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11. 发明申请

WO2014000811A1 VERFAHREN ZUR MESSUNG DER AUSBREITUNGSRICHTUNG EINES STRAHLENBÜNDELS UND VERFAHREN ZUR MESSUNG DER ENERGIEVERTEILUNG IN EINEM STRAHLENBÜNDEL 审中-公开
标题翻译：法测量的传播梁梁和方法方向测量能量分布的辐射一堆
公开(公告)号：WO2014000811A1
公开(公告)日：2014-01-03
申请号：PCT/EP2012/062690
申请日：2012-06-29
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , ENGEL, Thomas
发明人： ENGEL, Thomas
IPC分类号： G01N23/18 , G01J1/42
CPC分类号： G01J1/4257 , G01J1/4228 , G01J1/58 , G01N23/18 , G01N2223/407 , G01N2223/412 , G01N2223/50 , G01T1/29
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren (70) zur Bestimmung einer Propagationsrichtung (68) eines Strahlenbündels, insbesondere eines Röntgenstrahlbündels (12) mittels eines Sensorsystems (51) und ein Verfahren (90) zur Bestimmung einer Energieverteilung innerhalb eines Strahlenbündels (12) mittels des Sensorsystems (51). Die Strahlung durchdringt dabei zwei hintereinander angeordnete optische Wandler (14,14'), wodurch diese Licht emittieren. Dieses Licht wird durch Abbildungssysteme (22, 22') auf optischen Sensoren (18,18') abgebildet, die Bilder der beiden optischen Wandler (14, 14') aufnehmen. Die beiden Bilder werden dann gemeinsam ausgewertet.
摘要翻译：本发明涉及一种用于确定光束的传播方向（68），特别是X射线束（12）由一个传感器系统（51）和方法（90）的装置，用于由所述传感器系统的装置来确定光束（12）内的能量分布的方法（70）（51）。的辐射穿透两个串联布置的光学转换器（14,14“），其中这些发射光。此光通过成像系统发送成像“上的光学传感器（18,18（22，22）”），两个光换能器（14，14“）的图像进行记录。然后，将两个图像一起进行分析。

12. 发明申请

WO2013110338A1 VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINES KORREKTURWERTS FÜR EINE ÜBERWACHUNG EINES FLUIDLAGERS UND MASCHINE MIT MINDESTENS EINEM FLUIDLAGER 审中-公开
标题翻译：一种用于确定校正值监控流体轴承和设备与至少一个流体存储
公开(公告)号：WO2013110338A1
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：PCT/EP2012/051269
申请日：2012-01-26
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , SAGEMUELLER, Rainer , GRUPP, Guenter
发明人： SAGEMUELLER, Rainer , GRUPP, Guenter
IPC分类号： G01B5/00 , G01B21/04 , F16C32/06 , B23Q1/38
CPC分类号： G01B5/008 , F16C32/0614 , F16C32/067 , F16C32/0692 , F16C2370/00 , G01B5/0009 , G01B21/042
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren (90) zum Ermitteln eines Korrekturwerts für eine Überwachung eines Fluidlagers (35) einer Maschine (10) zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks (32), insbesondere eines Koordinatenmessgeräts, mit den Schritten: Bereitstellen (94) der Maschine (10) zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks (32), mit einem ersten Element (56) und einem zweiten Element (58), wobei das erste Element (56) und das zweite Element (58) mittels mindestens eines Fluidlagers (35) aneinander abgestützt sind, und mit einer Steuerungseinrichtung (38) zum Steuern der Maschine (10), Ermitteln (96) einer einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) repräsentierenden Größe abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58), Bestimmen (98) eines Korrekturwerts für einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) für die Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58), und Hinterlegen (100) des Korrekturwerts in der Steuerungseinrichtung (38).
摘要翻译：本发明涉及一种方法（90），用于确定一个校正值用于监视用于处理的机器（10）的流体轴承（35）的或测量的工件（32），特别是坐标测量机，其包括以下步骤：在机器的设置（94）（10），用于处理或测量工件（32），包括：第一元件（56）和第二元件（58），其中，所述第一构件（56）和所述第二元件（58）由彼此至少一个流体轴承（35）的装置被支撑，并配有控制装置（38），用于控制发动机（10），确定（96）在所述至少一个流体轴承表示取决于第一部件的位置和/或方向的大小的压力（35）（56）相对到第二元件（58），确定（98）用于RELAT在用于第一部件的位置和/或定向，所述至少一个流体轴承（35）的压力的修正值（56） IV在控制装置（38）的校正值的第二元件（58），并留下（100）。

13. 发明申请

WO2013091697A1 VERFAHREN ZUM KOPPELN ZWEIER SYSTEMKOMPONENTEN EINES MESSGERÄTS, INSBESONDERE EINES KOORDINATENMESSGERÄTS 审中-公开
标题翻译：方法一米尤其坐标METER元配对两个系统部件
公开(公告)号：WO2013091697A1
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：PCT/EP2011/073700
申请日：2011-12-21
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , ENGEL, Thomas
发明人： ENGEL, Thomas
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B5/008 , G01B7/008 , G01B11/005 , G01B11/007
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Koppeln einer ersten Systemkomponente und einer zweiten Systemkomponente eines Koordinatenmessgeräts zum Ermitteln dreidimensionaler Koordinaten eines zu vermessenden Objekts mittels mindestens eines Sensors, wobei eine Schnittstellenanordung zwischen der ersten Systemkomponente und der zweiten Systemkomponente bereitgestellt wird, wobei die Schnittstellenanordnung mit mindestens einer aus mindestens zwei elektrischen Übergangsstrecken gebildeten elektrischen Schnittstelle zum Übertragen einer ersten elektrischen Spannung zwischen der ersten Systemkomponente und der zweiten Systemkomponente und mindestens einer aus Lichtwellenleitern gebildeten optischen Schnittstelle bereitgestellt wird, wobei mindestens der mindestens eine Sensor mittels der mindestens zwei elektrischen Übergangsstrecken der elektrischen Schnittstelle mit der ersten elektrischen Spannung versorgt wird, dass ein mittels des Sensors erfasstes analoges Messsignal in ein digitales Messdatensignal transformiert wird, und dass das digitale Messdatensignal mittels der Lichtwellenleiter der mindestens einen optischen Schnittstelle übertragen wird. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Koordinatenmessgerät.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于耦合第一系统组件和坐标测量机的用于确定对象的三维坐标的第二系统部件由至少一个传感器，其中一个Schnittstellenanordung在第一系统部件和第二系统部件之间，被测量，其特征在于有至少一个所述接口装置从至少两个电过渡线，用于发送所述第一系统元件和第二系统元件和光波导中的至少一个之间的第一电压形成电接口形成的光学接口被提供，其中，至少所述至少一个传感器由电接口与所述至少两个电过渡距离的装置被提供第一电压，一个由所述传感器测量的模拟信号中检测到被变换成数字数据信号，并且该数字数据信号通过至少一个光学界面的光波导上传输。此外，本发明涉及一种坐标测量机。

14. 发明申请

WO2013068044A1 VORBEREITUNG DES BETRIEBES EINES TAKTIL ANTASTENDEN KOORDINATENMESSGERÄTS 审中-公开
标题翻译：准备操作触觉ANTASTENDEN坐标METER作者：
公开(公告)号：WO2013068044A1
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：PCT/EP2011/069878
申请日：2011-11-10
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , BERNHARDT, Ralf , FUCHS, Andreas , HELD, Tobias
发明人： BERNHARDT, Ralf , FUCHS, Andreas , HELD, Tobias
IPC分类号： G01B21/04
CPC分类号： G01B21/042
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und ein entsprechendes System zur Vorbereitung des Betriebes eines taktil antastenden Koordinatenmessgeräts (1), insbesondere zur Vorbereitung der Kalibrierung eines Koordinatenmessgeräts (1) durch taktiles Antasten eines Kalibrierelements (2, 4) mit einem an dem Koordinatenmessgerät (1) angeordneten Taster (3, 8), umfassend die folgenden Schritte, Vermessen der Oberfläche der von einer Idealform einer Kugel abweichenden Tastkugel (3) als Tastelement des Koordinatenmessgeräts (1), oder Vermessen der Oberfläche der von einer Idealform einer Kugel abweichenden Kalibrierkugel (2, 4) als Kalibriernormal, mit einem Oberflächenmessgerät (21) und Bestimmen von Koordinaten mehrerer realer Oberflächenpunkte der Tastkugel oder Kalibrierkugel (2, 4) in einem Koordinatensystem der Tastkugel oder Kalibrierkugel (2, 4), in Bezug Setzen eines Referenzmerkmals (14; 15; 16) der Tastkugel (3) oder der Kalibrierkugel (2, 4) zu dem Koordinatensystem der Tastkugel (3) oder Kalibrierkugel (2, 4), Montieren der Tastkugel (3) an einem taktil antastenden Koordinatenmessgerät (1) oder Anordnen der Kalibrierkugel (2, 4) in dem Messbereich des taktil antastenden Koordinatenmessgeräts (1) und in Bezug Setzen des Koordinatensystems der Tastkugel (3) oder der Kalibrierkugel (2, 4) zu einem Koordinatensystem des Koordinatenmessgeräts (1), sodass Informationen über Positionen der realen Oberflächenpunkte der Tastkugel (3) oder Kalibrierkugel (2, 4) in dem Koordinatensystem des Koordinatenmessgeräts (1) vorhanden oder bestimmbar sind.
摘要翻译：本发明涉及一种方法和相应的系统，用于制备触觉的操作的antastenden坐标测量机（1），特别是用于通过触觉探测一个校准元件制备的坐标测量机（1）的校准的（2,4）布置成与坐标测量机的一（1）按钮（3，8），包括以下步骤，从一球触针尖端（3）作为坐标测量装置（1），或从一个球体校准球体的理想形状测量该偏离表面的探针元件的理想形状测量该偏离的表面（2,4 ）作为校准标准，（用表面测量仪器21）和多个探头球或校准球体（2的真实表面点的确定坐标，4）在探头球或校准球体（2的坐标系中，4），在设定的基准特征（14方面; 15; 16 ）探针球（3）或所述校准球体（2，4）向Tastku的坐标系凝胶（3）或校准球体（2，4），探针尖端的组件（3）到触觉antastenden坐标测量机（1）或安排校准球（2，4）在触觉的测量范围antastenden坐标测量机（1）和相对于设定坐标探针球的系统（3）或所述校准球体的（2,4）到坐标测量设备（1），以便在探头球的真实表面点的位置的信息（3）或校准球体的坐标系统（2，4）在坐标的坐标测量机的系统（1）存在或可确定的。

15. 发明申请

WO2012019958A2 SENSORANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM BESTIMMEN EINER RÄUMLICHEN POSITION EINES ERSTEN TEILS RELATIV ZU EINEM ZWEITEN TEIL 审中-公开
标题翻译：确定第一部分相对于第二部分的空间位置的传感器布置和方法
公开(公告)号：WO2012019958A2
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：PCT/EP2011/063415
申请日：2011-08-04
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , SENSITEC GMBH , ENGEL, Thomas , LOREIT, Uwe
发明人： ENGEL, Thomas , LOREIT, Uwe
IPC分类号： G01D5/14
CPC分类号： G01B7/14 , G01B7/012 , G01D5/145 , G01R33/0082
摘要： Eine Sensoranordnung zum Bestimmen einer räumlichen Position eines ersten Teils (114) relativ zu einem zweiten Teil (112) besitzt zumindest einen Magneten (74), der an dem ersten Teil (114) angeordnet ist. Der Magnet (74) erzeugt ein Magnetfeld, das sich bis zu dem zweiten Teil (112) erstreckt. Die Sensoranordnung beinhaltet ferner einen ersten und einen zweiten Magnetfeldsensor (80, 82), die mit einem räumlichen Abstand (84) zueinander an dem zweiten Teil (114) angeordnet sind. Der zumindest eine Magnet (74) ist in dem räumlichen Abstand zwischen den Magnetfeldsensoren (80, 82) positioniert. Die Magnetfeldsensoren (80, 82) erzeugen in Abhängigkeit von dem Magnetfeld jeweils ein Ausgangssignal. Die Ausgangssignale der beiden Magnetfeldsensoren (80, 82) sind zu einem gemeinsamen Sensorsignal kombiniert, das von der räumlichen Position des ersten Teils (114) relativ zu dem zweiten Teil (112) entlang einer definierten Messachse (96) abhängt. Die definierte Messachse (96) liegt quer zu dem räumlichen Abstand und die Ausgangssignale des ersten und zweiten Magnetfeldsensors (80, 82) repräsentieren im Wesentlichen eine Magnetfeldrichtung am Ort des jeweiligen Magnetfeldsensors (80, 82).
摘要翻译：
一种传感器装置，用于确定A R AUML;第一部分（114）的第二部分（112）的umlichen位置具有设置在所述第一部分（114）相对的至少一个磁体（74）。磁体（74）产生延伸到第二部分（112）的磁场。传感器组件还包括第一磁场传感器和第二磁场传感器（80,82），所述第一磁场传感器和第二磁场传感器设置在第二部分（114）上彼此周向距离（84）处。该至少一个磁体（74）位于磁场传感器（80,82）之间的周向距离处。磁场传感器（80,82）各自响应于磁场而产生输出信号。两个磁场传感器（80，82）的输出信号组合成从R＆AUML一个公共传感器信号;相对于沿限定的测量轴（96）依赖＆AUML所述第一部分（114）的umlichen位置的第二部分（112）; NGT。定义（96）的测量轴是横向于R＆AUML; umlichen距离以及所述第一和第二磁场传感器（80，82）再版＆AUML的输出; sentieren基本上在相应的磁场传感器的位置处的磁场方向（80，82）。

16. 发明申请

WO2011131375A8 BETRIEB EINER KOORDINATENMESSMASCHINE ODER EINER WERKZEUGMASCHINE 审中-公开
公开(公告)号：WO2011131375A8
公开(公告)日：2011-10-27
申请号：PCT/EP2011/002103
申请日：2011-04-18
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , SCHON, Henning , BURGER, Jochen , GRUPP, Günter , RUCK, Otto , AUBELE, Eugen , BERNHARDT, Ralf
发明人： SCHON, Henning , BURGER, Jochen , GRUPP, Günter , RUCK, Otto , AUBELE, Eugen , BERNHARDT, Ralf
IPC分类号： G01B5/008 , G01B21/04
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer Koordinatenmessmaschine (11) oder einer Werkzeugmaschine, wobei eine Bewegung eines Maschinenteils (41) derart gesteuert wird, dass bei der Bewegung des Maschinenteils (41) eine vorgegebene maximale Beschleunigung und/oder ein vorgegebener maximaler Ruck (P) nicht überschritten wird, wobei die maximale Beschleunigung und/oder der maximale Ruck abhängig von der Position des Maschinenteils (41) und/oder abhängig von der Ausrichtung des Maschinenteils variiert.

17. 发明申请

WO2010089093A1 TASTKOPFSYSTEM FÜR EIN KOORDINATENMESSGERÄT 审中-公开
标题翻译：探测系统，用于坐标测量装置
公开(公告)号：WO2010089093A1
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：PCT/EP2010/000653
申请日：2010-02-03
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , RUCK, Otto
发明人： RUCK, Otto
IPC分类号： G01B5/012
CPC分类号： G01B5/012
摘要： Ein Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt besitzt einen Gestellaufbau, an dem ein Tastkopf (26) angeordnet ist. Der Tastkopf (26) besitzt eine Tastkopfsensorik und weist einen Rumpfteil (38) sowie ein relativ zum Rumpfteil (38) bewegliches Kupplungsteil auf. Der Gestellaufbau ist dazu ausgebildet, den Tastkopf (26) relativ zu dem Messobjekt zu verfahren. Das Tastwerkzeug besitzt mindestens einen Taststift zum Antasten des Messobjekts und besitzt weiter einen Drehteller (74). Durch den Drehteller (74) ist der Taststift drehbar an dem Kupplungsteil angekoppelt. Am Rumpfteil (38) ist mindestens ein Abrollvorsprung (68) ausgebildet. An diesem Abrollvorsprung (68) kann der Drehteller (74) durch eine Bewegung des Kupplungsteils abgerollt werden.
摘要翻译：用于在测量对象确定空间坐标的坐标测量机具有到其上的探针（26）被布置在框架结构。探针（26）具有一个Tastkopfsensorik和具有主体部分（38）和一个相对于所述主体部分（38）可动联接部件。帧结构适于移动所述探针（26）相对于测量对象。触摸工具具有用于探测所述DUT，并且还具有一个转盘（74）的至少一个触针。由转盘（74）可旋转地联接到所述触针的连接部。本体部（38）的至少一个Abrollvorsprung（68）形成。在此Abrollvorsprung（68）可以被展开，转盘（74）通过连接部件的运动。

18. 发明申请

WO2009052901A1 VERFAHREN ZUM KORRIGIEREN DER MESSWERTE EINES KOORDINATENMESSGERÄTS UND KOORDINATENMESSGERÄT 审中-公开
标题翻译：法修正的价值坐标仪表和坐标测量仪
公开(公告)号：WO2009052901A1
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：PCT/EP2008/007474
申请日：2008-09-11
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , HELD, Tobias
发明人： HELD, Tobias
IPC分类号： G01B21/04
CPC分类号： G01B21/042
摘要： Ein Verfahren dient zum Korrigieren von Messwerten eines Koordinatenmessgeräts, das einen Tastkopf (6), einen Kalibrierkörper, sowie eine Vorrichtung (10, 30) zum Aufnehmen und zum Korrigieren von vom Tastkopf (6) aufgenommenen Messwerten (x i , y i , z i ) in Abhängigkeit von vorab ermittelten Verformungsparametern von Elementen des Koordinatenmessgeräts aufweist. Es umfasst die Schritte: a) Ermitteln der mechanischen Nachgiebigkeit an vorbestimmten Punkten (28) der Oberfläche (26) des Kalibrierkörpers; b) Abspeichern der ermittelten Nachgiebigkeit in Form eines Datensatzes (N) in der Vorrichtung; c) Punktweises Abtasten des Kalibrierkörpers mittels des Tastkopfes (6); und d) Kalibrieren des Tastkopfes (6) durch Korrigieren der in Schritt c) ermittelten Messwerte des Tastkopfes (6) mit dem Datensatz (N). Das Verfahren kann analog auch an Werkstücken mit bekannter Nachgiebigkeit eingesetzt werden. Ferner wird ein zur Durchführung dieser Verfahren geeignetes Koordinatenmessgerät vorgeschlagen.
摘要翻译：使用的一种方法来校正测得的具有探针头（6），一个校准机构，以及用于接收和用于校正探针（6）的装置（10，30）中的依赖记录的测量值（XI，苡仁，ZI）坐标测量机的值包括坐标测量机的元件的预先确定的变形参数。它包括以下步骤：a）确定在校准元件的表面（26）的预定点（28）的机械顺从性; b）存储在该设备中的数据记录（N）的形式确定的合规性; c）该探针头的装置中的校准的点扫描（6）; 以及d）通过与所述数据记录（N）校正，在步骤c所检测到的）的探针（6）的测量值校准所述探针（6）。该方法可类似地与公知的合规性的工件被使用。此外，用于执行这些方法的合适的坐标测量机，提出了。

19. 发明申请

WO2008113511A1 VORBEREITEN EINES MESSBETRIEBES EINES KOORDINATENMESSGERÄTS 审中-公开
标题翻译：准备进行坐标仪的测量操作
公开(公告)号：WO2008113511A1
公开(公告)日：2008-09-25
申请号：PCT/EP2008/002024
申请日：2008-03-11
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , STUMPP, Ernst , RUCK, Otto , HITZLER, Stefan , ENDERLE, Eckhard , SCHÄFFAUER, Kai
发明人： STUMPP, Ernst , RUCK, Otto , HITZLER, Stefan , ENDERLE, Eckhard , SCHÄFFAUER, Kai
IPC分类号： B23Q3/155 , G01B21/04
CPC分类号： B23Q3/155 , G01B21/047
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Identifizierung eines Messobjekts (17) für eine Vermessung durch ein Koordinatenmessgerät (1 ) oder zur Identifizierung eines Halters (15) zum Halten zumindest eines Mess-Sensors (7) für ein Koordinatenmessgerät (1 ), insbesondere eines Tasters für ein tastendes Koordinatenmessgerät, wobei das Koordinatenmessgerät (1 ) einen Identifizierungskörper (19), der zusätzlich zu dem Messobjekt (17) vorhanden ist, oder einen Teil (19) des Halters (15) abtastet und aufgrund der Abtastung Abtastsignale erzeugt, die a) einer Form, b) einer Orientierung in Bezug auf andere Teile des Identifizierungskörpers oder des Halters und/oder c) einer Position in Bezug auf andere Teile des Identifizierungskörpers oder des Halters entsprechen. Die Abtastsignale und/oder daraus gewonnene Informationen einerseits sowie vorgegebene Informationen andererseits werden dazu verwendet, das Messobjekt (17) oder den Halter (15) zu identifizieren.
摘要翻译：本发明涉及一种由一坐标测量机（1）识别测量对象（17），用于测量的或用于识别保持器（15），用于保持至少一个测量传感器的方法（7），用于坐标测量机（1），特别是用于一个按钮暂定坐标测量机，该坐标测量机（1）的标识体（19）中，除了测量对象（17）存在时，或该保持器（15）感测的一个部分（19），并产生由于采样选通脉冲信号，其a）一个形式，b））的对应的取向相对于所述标识主体或夹持器和/或相对于该识别体或支架的其它元件C的位置的其他部分。的扫描信号和/或从其上一方面获得的，并且预定的其它信息的信息被用于识别测试对象（17）或所述保持器（15）。

20. 发明申请

WO2008006552A1 FLÜSSIGKEITSGEKÜHLTES TARGET ZUR ERZEUGUNG VON ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG 审中-公开
标题翻译：液体冷却的目标产生电磁辐射
公开(公告)号：WO2008006552A1
公开(公告)日：2008-01-17
申请号：PCT/EP2007/006120
申请日：2007-07-10
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , ERLER, Marco
发明人： ERLER, Marco
IPC分类号： H01J35/08 , H01J35/10 , H01J35/12
CPC分类号： H01J35/08 , H01J35/10 , H01J35/12 , H01J2235/1204 , H01J2235/1262 , H01J2235/1291
摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung (31) zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Röntgenstrahlung oder extremer Ultraviolett-Strahlung, mit einem Target (5), in dem beim Betrieb der Anordnung durch auftreffende Teilchen die Strahlung erzeugt wird, einer Basis (7), wobei die Basis (7) an einer ersten Seite der Basis mit dem Target (5) verbunden ist, einer Leitung für Kühlflüssigkeit, um beim Betrieb der Anordnung das Target (5) zu kühlen, wobei die Leitung einen Basis-Leitungsabschnitt aufweist, der sich entlang einer der ersten Seite der Basis (7) gegenüberliegenden zweiten Seite der Basis (7) erstreckt.
摘要翻译：本发明通过撞击粒子涉及用于产生电磁辐射，尤其是X射线或极紫外辐射，与目标（5），其中由所述装置的操作所产生的辐射的装置（31），底座（7），其中，所述基部（7）在基座的第一侧到所述目标（5）被连接到一导管，用于冷却液体以冷却所述目标（5）的装置的操作过程中，具有基线部分的导管延伸沿着所述基部（7）的底座（7）的所述第二侧相对的第一侧中的一个。

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