开
标题翻译：制造方法测试结构TESTING偏转膜中的微型机械装置及相关的测试结构
公开(公告)号：WO2007093497A1
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：PCT/EP2007/050877
申请日：2007-01-30
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , SCHUETTE, Klaus , DAVIES, Neil , DUELL, Andreas , LAMMEL, Gerhard , NEUBAUER, Matthias , SENZ, Volkmar , SCHNITZLER, Thomas
发明人： SCHUETTE, Klaus , DAVIES, Neil , DUELL, Andreas , LAMMEL, Gerhard , NEUBAUER, Matthias , SENZ, Volkmar , SCHNITZLER, Thomas
IPC分类号： G01B11/16 , G01L9/00
CPC分类号： G01N3/068 , G01N2203/0023 , G01N2203/0282 , G01N2203/0286 , G01N2203/06
摘要： Die Erfindung schafft eine Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran (3) eines mikromechanischen Bauelements (10) mit einer Mehrzahl von diskreten Testmustern (T1-T4), wobei die Testmuster (T1-T4) durch Entwickeln (S3) strukturell unterschiedlich aufgelöst sind, so dass die strukturelle Auflösung eines jeweiligen Testmusters (T1-T4) ein Maß für Durchbiegung der Membran (3) an der Position eines jeweiligen Testmusters (T1-T4) ist, sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Erfindung schafft ebenfalls eine Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran (3) eines mikromechanischen Bauelements (10) mit einem kontinuierlichen Testmuster (T5), wobei das Testmuster (T5) durch Entwickeln (S3) strukturell sich kontinuierlich ändernd aufgelöst ist, so dass die strukturelle Auflösung des Testmusters (T5) an einer jeweiligen Position des Testmusters (T5) ein Maß für Durchbiegung der Membran (3) an der jeweiligen Position des Testmusters (T5) ist, sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren.
摘要翻译：本发明提供了一种用于测试具有许多的隔膜（3）的偏转的离散的测试图案（T1-T4），其中，所述测试图案（T1-T4）通过显影（S3）溶解在结构上不同的微机械部件（10）的测试结构，使得各自的测试图案（T1-T4）的结构的分辨率，以及在相应的测试图案（T1-T4）的相应的制造方法的位置处的膜（3）的偏转的测量。本发明还提供用于通过显影（S3）与膜片（3），其中所述测试图案（T5）的偏转的连续测试码模式（T5）测试微机械部件（10）在结构上连续溶解变化的测试结构，从而使测试图案（T5），以测试图案（T5）中的相应位置的结构的分辨率是在测试图案（T5）的相应位置所述膜（3）的偏转，以及相应的制造方法的一个量度。

3. 发明申请

WO1997039320A1 PRESSURE SENSOR 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：WO1997039320A1
公开(公告)日：1997-10-23
申请号：PCT/DE1997000716
申请日：1997-04-09
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , INGRISCH, Kurt , WEIBLEN, Kurt , BENZEL, Hubert , ZIEGENBEIN, Botho , TRAH, Hans-Peter , DUELL, Andreas , BENDER, Karl , FRANZ, Jochen
发明人： ROBERT BOSCH GMBH
IPC分类号： G01L09/00
CPC分类号： G01L9/006 , G01L9/0052
摘要： A pressure sensor has a metallic membrane (1) and a frame (3). A silicon bridge element (2) with piezoresistive resistance elements (11) is arranged on the membrane or the frame (3) to detect the deflection of the membrane (1).
摘要翻译：本发明公开了具有一个金属隔膜（1）和框架（3）的压力传感器。用于检测所述光阑（1）的偏转是硅桥元件（2）与压阻电阻元件（11）在膜或框架（3）。

4. 发明申请

WO2004080885A3 MEMBRANE SENSOR 审中-公开
标题翻译：干簧管传感器
公开(公告)号：WO2004080885A3
公开(公告)日：2004-11-11
申请号：PCT/DE2004000295
申请日：2004-02-18
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , MUELLER-FIEDLER ROLAND , HECHT HANS , MUCHOW JOERG , FUERTSCH MATTHIAS , STRATMANN ANDREAS , WEBER HERIBERT , BERNHARD WINFRIED , GRUEN DETLEF , DUELL ANDREAS , SCHINK RAINER , WAGNER ULRICH , SCHELLING CHRISTOPH
发明人： MUELLER-FIEDLER ROLAND , HECHT HANS , MUCHOW JOERG , FUERTSCH MATTHIAS , STRATMANN ANDREAS , WEBER HERIBERT , BERNHARD WINFRIED , GRUEN DETLEF , DUELL ANDREAS , SCHINK RAINER , WAGNER ULRICH , SCHELLING CHRISTOPH
IPC分类号： G01F1/684 , G01L9/00 , G01N7/10
CPC分类号： G01L9/0042 , G01F1/6845 , G01N7/10
摘要： The invention relates to a micromechanical sensor and to a method for producing a micromechanical sensor that has at least one membrane. The membrane is made of a first material whereby, in order to sense a medium surrounding it, this membrane is accommodated in a second material. The invention is characterized in that the membrane is reinforced, at least in part, by a third material at breakable locations on membrane edge. Reinforcement of the membrane edge increases the stability and thus the serviceable life of the membrane and of the sensor.
摘要翻译：在本发明中是微机械传感器或用于制造具有至少一个膜的微机械传感器的方法。膜由第一种材料制成，因此它被容纳在第二种材料中用于感测周围介质。本发明的实质在于，膜在膜的边缘上的断裂敏感部位处通过第三材料至少部分地增强。膜边缘的加强增加了膜的稳定性，从而延长了膜或传感器的使用寿命。

5. 发明申请

WO2004080885A2 MEMBRANSENSOR 审中-公开
标题翻译：干簧管传感器
公开(公告)号：WO2004080885A2
公开(公告)日：2004-09-23
申请号：PCT/DE2004/000295
申请日：2004-02-18
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MUELLER-FIEDLER, Roland , HECHT, Hans , MUCHOW, Joerg , FUERTSCH, Matthias , STRATMANN, Andreas , WEBER, Heribert , BERNHARD, Winfried , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHINK, Rainer , WAGNER, Ulrich , SCHELLING, Christoph
发明人： MUELLER-FIEDLER, Roland , HECHT, Hans , MUCHOW, Joerg , FUERTSCH, Matthias , STRATMANN, Andreas , WEBER, Heribert , BERNHARD, Winfried , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHINK, Rainer , WAGNER, Ulrich , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： B81B
CPC分类号： G01L9/0042 , G01F1/6845 , G01N7/10
摘要： Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich um einen mikromechanischen Sensor bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors, der wenigstens eine Membran aufweist. Die Membran wird dabei so aus einem ersten Material hergestellt, dass sie zur Sensierung eines sie umgebenden Mediums in einem zweiten Material untergebracht ist. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass die Membran wenigstens teilweise durch ein drittes Material an bruchempfindlichen Stellen am Membranrand verstärkt ist. Durch die Verstärkung des Membranrands wird die Stabilität und somit auch die Lebensdauer der Membran bzw. des Sensors erhöht.
摘要翻译：在本发明中，它是一种微机械传感器，以及一种用于制造微机械传感器的方法，具有至少一个膜。该膜是在这种情况下由第一材料制成的，它被容纳用于感测周围介质到第二材料。本发明的本质在于以下事实：所述的膜是由第三材料在对脆弱的膜的边缘位置至少部分地加强。通过增强稳定性的膜边缘，从而所述膜的或传感器的寿命增加。

6. 发明申请

WO2004100256A1 VORRICHTUNG MIT EINER HALBLEITERSCHALTUNG 审中-公开
标题翻译：与半导体电路器件
公开(公告)号：WO2004100256A1
公开(公告)日：2004-11-18
申请号：PCT/DE2004/000821
申请日：2004-04-20
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , SCHELLING, Christoph , VOSSENBERG, Heinz-Georg , DUELL, Andreas , SCHAEFER, Frank , BENZEL, Hubert , NITSCHE, Juergen , JUNGER, Andreas , MUCHOW, Joerg
发明人： SCHELLING, Christoph , VOSSENBERG, Heinz-Georg , DUELL, Andreas , SCHAEFER, Frank , BENZEL, Hubert , NITSCHE, Juergen , JUNGER, Andreas , MUCHOW, Joerg
IPC分类号： H01L21/762
CPC分类号： H01L21/76245
摘要： Es wird eine Vorrichtung mit einer Halbleiterschaltung (21) und einem Substrat (10) vorgeschlagen, wobei eine thermische und/oder mechanische Entkopplung mittels einer Entkopplungsstruktur (30, 31) vorgesehen ist.
摘要翻译：它提出了一种具有半导体电路（21）和一个衬底（10），其中，去耦结构（30，31）的热和/或机械去耦装置，提供了一种装置。

7. 发明申请

WO2005044720A1 LAYOUTMASSNAHMEN ZUR BEGRENZUNG DER AUSBREITUNG VON OBERFLÄCHENRISSEN IN MEMS 审中-公开
标题翻译： LAYOUT措施限制MEMS表面裂纹的蔓延
公开(公告)号：WO2005044720A1
公开(公告)日：2005-05-19
申请号：PCT/DE2004/001954
申请日：2004-09-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
发明人： FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0264
摘要： Der Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements, welches wenigstens einen ersten, einen zweiten und einen dritten Bereich aufweist. Der erste und der zweite Bereich des mikromechanischen Bauelements weist dabei vorteilhafterweise den gleichen Schichtaufbau auf. Zwischen dem ersten und dem zweiten Bereich ist der dritte Bereich angeordnet. Während der Nutzung des mikromechanischen Bauelements beispielsweise als Halterung eines Sensorelements können auf den Bauelement Risse entstehen. Diese Risse können sich unter ungünstigen Umständen auf der Oberfläche des mikromechanischen Bauelements vergrößern bzw. ausbreiten. Beim Aufbau der drei Bereiche ist dabei vorgesehen, dass der dritte Bereich im Vergleich zum ersten und/oder zweiten Bereich höhere Anfälligkeit der Rissausbreitung aufweist. Erfindungsgemäß sind der dritte Bereich und die beiden anderen Bereiche derart gestaltet, dass die Rissausbreitung vorzugsweise im dritten Bereich an vorgebbaren Positionen auf den Bauelement gestoppt wird.
摘要翻译：本发明描述了一种微型机械装置和用于制造具有至少一个第一，第二和第三区域的微机械部件的方法。微机械部件的第一和第二区域具有在该情况下有利的是相同的层结构。在第一和第二区域之间，所述第三区域被设置。虽然使用了微机械部件的，例如，作为传感器元件的保持器可在组分发生裂纹。这些裂纹可不利条件下的微机械装置或扩散的表面上而增加。在三个区域的构造中规定，所述第三区域具有更高的易感性裂纹扩展相比，第一和/或第二区域。根据本发明的第三区域和其它两个区域被配置为使得裂纹扩展在第三区域优选停止在设备上的预定位置。

8. 发明申请

WO0170625A3 MICROMECHANICAL COMPONENT AND BALANCING METHOD 审中-公开
标题翻译：微机械结构和平衡法
公开(公告)号：WO0170625A3
公开(公告)日：2002-10-24
申请号：PCT/DE0100992
申请日：2001-03-15
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , MUCHOW JOERG , FRANZ JOCHEN , LIPPHARDT UWE , DUELL ANDREAS , ROMES WOLFGANG
发明人： MUCHOW JOERG , FRANZ JOCHEN , LIPPHARDT UWE , DUELL ANDREAS , ROMES WOLFGANG
IPC分类号： B81B3/00 , G01L9/00 , H01L29/84 , H01L41/08 , G01L9/06
CPC分类号： G01L9/0054
摘要： The invention relates to a micromechanical component, especially a pressure sensor, comprising a substrate (2) which is provided with a membrane region (10) and a surrounding area of the membrane region (10). Said component also comprises at least one precision resistor (4a, 4b; 41, 42) that is provided in the membrane region (10) and can be changed by forming said membrane region (10). The inventive component further comprises a corresponding evaluation circuit (50) that is provided in the surrounding area. Parasitic induction onto the precision resistor (4a, 4b; 41, 42) can be generated by forming components, especially strip conductors, of the evaluating circuit (50) in relation to the substrate (2). Said component comprises at least one spot (60; 70, 70') that is provided in the surrounding area and/or the membrane region (10) and consists of such a material that analogous parasitic induction can be produced by forming the spot/s (60) in relation to the substrate (2), in such a way that the parasitic induction acting upon the precision resistor (4a, 4b; 41, 42) can be compensated. The invention also relates to a corresponding balancing method for a test chip or for single end balancing.
摘要翻译：本发明提供一种微机械部件，特别是压力传感器，包括具有膜片部分（10）和所述膜片区域（10）的周围区域的衬底（2）; 的至少一个在由所述膜部分的变量（10）测量电阻器（4A，4B，41,42）的变形设置了膜片部（10）; （50）相对于所述基板在所述周边区域中设置的开口，相应的评价电路（50），whichin部分的变形，特别是导体轨迹，所述评估电路（2）上的测量电阻器（4A，4B; 41,42）一个干扰影响，产生; 这样的材料的，通过的变形或斑点（60）相对于这样产生的（2）类似的干扰影响的基板;以及在周围区域和/或在膜中的区域（10）焊盘（70，70“60）至少设置有一个的是，测量电阻（4A，4B; 41，42）作用的干扰影响可以被补偿。本发明还提供一个测试芯片或作为Einzelendabgleich相应的调整方法。

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