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    • 2. 发明申请
    • DISPOSITIF DE PALPAGE ETANCHE D'UNE SURFACE
    • 用于密封表面感测的装置
    • WO2017012939A1
    • 2017-01-26
    • PCT/EP2016/066606
    • 2016-07-13
    • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
    • BONINO, OlivierDISDIER, Florian
    • C30B13/28C30B15/24C30B29/06C30B35/00C30B11/00
    • C30B35/00C30B11/006C30B15/24C30B29/06
    • Dispositif de palpage étanche d'une surface disposée dans une enceinte sous atmosphère contrôlée, comportant un bâti, au moins une canne de palpage (14) d'axe longitudinal (X) munie d'une extrémité destinée à venir en contact avec la surface et apte à se déplacer le long de l'axe longitudinal (X), un soufflet de connexion (16) à l'enceinte, et des moyens de détection de la position de la canne de palpage. Le soufflet (16) comporteune première extrémité (16.1) fixée de manière étanche à une paroi de l'enceinte et une deuxième extrémité (16.2) fixée de manière étanche à la canne de palpage (14) de sorte que, lorsque le dispositif de montage est fixé sur l'enceinte, la première extrémité de la canne de palpage (14) est disposée dans l'enceinte et peut être rapprochée ou éloignée de ladite surface (F) le long de son axe longitudinal (X).
    • 用于密封地感测位于受控气氛下的腔室内的表面的装置,包括支撑结构,至少一个纵向轴线(X)的感测杆(14),其具有旨在与表面接触的端部,并且能够 沿着纵轴(X)移动,用于连接到室的连接器(16)以及检测感测杆的位置的装置。 所述护具(16)包括以密封方式固定到所述腔室壁的第一端(16.1)和以密封方式固定到所述感测杆(14)的第二端(16.2),使得当所述安装装置固定时 在腔室中,感测杆(14)的第一端定位在腔室的内部,并且可沿其纵向轴线(X)更靠近或远离所述表面(F)。
    • 9. 发明申请
    • 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
    • 使用单晶硅钮的聚硅氧烷制造设备
    • WO2014189160A1
    • 2014-11-27
    • PCT/KR2013/004524
    • 2013-05-23
    • 한국에너지기술연구원
    • 이진석안영수장보윤김준수
    • C30B15/24C30B29/06
    • C30B11/005C30B11/002C30B29/06
    • 본 발명은 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치에 관한 것으로서, 진공 분위기를 유지하는 진공챔버, 상기 진공챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 전자빔조사부, 입자형태의 실리콘원료가 투입되며, 상기 전자빔조사부로부터 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되어 전자빔에 의해 실리콘원료가 용융되어 실리콘용탕이 만들어지는 실리콘용융부, 하부에 냉각채널이 형성되어 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 실리콘용탕을 응고시키는 일방향응고부 및 상기 일방향응고부 내부에 구비되며 별도로 제조되어 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 실리콘용탕을 상기 일방향응고부 하부로 이송시키는 단결정 실리콘버튼 및 상기 단결정 실리콘버튼 하면에 접합되며 상기 단결정 실리콘버튼이 이동되도록 하는 흑연더미바를 을 포함하는 스타트블럭을 포함한다.
    • 本发明涉及使用单晶硅按钮的多晶硅制造装置,包括:真空室,用于保持真空气氛; 电子束照射部,配置在真空室内,用于照射电子束; 硅熔融部分,其布置在电子束被电子束照射部分照射的区域中,并且以颗粒形式插入硅原料,硅材料被电子熔化 从而产生硅熔体; 单向凝结部,其下部具有冷却通道,使从所述硅熔融部供给的硅熔体凝结; 以及开始块,其中,所述起始块包括:单晶硅按钮,其单独制造并且装配在所述单向凝结部内,以将从所述硅熔融部供给的硅熔体输送到所述单向凝结部的下部; 以及粘结到单晶硅按钮的下表面以使单晶硅按钮移动的石墨虚拟棒。