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1. 发明申请

WO2014050586A1 ミラー駆動装置及びその駆動方法审中-公开
标题翻译：镜子驱动装置及其驱动方法
公开(公告)号：WO2014050586A1
公开(公告)日：2014-04-03
申请号：PCT/JP2013/074648
申请日：2013-09-12
申请人：富士フイルム株式会社
发明人：直野　崇幸
IPC分类号： G02B26/10 , B81B3/00 , G02B26/08 , H01L41/09 , H01L41/187
CPC分类号： G02B26/0858 , G01L1/16 , G01L1/162 , G01L1/18 , G02B26/105 , H01L41/0953 , H01L41/1875 , H01L41/1876
摘要：　ミラー駆動装置を提供する。ミラー部を挟んで両側に一対の圧電アクチュエータ部が配置され、ミラー部の端部に連結部を介して圧電アクチュエータ部が接続される。連結部は、回転軸に垂直な方向を長手方向とする板状部材を１本以上含んだ構造を有し、圧電アクチュエータ部の駆動によって板状部材が厚み方向に撓み変形する板状ヒンジ部として機能する。連結部には、共振振動によるミラー部の回転駆動中に連結部に発生する応力を検出するセンサ部が設けられている。
摘要翻译：提供了镜驱动装置。在本发明中，一对压电致动器部件设置在插入其间的镜部分的两侧，并且压电致动器部件经由镜部件的端部中的连接部分连接。连接部具有包括具有与旋转轴垂直的方向作为其纵向方向的一个或多个板状构件的结构，并且通过驱动压电致动器部件，板状构件在厚度方向上弯曲变形并起作用作为板状铰链部件。连接部设置有传感器部，用于通过共振振荡来检测在反射镜部的旋转驱动期间在连接部发生的应力。

2. 发明申请

WO2011161061A1 APPARATUS AND METHOD FOR ACQUIRING MECHANICAL LOADS ON THRUST ELEMENTS 审中-公开
标题翻译：获取机械载荷的装置和方法
公开(公告)号：WO2011161061A1
公开(公告)日：2011-12-29
申请号：PCT/EP2011/060252
申请日：2011-06-20
申请人： AIRBUS OPERATIONS GMBH , BECKER, Thomas , KLUGE, Martin , SCHNEIDER, Michael , SCHMID, Ulrich , BITTNER, Achim
发明人： BECKER, Thomas , KLUGE, Martin , SCHNEIDER, Michael , SCHMID, Ulrich , BITTNER, Achim
IPC分类号： G01B7/16 , B64C9/00
CPC分类号： G01L1/20 , B64D2045/0085 , G01B7/16 , G01L1/162 , G01M5/0041 , G01M5/0066
摘要： A device for acquiring mechanical loads on mechanically loaded bodies exhibits a resonance-capable micro-bridge structure (16), an alternating voltage source (22) with a variable frequency, an impedance measuring device (18) for acquiring the impedance of the micro-bridge structure (16) and an electronic unit (20) for receiving determined impedance values and changing the frequency of the alternating voltage source (22). By exciting the micro-bridge structure (16) and measuring its impedance, a conclusion can be drawn as to the expansion-dependent resonance frequency, which in return makes it possible to determine the expansion, and hence the mechanical load. Such a device is sufficiently accurate, and largely independent of outside influences.
摘要翻译：一种用于获取机械负载体上的机械载荷的装置，具有可共振的微桥结构（16），具有可变频率的交流电压源（22），阻抗测量装置（18）桥接结构（16）和用于接收确定的阻抗值并改变交流电压源（22）的频率的电子单元（20）。通过激发微桥结构（16）并测量其阻抗，可以得出关于膨胀相关共振频率的结论，作为回报，可以确定膨胀，并因此确定机械载荷。这种装置足够精确，并且在很大程度上独立于外部影响。

3. 发明申请

WO2007035004A1 双音叉型圧電振動素子、及び圧力センサ审中-公开
标题翻译：调谐双压电振荡元件和压力传感器
公开(公告)号：WO2007035004A1
公开(公告)日：2007-03-29
申请号：PCT/JP2006/319629
申请日：2006-09-25
申请人：エプソントヨコム株式会社 , 石井修
发明人：石井修
IPC分类号： G01L9/00 , H01L41/08 , H03H9/19
CPC分类号： G01L1/162 , G01L9/0022 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/21
摘要：並行に配置された二本のアーム部、及び該各アーム部の両端を支持する第１及び第２の支持部を備えた圧電素子と、該各アーム部の表面に形成した励振用電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子であって、感圧素子として圧力センサに組み込むに適した構造を備えたものを提供する。並行して離間配置された二本のアーム部４、及び各アーム部の両端を夫々支持する第１及び第２の支持部５，６を備えた圧電素子３と、各アーム部の表面に形成した励振用電極７と、を備えた双音叉型圧電振動素子であって、第１及び第２の支持部間を環状連設片８により連設することにより、二本のアーム部を環状連設片の内部空間内に配置した。
摘要翻译：一种调谐双叉压电振荡元件，其包括配置有平行布置的两个臂的压电元件和用于支撑每个臂的相对端的第一和第二支撑部分，以及形成在每个臂的表面上的激励电极，适用于将压力传感器作为压敏元件结合的结构。调谐双叉压电振荡元件包括：压电元件（3），其配备有彼此间隔开的平行布置的两个臂（4），以及用于支撑每个臂的相对端部的第一和第二支撑部分（5,6）以及形成在每个臂的表面上的激励电极（7），其中通过环形连接件（8）连接第一和第二支撑部分，两个臂布置在环形连续件的内部空间中。

4. 发明申请

WO02023145A2 HIGH TEMPERATURE PIEZOELECTRIC SENSOR 审中-公开
标题翻译：高温压电传感器
公开(公告)号：WO02023145A2
公开(公告)日：2002-03-21
申请号：PCT/US2001/028463
申请日：2001-09-13
IPC分类号： G01L1/16 , G01L23/10 , G01L23/22 , G01P15/09 , G01L
CPC分类号： G01P15/0907 , G01L1/16 , G01L1/162 , G01L23/10 , G01L23/222
摘要： The present invention provides a sensor that can be operated at high temperatures. The sensor comprises a first electrode, a second electrode, and an aluminum nitride film which lies between the first and second electrode. The sensor can be used to measure pressure, acceleration, or force at high temperatures.
摘要翻译：本发明提供一种可在高温下操作的传感器。传感器包括位于第一和第二电极之间的第一电极，第二电极和氮化铝膜。传感器可用于测量高温下的压力，加速度或力。

5. 发明申请

WO1991013328A1 VIBRATING BEAM TRANSDUCER DRIVE SYSTEM 审中-公开
标题翻译：振动波束传感器驱动系统
公开(公告)号：WO1991013328A1
公开(公告)日：1991-09-05
申请号：PCT/US1991000109
申请日：1991-01-04
申请人： SUNDSTRAND DATA CONTROL, INC.
发明人： SUNDSTRAND DATA CONTROL, INC. , GRLJ, Stephen, F. , CORNELIUS, Craig, J.
IPC分类号： G01L01/10
CPC分类号： G01P15/097 , G01L1/162 , G01P2015/0828
摘要： A drive system (40) for providing different excitation voltages to the separate beams (16, 18) of a multiple beam vibrating transducer (12) is disclosed. In one embodiment of the invention an amplified voltage at the resonant frequency of a master beam (16) is amplified and applied to a secondary beam, to force the secondary beam (18) to vibrate at the resonant frequency and amplitude of the master beam (16) to force the transducer to resonate at the frequency of the master beam (16). Since the transducer (12) vibrates at the resonant frequency of one of the beams, the transducer energy losses to the adjacent mounting structure are reduced. This results in a higher transducer quality factor so that frequency shifts in the resonant frequency can be readily measured as changes in the parameter that the transducer (12) is intended to mionitor.

6. 发明申请

WO1984003998A1 DOUBLING RESONATING BEAM FORCE TRANSDUCER WITH REDUCED LONGITUDINAL PUMPING 审中-公开
标题翻译：具有减少的纵向抽吸的双重共振光束传播器
公开(公告)号：WO1984003998A1
公开(公告)日：1984-10-11
申请号：PCT/US1983000471
申请日：1983-04-01
申请人： EER NISE, Errol, Peter , KISTLER, Walter, Paul
IPC分类号： H01L41/08
CPC分类号： G01P15/097 , G01L1/162
摘要： Double-beam resonators have been proposed for use as a force transducer to measure physical properties such as pressure, weight and acceleration. A problem associated with these transducer is the coupling of energy from the beams (16) to the force transmitting structure (50, 52) because of longitudinal movement of the mounting pads (10, 12) toward and away from each other. Longitudinal movement or "pumping" occurs because the distance between the pads varies as the beam deflects from side to side. A solution is provided by making the boundary conditions of the beams symmetrical or, if the boundary conditions are non symmetric, then by biasing the beams inwardly or outwardly to compensate for the nonsymmetrical boundary conditions. The needed bias is provided in various embodiments by bowing the beams inwardly or outwardly, placing masses on the inner or outer edges of the beams, or tapering the inner or outer edges of the beams so that the width of the beams increases toward their midpoints.
摘要翻译：已经提出双光束谐振器用作力传感器来测量物理特性，例如压力，重量和加速度。与这些换能器相关联的问题是由于安装垫（10,12）朝向和远离彼此的纵向运动而将能量从梁（16）耦合到力传递结构（50,52）。发生纵向移动或“泵送”，因为焊盘之间的距离随着光束从一侧偏转到另一侧而变化。通过使梁的边界条件对称或者如果边界条件不对称，则通过向内或向外偏置梁以补偿非对称边界条件来提供解决方案。在各种实施例中通过向内或向外弯曲梁来提供所需的偏压，将质量放置在梁的内边缘或外边缘上，或者使梁的内边缘或外边缘逐渐变细，使得梁的宽度朝向其中点增加。

7. 发明申请

WO2015138029A1 PASSIVE PRESSURE SENSING 审中-公开
标题翻译：被动压力传感器
公开(公告)号：WO2015138029A1
公开(公告)日：2015-09-17
申请号：PCT/US2014/070964
申请日：2014-12-17
申请人： CHEVRON U.S.A INC.
发明人： MONTOYA, James, Daniel
IPC分类号： G01L7/08 , G01L9/00 , G01L1/16
CPC分类号： G01L9/0022 , G01L1/162 , G01L7/084 , G01L9/008
摘要： A pressure sensor (100) for sensing pressure of a fluid includes a diaphragm flexure (206) and a crystal retaining flexure (208). The diaphragm flexure is designed to exert imparted force on the crystal retaining flexure. The imparted force is proportional to fluid pressure exerted on the diaphragm flexure. The pressure sensor further includes a resonator (210) having a round outer perimeter. A portion of the crystal retaining flexure is positioned between the diaphragm flexure and the resonator. The crystal retaining flexure is designed to exert a load on the resonator. The load results from the imparted force exerted on the crystal retaining flexure by the diaphragm flexure.
摘要翻译：用于感测流体压力的压力传感器（100）包括隔膜挠曲件（206）和晶体保持挠曲件（208）。隔膜弯曲被设计成对晶体保持挠曲施加赋予的力。所施加的力与施加在隔膜挠曲件上的流体压力成比例。压力传感器还包括具有圆形外周边的谐振器（210）。晶体保持挠曲的一部分位于隔膜弯曲部和谐振器之间。晶体保持挠曲设计为在谐振器上施加负载。载荷由施加在通过隔膜挠曲的保持弯曲的晶体上的施加力产生。

8. 发明申请

WO2012164016A3 SENSOR FOR MEASURING PRESSURE AND/OR FORCE 审中-公开
标题翻译：传感器测量压力和/或动力
公开(公告)号：WO2012164016A3
公开(公告)日：2013-06-06
申请号：PCT/EP2012060242
申请日：2012-05-31
申请人： PIEZOCRYST ADVANCED SENSORICS , SCHRICKER ALEXANDER , MAYER ANDREAS , KROEGER DIETMAR
发明人： SCHRICKER ALEXANDER , MAYER ANDREAS , KROEGER DIETMAR
IPC分类号： G01L9/00 , G01L1/16 , G01L1/18 , G01L9/06 , G01L9/08 , G01L15/00
CPC分类号： G01L1/16 , G01L1/162 , G01L9/008 , G01L15/00
摘要： A sensor for measuring pressure and/or force comprises at least one measurement arrangement with at least one piezoelectric measurement element (2) which is subjected to a compression stress for dynamic pressure and/or force measurement, and a diaphragm (3) for introducing the pressure and/or the force to at least the piezoelectric measurement element. In order to specify a further embodiment of a sensor for pressure or force measurement that permits improved capturing of static and dynamic effects, a further measurement arrangement (4, 7) for static pressure and/or force measurement based on another physical measurement principle is proposed for this sensor.
摘要翻译：一种用于中的至少压力和/或力测量传感器包括具有至少一个的测量装置强调在用于动态压力或力测量压电测量元件（2）的压缩，和一膜（3），以启动压力或上的力至少压电测量元件。为了说明，用于压力或力测量传感器，该传感器能够改善静态和动态效果检测的另一实施例，进一步的，基于不同的物理测量原理测量装置（4,7）用于静态压力是这个传感器或。功率测量被建议。

9. 发明申请

WO2013065219A1 複合デバイスとロボットハンド駆動制御装置审中-公开
标题翻译：复合装置和机器人手柄驱动控制装置
公开(公告)号：WO2013065219A1
公开(公告)日：2013-05-10
申请号：PCT/JP2012/005386
申请日：2012-08-28
申请人：株式会社デンソー , 杉浦真紀子 , 樋口祐史
发明人：杉浦　真紀子 , 樋口　祐史
IPC分类号： G01L5/00 , B25J13/08 , B25J15/08 , B25J19/02 , G01B17/00
CPC分类号： B25J9/1612 , B06B1/0674 , B25J13/082 , G01B17/00 , G01L1/16 , G01L1/162 , G01L1/255 , G01L5/226
摘要：　複合デバイスは、厚肉部（１４）と空洞部（１６）と該空洞部（１６）を架橋するメンブレン（１８）とを有する基板（１２）と、下部電極（３２）、圧電体膜（３４）、上部電極（３６）を有する複数の圧電素子（３０）と、を備える。一部の前記圧電素子（３０）は、上部電極（３６）上に形成された突起部（３８）を有し、当該一部の前記圧電素子（３０）は、垂直圧力検出素子（４０）を提供する。複数の前記圧電素子（３０）は、さらに、前記垂直圧力検出素子（４０）とは別の、超音波素子（４２、７４）を有する。該超音波素子（４２、７４）は、水平方向において、少なくとも前記基板（１２）の空洞部（１６）上に設けられている。
摘要翻译：复合装置包括：设置有固定部分（14），凹陷部分（16）和跨越该凹陷部分（16）的膜片（18）的基底（12）。以及设置有下电极（32），压电膜（34）和上电极（36）的多个压电元件（30）。一些压电元件（30）具有形成在上电极（36）上的突起（38）; 这些上述压电元件（30）提供垂直的压力检测元件（40）。多个压电元件（30）还设置有与上述垂直压力检测元件（40）分离的超声波元件（42,44）。超声波元件（42,47）至少在基板（12）的凹部（16）上沿水平方向设置。

10. 发明申请

WO2011114048A2 DÉTECTEUR DE SOLLICITATION MÉCANIQUE 审中-公开
标题翻译：机械应力检测
公开(公告)号：WO2011114048A2
公开(公告)日：2011-09-22
申请号：PCT/FR2011/050507
申请日：2011-03-14
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES , NIKOLOVSKI, Jean-Pierre
发明人： NIKOLOVSKI, Jean-Pierre
IPC分类号： H01L41/113 , G01P15/00
CPC分类号： G01L1/162 , H01L41/0825 , H01L41/1132 , H02N2/18 , H02N2/188 , Y02B10/30
摘要： Ce détecteur comporte un dispositif de commande (140) conçu pour fournir un signal électrique de commande (Vc) en réponse à une sollicitation mécanique, et un transducteur (118, 130), appelé transducteur d'émission, conçu pour convertir le signal électrique de commande (Vc) en un signal de détection. Il comporte en outre un élément piézoélectrique (114), appelé élément piézoélectrique d'alimentation, connecté électriquement au dispositif de commande (140) et conçu pour fournir, lorsque excité mécaniquement, une énergie électrique d'alimentation au dispositif de commande (140), et un dispositif d'excitation mécanique (116) de l'élément piézoélectrique d'alimentation (114) à partir de la sollicitation mécanique.
摘要翻译：
这种去检测器包括控制装置（140）CON＆ccedil; u到提供信号DE电控制（VC）随r的响应E＆agrave; 偏置M E机械，和换能器（118，130），来电德 Dé任务CON＆ccedil的换能器; u到的信号DE电气控制（VC）转换成Dé检测的信号。它还包括一个与eacute; L＆eacute;精神疾病英尺éZO电子电器（114），呼叫＆eacute; ÉL E换货英尺éZOé电力，连接＆eacute; É电至所述控制装置（140）和CON＆ccedil; u到提供，当激发Dé M E caniquement解能量Dé功率电给控制装置（140），并且所述E L E换货PIéZODé供给电的激励装置M E机械（116）（114）＆agrave; 来自偏置M E机械。

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