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    • 4. 发明申请
    • 半導体装置およびその製造方法
    • 半导体器件及其生产方法
    • WO2016084698A1
    • 2016-06-02
    • PCT/JP2015/082533
    • 2015-11-19
    • シャープ株式会社
    • 鈴木 正彦川島 慎吾今井 元越智 久雄藤田 哲生北川 英樹菊池 哲郎大東 徹
    • H01L29/786H01L21/28H01L21/336H01L21/768
    • H01L27/1225H01L21/28H01L21/445H01L21/768H01L27/1248H01L29/41733H01L29/45H01L29/66969H01L29/7869
    •  半導体装置(200A)は、ゲート電極(3)、酸化物半導体層(5)、ゲート絶縁層(4)およびソース電極(7S)およびドレイン電極(7D)を含む薄膜トランジスタ(201)と、薄膜トランジスタ(201)を覆い、かつ、薄膜トランジスタ(201)のチャネル領域(5c)と接するように配置された層間絶縁層(11)と、層間絶縁層(11)上に配置された透明導電層(19)とを備え、ソースおよびドレイン電極(7)は、それぞれ、銅を含み、ソースおよびドレイン電極(7)と層間絶縁層(11)との間には、銅と銅以外の少なくとも1つの金属元素とを含む銅合金酸化膜(10)が配置されており、層間絶縁層(11)は、銅合金酸化膜(10)を介してドレイン電極(7D)を覆っており、透明導電層(19)は、層間絶縁層(11)に形成されたコンタクトホール(CH1)内で、銅合金酸化膜(10)を介さずに、ドレイン電極(7D)と直接接している。
    • 一种半导体器件(200A),包括:薄膜晶体管(201),包括栅极(3),氧化物半导体层(5),栅极绝缘层(4),源电极(7A)和漏极 电极(7D); 布置成覆盖薄膜晶体管(201)并与薄膜晶体管(201)中的沟道区(5c)接触的层间绝缘层(11); 和布置在层间绝缘层(11)上的透明导电层(19)。 源极和漏极(7)各自包括铜。 包含铜和铜以外的至少一种金属元素的铜合金氧化膜(10)配置在源电极和漏电极(7)与层间绝缘层(11)之间。 层间绝缘层(11)覆盖其间插入有铜合金氧化膜(10)的漏电极(7D)。 透明导电层(19)在层间绝缘层(11)内形成的接触孔(CH1)的内部与漏电极(7D)直接接触,而不会在其间插入铜合金氧化膜(10)。
    • 5. 发明申请
    • 電極対、その作製方法、デバイス用基板及びデバイス
    • 电极对,其制造方法,用于器件的基板和器件
    • WO2015033600A1
    • 2015-03-12
    • PCT/JP2014/056081
    • 2014-03-09
    • 独立行政法人科学技術振興機構
    • 真島 豊寺西 利治武下 宗平
    • H01L29/66B82B3/00B82Y30/00H01L29/06H01L29/417H01Q19/06
    • H01L29/7613B82Y10/00B82Y30/00H01L21/445H01L29/0649H01L29/0665H01L29/127H01L29/41725H01L31/09
    •  デバイスの性能を精度よく発揮させることができる電極対及びその作製方法と、デバイス用基板及びデバイスを提供する。電極対10は、一方の電極10Aと他方の電極12Bとがギャップ17を有して向かい合うように同一面上に設けられており、一方の電極12Aと他方の電極12Bとの向かい合う部分が、互いに近づくにつれてその面から遠ざかるように湾曲している。この電極対10は、初期ギャップを有するように間隔をあけて種電極の対が形成された基板をサンプルとして準備し、サンプルを無電解メッキ液に浸漬する際、一定時間経過すると無電解メッキ液を交換し、その交換回数を調整することにより作製される。その結果、一方の電極12Aと他方の電極12Bとの隙間を一定に保ちながら、対向する面を縦方向に調整することができる。
    • 提供能够准确地提供器件性能的电极对,其制造方法,器件用基板和器件。 一种电极对(10),其中一个电极(10A)和另一个电极(12B)设置在相同的平面上,以便在它们之间具有间隙(17)并面对彼此,并且所述一个电极 12A)和另一个电极(12B)各自弯曲,以便彼此靠近彼此更远离平面。 该电极对(10)通过以下方式制作作为样品的基板,其上形成有一对间隙的基板,以便具有初始间隙,并且当将样品浸入无电镀液中 在经过一段时间后更换化学镀溶液,并调整更换次数。 结果,在一个电极(12A)和另一个电极(12B)之间的间隙保持恒定的同时可以垂直地调整彼此面对的表面。