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1. 发明申请

WO2022137719A1 光パルス生成装置及び光パルス生成方法审中-公开
公开(公告)号：WO2022137719A1
公开(公告)日：2022-06-30
申请号：PCT/JP2021/036806
申请日：2021-10-05
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：高橋　考二
IPC分类号： G02F1/01 , H01S3/106
摘要：光パルス生成装置は、モード同期型の光共振器と、光源と、波形制御部とを備える。光共振器は、光増幅媒質を含み、レーザ光を生成及び増幅して出力する。光源は、光共振器と光学的に結合され、光増幅媒質に励起光を与える。波形制御部は、光共振器内に配置され、所定期間内にレーザ光の時間波形を制御して、レーザ光を光共振器の周期内にある二つ以上の光パルスを含む光パルス列に変換する。光共振器は、所定期間ののちに光パルス列を増幅してレーザ光として出力する。

2. 发明申请

WO2021255641A1 TUNABLE WAVELENGTH GAIN CHIP ARRAY FOR SENSING AND COMMUNICATION 审中-公开
公开(公告)号：WO2021255641A1
公开(公告)日：2021-12-23
申请号：PCT/IB2021/055269
申请日：2021-06-15
申请人： KING ABDULLAH UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人： OOI, Boon S. , ALKHAZRAGI, Omar , NG, Tien Khee
IPC分类号： H01S5/14 , H01S5/183 , H01S5/40 , H01S5/42 , H01L33/10 , H01S3/105 , H01S3/106 , H01S5/02251 , H01S5/042 , H01S5/50 , G02B6/4206 , G02B6/4214 , H01L27/153 , H01L33/0045 , H01S3/1053 , H01S5/04257 , H01S5/141 , H01S5/146 , H01S5/18311 , H01S5/18341 , H01S5/18347 , H01S5/18361 , H01S5/18394 , H01S5/4012 , H01S5/4087 , H01S5/423
摘要： An array (700) of surface-emitting gain chips includes a common substrate (110), plural gain chips (100, 300, 500) formed on the common substrate (110), each configured to generate a light beam (102), plural optical couplers (410), each located on a top surface of a corresponding gain chip (100, 300, 500) of the plural gain chips (100, 300, 500), plural optical fibers (420), each connected with one end to a corresponding optical coupler (410) of the plurality of optical couplers (410), an array wide optical coupler (710) connected to another end of the plural optical fibers (420), and a single optical fiber (720) connected to the array wide optical coupler (710) and configured to output the combined light beams (102).

3. 发明申请

WO2021209602A1 HOCHLEISTUNGS-FASERLASERANORDNUNG MIT PHASENSTEUERBARER EMISSION 审中-公开
公开(公告)号：WO2021209602A1
公开(公告)日：2021-10-21
申请号：PCT/EP2021/059912
申请日：2021-04-16
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. , KARLSRUHER INSTITUT FÜR TECHNOLOGIE
发明人： EICHHORN, Marc , KIELECK, Christelle
IPC分类号： H01S3/067 , H01S3/23 , H01S3/10 , H01S3/06 , H01S3/13 , H01S3/094 , H01S3/106 , H01S3/131 , H01S3/139
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Faserlaseranordnung mit einem Referenzlaserstrahl und wenigstens einer optischen Faser (3), die als aktive Faser ausgebildet ist oder wenigstens einen aktiven Faserabschnitt aufweist und in der vom Referenzlaserstrahl oder von einer der optischen Faser (3) vorgeschalteten Verstärkeranordnung eingekoppelte Laserstrahlung (11) durch optisches Pumpen mit einer Pumplaseranordnung (6) verstärkt werden kann. Die optische Faser (3) oder der aktive Faserabschnitt oder mindestens ein Teil des aktiven Faserabschnitts ist bei der vorgeschlagenen Faserlaseranordnung in einem Resonator angeordnet, der auf der Einkoppelseite einen vorzugsweise höher reflektierenden Spiegel als auf der Auskoppelseite aufweist. Die Laserstrahlung kann vor der Einkopplung in die optische Faser (3) über eine optische Einrichtung (7) geführt werden, die eine Rückkopplung der Laserstrahlung (11) in die vorgeschaltete Verstärkeranordnung oder den Referenzlaserstrahl verhindert. Mit der vorgeschlagenen Faserlaseranordnung lassen sich höhere Laserleistungen ohne thermische Modeninstabilitäten erzielen.

4. 发明申请

WO2021205177A1 APPARATUS AND METHOD FOR STERILISATION OF PATHOGENS 审中-公开
公开(公告)号：WO2021205177A1
公开(公告)日：2021-10-14
申请号：PCT/GB2021/050867
申请日：2021-04-08
申请人： M SQUARED LASERS LIMITED
发明人： MALCOLM, Graeme Peter Alexander , MAKER, Gareth Thomas , HEMPLER, Nils
IPC分类号： A61L2/00 , A61L9/00 , G02F1/35 , H01S3/10 , H01S5/14 , A61L2/18 , A61L2/22 , A61L2/24 , A61P17/02 , A61P31/04 , C12N7/00 , H01S3/106
摘要： A laser system and method for generating a continuous-wave, tuneable optical output field having a wavelength between 200 nm and 300 nm is disclosed. The laser system comprising: a continuous-wave, narrow-linewidth, tuneable optical field source employed to generate a first output field. The first output field is arranged to propagate thorough the first enhancement cavity frequency double to generate a first frequency doubled output field. The first frequency doubled output field is then arranged to propagate thorough a second enhancement cavity frequency double to generate a second frequency doubled output field which acts as an output field for the laser system. The laser system thus provides a frequency-agile, high power and spectrally pure light source across the UVC the region of the electromagnetic spectrum which makes it a flexible and efficient source for the sterilisation or decontamination of pathogens.

5. 发明申请

WO2020187405A1 VERFAHREN ZUM JUSTIEREN EINES LASERSTRAHLS, VORRICHTUNG ZUM BEREITSTELLEN EINES JUSTIERTEN LASERSTRAHLS UND OPTISCHE ANORDNUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2020187405A1
公开(公告)日：2020-09-24
申请号：PCT/EP2019/056929
申请日：2019-03-20
申请人： TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING GMBH
发明人： MÜLLER, Jonathan
IPC分类号： H01S3/00 , H01S3/101 , H01S3/106 , B23K26/06 , H01S3/223 , H01S3/16
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Justieren eines Laserstrahls (1), umfassend: Vermessen eines Strahlprofils des Laserstrahls (1) nach dem Durchlaufen einer strahlformenden Einrichtung (4) mittels mindestens eines bevorzugt ortsauflösenden Detektors (6a) einer Detektoreinrichtung (6), Ermitteln einer Strahlqualitätseigenschaft (D) des Laserstrahls (1) anhand des vermessenen Strahlprofils, sowie Verstellen eine einstellbaren Optik (5) zum Verändern mindestens einer Eigenschaft des Laserstrahls (1) vor dem Eintreten in die strahlformende Einrichtung (4), wobei zum Justieren des Laserstrahls (1) die einstellbare Optik (5) in Abhängigkeit von der ermittelten Strahlqualitätseigenschaft (D) insbesondere mehrmals verstellt wird, bevorzugt bis die Strahlqualitätseigenschaft (D) einen vorgegebenen Wert (Ds) erreicht. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung (3a) zur Bereitstellung eines justierten Laserstrahls (1) sowie eine EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung.

6. 发明申请

WO2019238417A1 OPTISCHE BAUGRUPPE ZUR VERRINGERUNG EINER SPEKTRALEN BANDBREITE EINES AUSGABESTRAHLS EINES LASERS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019238417A1
公开(公告)日：2019-12-19
申请号：PCT/EP2019/063857
申请日：2019-05-28
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： KRAUS, Johannes , GLÖCKL, Oliver , DEUBEL, Markus
IPC分类号： H01S3/08 , H01S3/1055 , H01S3/106 , G03F7/20 , H01S3/225 , H01S3/081
摘要： Eine optische Baugruppe (5) dient zur Verringerung einer spektralen Bandbreite eines Ausgabestrahls (3) eines Lasers (1). Die Baugruppe (5) hat eine innerhalb eines Laserresonators angeordnete Strahlaufweitungsoptik (6). Letztere dient zur Vergrößerung eines Strahlquerschnitts (Q ) eines resonatorinternen Laserstrahls (7) in mindestens einer Aufweit-Querschnittsdimension, so dass mindestens ein resonatorinterner Aufweit-Laserstrahlabschnitt (9) resultiert. Die Baugruppe hat weiterhin ein optisches Gitter (8) in einer für den resonatorinternen Laserstrahl (7) retrore-10 flektierenden Anordnung. Eine in der Aufweit-Querschnittsdimension wirkende Strahlbegrenzungsblende (10) ist im Strahlengang des Aufweit-Laserstrahlabschnitts (9) angeordnet. Es resultiert eine optische Baugruppe, bei der unerwünschte thermische Effekte aufgrund einer Erwärmung optischer Komponenten der optischen Baugruppe im Laserbetrieb aufgrund 1 einer lokalen Leistungsdichte des resonatorinternen Laserstrahls verringert oder vermieden sind.

7. 发明申请

WO2019089531A1 BRILLOUIN IMAGING DEVICES, AND SYSTEMS AND METHODS EMPLOYING SUCH DEVICES 审中-公开
公开(公告)号：WO2019089531A1
公开(公告)日：2019-05-09
申请号：PCT/US2018/058130
申请日：2018-10-30
申请人： UNIVERSITY OF MARYLAND, COLLEGE PARK
发明人： SCARCELLI, Giuliano , ZHANG, Jitao , NIKOLIC, Milos
IPC分类号： H01S3/00 , H01S3/10 , H01S3/30 , H01S3/106 , H01S3/108
摘要： A Brillouin modality can be supplemented by an auxiliary modality, such as an optical imaging modality or a spectroscopy modality. In some embodiments, the auxiliary modality can be used to guide the Brillouin measurement to a desired region of interest, so that acquisition times for the Brillouin measurement can be reduced as compared to interrogating the entire sample. The auxiliary modality may have an acquisition speed faster than that of the Brillouin modality. In some embodiment, the auxiliary modality determines a composition of materials within a voxel in the sample interrogated by the Brillouin modality. Using the information provided by the auxiliary modality, the Brillouin signatures corresponding to the materials within the voxel can be unmixed, thereby providing a more accurate measurement of the sample.

8. 发明申请

WO2018208887A1 EXTERNAL OPTICAL FEEDBACK ELEMENT FOR TUNING A MULTI-WAVELENGHT GAS LASER 审中-公开
公开(公告)号：WO2018208887A1
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：PCT/US2018/031758
申请日：2018-05-09
申请人： NOVANTA CORPORATION
发明人： LIMANOVIC, Jacob , BETHEL, Jason , WHEELER, Ross , KOLSCH, Patrick
IPC分类号： H01S3/082 , H01S3/137 , H01S3/081 , H01S3/1055 , H01S3/106 , H01S3/223
摘要： An external optical feedback element (108) for tuning an output beam of a gas laser (102) having multiple wavelengths includes a partially reflective optical element (108) positioned on a beam path of the output beam (106) outside of an internal optical cavity of the gas laser (102), and a stage (114) to support the optical element and adjust rotation, horizontal tilt angle, and vertical tilt angle of the optical element with respect to the beam path. The output beam (106) is partially reflected at the optical element (108) and fed back into the internal optical cavity of the gas laser (102), with the intensity varying for multiple wavelengths and adjusted by changing rotation, horizontal tilt angle and vertical tilt angle of the optical element. Thereby, a variable feedback of the output beam into the internal optical cavity of the gas laser is provided, which leads to a selective output wavelength of the gas laser, either at a single line or at multiple lines simultaneously. This setup may allow to control the wavelength of a commercial CO2 gas laser without a modification of the laser itself by adding a coupled cavity with a wavelength selective element like a grating to the given gas laser resonator.

9. 发明申请

WO2018075248A1 CONTROL OF A SPECTRAL FEATURE OF A PULSED LIGHT BEAM 审中-公开
标题翻译：脉冲光束的光谱特性控制
公开(公告)号：WO2018075248A1
公开(公告)日：2018-04-26
申请号：PCT/US2017/055182
申请日：2017-10-04
申请人： CYMER, LLC
发明人： CONLEY, Willard Earl , MASON, Eric Anders , THORNES, Joshua Jon
IPC分类号： H01S3/136 , H01S3/11 , H01S3/00 , H01S3/08 , H01S3/106 , H01L21/3065 , H01L21/66 , G03F7/20
CPC分类号： H01S3/136 , G03F7/70041 , G03F7/70141 , G03F7/70191 , G03F7/70575 , G03F7/7085 , H01L21/3065 , H01L22/20 , H01S3/0071 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/10046 , H01S3/106 , H01S3/11 , H01S3/137 , H01S3/225 , H01S3/2366
摘要： A spectral feature of a pulsed light beam produced by an optical source is controlled by a method. The method includes producing a pulsed light beam at a pulse repetition rate; directing the pulsed light beam toward a substrate received in a lithography exposure apparatus to expose the substrate to the pulsed light beam; modifying a pulse repetition rate of the pulsed light beam as it is exposing the substrate. The method includes determining an amount of adjustment to a spectral feature of the pulsed light beam, the adjustment amount compensating for a variation in the spectral feature of the pulsed light beam that correlates to the modification of the pulse repetition rate of the pulsed light beam. The method includes changing the spectral feature of the poised light beam by the determined adjustment amount as the substrate is exposed to thereby compensate for the variation in the spectral feature.
摘要翻译：由光源产生的脉冲光束的光谱特征由方法控制。该方法包括以脉冲重复率产生脉冲光束; 朝向在光刻曝光设备中接收的衬底引导脉冲光束以将衬底暴露于脉冲光束; 修改脉冲光束在曝光衬底时的脉冲重复率。该方法包括确定对脉冲光束的光谱特征的调整量，该调整量补偿与脉冲光束的脉冲重复率的修改相关的脉冲光束的光谱特征的变化。该方法包括在曝光衬底时将稳定光束的光谱特征改变确定的调整量，从而补偿光谱特征的变化。

10. 发明申请

WO2018073634A1 LASER SOURCE AND METHOD OF MANUFACTURING SUCH 审中-公开
标题翻译：激光源及其制造方法
公开(公告)号：WO2018073634A1
公开(公告)日：2018-04-26
申请号：PCT/IB2017/000763
申请日：2017-05-05
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
发明人： DHILLON, Sukhdeep , NONG, Hanond , WANG, Feihu , FOBBE, Tobias , JUKAM, Nathan
IPC分类号： H01S5/0625 , H01S5/14 , H01S3/106 , H01S3/08 , H01S5/10 , H01S3/11 , H01S5/065
摘要： According to a first aspect, the present disclosure relates to a laser source for emitting radiation in a given emission spectral band, centered on a given emission angular frequency (ω), said the central emission angular frequency. The laser source comprises a laser cavity comprising a gain section having a known frequency dependent Group Delay Dispersion (the "Gain GDD"), and a GTI mirror arranged at one end of the gain section, having a known frequency dependent Group Delay Dispersion (the "GTI GDD"). The gain section and the GTI mirror are formed into a same laser medium, said laser medium having a known frequency dependent Group Delay Dispersion (the "Material GDD"), and the gain section and the GTI mirror are separated by a gap of predetermined width filled with a dielectric medium thus forming a two parts laser cavity. Further, the GTI GDD at least partly compensates the sum of the Gain GDD and the material GDD in said emission spectral band.
摘要翻译：根据第一方面，本公开涉及用于以给定发射角频率（ω）为中心发射给定发射光谱带中的辐射的激光源，所述中心发射角频率是中心发射角频率。激光源包括激光腔，激光腔包括具有已知的与频率有关的群延迟色散（“增益GDD”）的增益部分和设置在增益部分的一端的GTI镜，具有已知的与频率有关的群延迟色散（ “GTI GDD”）。增益部分和GTI反射镜被形成为相同的激光介质，所述激光介质具有已知的与频率有关的群延迟色散（“材料GDD”），并且增益部分和GTI反射镜被预定的间隙宽度填充电介质，从而形成两部分激光腔。此外，GTI GDD至少部分地补偿了所述发射光谱带中的增益GDD和材料GDD的总和。

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