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    • 9. 发明申请
    • 半導体基板、光電変換デバイス、半導体基板の製造方法、および光電変換デバイスの製造方法
    • 半导体基板,光电转换装置,制造半导体基板的方法和制造光电转换装置的方法
    • WO2010140371A1
    • 2010-12-09
    • PCT/JP2010/003721
    • 2010-06-03
    • 住友化学株式会社独立行政法人産業技術総合研究所秦 雅彦板谷 太郎
    • 秦 雅彦板谷 太郎
    • H01L31/04H01L31/052
    • H01L31/0522H01L27/142H01L31/028H01L31/03046H01L31/0392H01L31/0475H01L31/0543H01L31/0687H01L31/076H01L31/077H01L31/1852Y02E10/52Y02E10/544Y02E10/547Y02E10/548Y02P70/521
    •  シリコンを含むベース基板と、ベース基板上に形成され、ベース基板の表面を露出する開口を有し、結晶成長を阻害する阻害体と、開口の内部に露出されたベース基板の表面に接して、開口の内部に形成された光吸収構造体と、を備え、光吸収構造体は、第1伝導型第1半導体と、第1伝導型第1半導体の上方に形成され、第1伝導型第1半導体と反対の伝導型を有する第2伝導型第1半導体と、第1伝導型第1半導体と第2伝導型第1半導体との間に形成され、第1伝導型第1半導体および第2伝導型第1半導体よりも有効キャリア濃度が低い低キャリア濃度第1半導体とを含む第1半導体と、第2伝導型第1半導体に格子整合または擬格子整合し、第2伝導型第1半導体と反対の伝導型を有する第1伝導型第2半導体と、第1伝導型第2半導体の上方に形成され、第1伝導型第2半導体と反対の伝導型を有する第2伝導型第2半導体と、第1伝導型第2半導体と第2伝導型第2半導体との間に形成され、第1伝導型第2半導体および第2伝導型第2半導体よりも有効キャリア濃度が低い低キャリア濃度第2半導体とを含む第2半導体とを有する半導体基板を提供する。
    • 公开了一种半导体衬底,其具有:含有硅的基底衬底; 形成在基底基板上的抑制元件具有从基体基板的表面露出的开口,抑制晶体生长; 以及光吸收结构,其通过与暴露在开口内部的基底表面接触而形成在开口内部。 光吸收结构具有第一半导体,其包括:第一导电型第一半导体; 第二导电型第一半导体,其形成在第一导电类型的第一半导体之上并且具有与第一导电类型的第一半导体的导电类型相反的导电类型; 以及低载流子浓度的第一半导体,其形成在第一导电型第一半导体与第二导电型第一半导体之间,并且具有比第一导电型第一半导体低的第一导电型第一半导体的有效载流子浓度, 。 光吸收结构还具有第二半导体,其包括:第一导电型第二半导体,其与第二导电型第一半导体晶格匹配或准晶格匹配,并且具有与第二导电类型相反的导电类型 第一半导体; 第二导电类型的第二半导体,其形成在第一导电类型的第二半导体之上并且具有与第一导电类型的第二半导体的导电类型相反的导电类型; 以及低载流子浓度的第二半导体,其形成在第一导电型第二半导体与第二导电型第二半导体之间,并且具有比第一导电型第二半导体低的第二导电类型的第二半导体的有效载流子浓度; 。