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1. 发明申请

WO2017014626A1 METHOD FOR POSITIONING AN OPTICAL COMPONENT IN A LIGHT IMAGING DEVICE FOR CATHODOLUMINESCENCE INSPECTION AND APPARATUS ARRANGED FOR APPLYING SAID METHOD 审中-公开
标题翻译：在用于阴极检测的光成像装置中定位光学部件的方法和适用于方法的装置
公开(公告)号：WO2017014626A1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：PCT/NL2016/050516
申请日：2016-07-13
申请人： TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT
发明人： HOOGENBOOM, Jacob Pieter , NARVAEZ, Angela Carolina , WEPPELMAN, Izaak Gerrit Cornelis
IPC分类号： H01J37/22
CPC分类号： H01J37/22 , H01J2237/2808
摘要： The invention provides a method for positioning an optical component in a conjugate plane of a focal plane of a light imaging device,comprising the steps of: a. irradiate a substrate arranged at the focal plane by a charged particle beam having a selected energy to create light detectable by a light detector of the light imaging device; b. arranging the optical component at various positions in or around said conjugate plane and measuring an intensity of the light as a function of the position of said optical component; c. setting the optical component at a fixed position in or near the conjugate plane, said fixed position being determined using the measured dependence of the intensity of the light as a function of the position of said optical component. According to the invention, the steps are repeated using a charged particle beam with an energy lower than the selected energy.
摘要翻译：本发明提供了一种用于将光学部件定位在光成像装置的焦平面的共轭平面中的方法，包括以下步骤：a。通过具有选定能量的带电粒子束照射布置在焦平面处的基底，以产生可由光成像装置的光检测器检测的光; 湾将所述光学部件布置在所述共轭平面内或周围的各个位置处，并根据所述光学部件的位置测量所述光的强度; C。将光学部件设置在共轭平面内或附近的固定位置，所述固定位置使用所测量的光强度的依赖性作为所述光学部件的位置的函数来确定。根据本发明，使用具有低于所选能量的能量的带电粒子束来重复该步骤。

2. 发明申请

WO2014054852A1 전자현미경용 홀더장치 审中-公开
标题翻译：电子显微镜支架装置
公开(公告)号：WO2014054852A1
公开(公告)日：2014-04-10
申请号：PCT/KR2013/007170
申请日：2013-08-08
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 김영운 , 김성대
IPC分类号： H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/26 , H01J2237/2808
摘要： 본 발명은 전자현미경용 홀더장치에 관한 것으로, 전자현미경 내부에서 시편이 전자와 충돌하였을 때 발하는 빛을 최대한의 효율로 집광하며, 전자현미경으로부터 탈부착이 용이하여 여러 전자현미경들에 선택적으로 사용할 수 있는 전자현미경용 홀더장치를 제공하는 것이다. 이를 위해, 본 전자현미경용 홀더장치는 프레임과 상기 프레임에 지지되며 시편의 연부 영역을 지지하는 시편안착부를 갖는 시편지지블럭과, 상기 시편의 상부 및 하부에 각각 배치되어 상기 시편안착부에 안착된 시편에 조사된 전자빔에 의해 방사되는 빛을 소정의 방향으로 반사하는 상부미러와 하부미러를 갖는 미러유니트와, 상기 미러유니트로부터의 빛을 소정의 타깃에 집중시키는 집광렌즈와, 상기 집광렌즈로부터의 빛을 수집하는 광섬유를 갖는다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于电子显微镜的保持装置，并且提供了一种用于电子显微镜的保持装置，其以最大效率有效地收集当样品与电子显微镜内的电子碰撞时发出的光，并且可以容易地附着到或从电子显微镜分离，因此可以选择性地用于各种电子显微镜。为此，用于电子显微镜的保持装置包括：样品支撑块，其包括框架，以及由框架支撑并支撑样品的软区域的样品安装部分; 反射镜单元，包括分别放置在样品的上部和下部的上反射镜和下反射镜，并将照射到安装在样品安装部分上的样品的电子束发射的光反射到预定的方向; 用于将来自反射镜单元的光聚集在预定目标上的聚光透镜; 以及用于收集来自聚光透镜的光的光纤。

3. 发明申请

WO2014042538A1 INTEGRATED OPTICAL AND CHARGED PARTICLE INSPECTION APPARATUS 审中-公开
标题翻译：集成光学和充电颗粒检测装置
公开(公告)号：WO2014042538A1
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：PCT/NL2013/050669
申请日：2013-09-16
申请人： DELMIC B.V.
发明人： HOOGENBOOM, Jacob Pieter , ZONNEVYLLE, Aernout Christiaan , KRUIT, Pieter , NARVÁEZ-GONZÁLEZ, Angela Carolina
IPC分类号： H01J37/22
CPC分类号： H01J37/023 , H01J37/222 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/2482 , H01J2237/2801 , H01J2237/2808
摘要： The present invention relates to a method for mutually aligning a scanning electron microscope SEM and a light microscope LM by creating a change (61) in the detected light signal of the light microscope LM by illuminating a substrate with an electron beam, correlating the position of the electron beam in the coordinate system of the scanning electron microscope SEM to the position of the observed change in the detected light signal in the coordinate system of the light microscope LM, and relatively shifting the scanning electron microscope SEM and the light microscope LM with respect to one another to a desired relative position of the coordinate systems (60, 62).
摘要翻译：本发明涉及通过用电子束照射基板来在光显微镜LM的检测光信号中产生变化（61）来相互对准扫描电子显微镜SEM和光学显微镜LM的方法，扫描电子显微镜SEM的坐标系中的电子束到光显微镜LM的坐标系中检测到的光信号的观察位置的位置，并相对移动扫描电子显微镜SEM和光学显微镜LM，相对于彼此相对于坐标系（60,62）的期望的相对位置。

4. 发明申请

WO2013082252A1 SYSTEM AND METHOD FOR SAMPLE ANALYSIS BY THREE DIMENSIONAL CATHODOLUMINESCENCE 审中-公开
标题翻译：通过三维CATHODOLUMINESCENCE进行样本分析的系统和方法
公开(公告)号：WO2013082252A1
公开(公告)日：2013-06-06
申请号：PCT/US2012/067001
申请日：2012-11-29
申请人： GATAN, INC.
发明人： GALLOWAY, Simon
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/02
CPC分类号： G01N1/06 , G01N2001/068 , H01J37/02 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/024 , H01J2237/206 , H01J2237/208 , H01J2237/2445 , H01J2237/2611 , H01J2237/2808 , H01J2237/31749
摘要： A system is disclosed for obtaining layered cathodoluminescence images of a sample wherein the light collecting equipment is highly efficient and wherein the microtoming or Focused Ion Beam equipment does not interfere with the efficiency of the light collecting equipment and wherein the position of the sample with respect to the light collecting equipment is not disturbed in the microtoming or ion beam milling process. Embodiments are disclosed allowing simultaneous collection of cathodoluminescence images and collection of other electron based imaging signals such as backscattered and secondary electrons.
摘要翻译：公开了一种用于获得样品的层状阴极发光图像的系统，其中所述光收集设备是高效的，并且其中所述切片或聚焦离子束设备不干扰所述光收集设备的效率，并且其中所述样品相对于在切片或离子束研磨过程中，光收集设备不受干扰。公开了实施例，允许阴离子发光图像的同时收集和其他基于电子的成像信号（例如背散射和二次电子）的收集。

5. 发明申请

WO2012093474A1 多光源顕微鏡审中-公开
标题翻译：多光源显微镜
公开(公告)号：WO2012093474A1
公开(公告)日：2012-07-12
申请号：PCT/JP2011/050044
申请日：2011-01-05
申请人：礒部信一郎 , 金丸孝昭 , 高洲信一
发明人：礒部　信一郎 , 金丸　孝昭 , 高洲　信一
IPC分类号： G01N23/225 , G01N21/64 , G01N23/04 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： G02B21/06 , G01N21/6458 , G01N23/2251 , G01N2021/6463 , G01N2021/6484 , G02B21/04 , G02B21/16 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2806 , H01J2237/2807 , H01J2237/2808
摘要：　同一の生体組織試料について、電子像観察だけでなく、蛍光像観察、および透視像観察等を行うことも可能な、複数の観察用光源を備えた多光源顕微鏡を提供する。　本発明の多光源顕微鏡は、光源部を備え蛍光を観察するための光学顕微鏡部と、走査型電子顕微鏡部とからなり、該光学顕微鏡は反射面が非球面型であるカセグレン鏡を有し、該カセグレン鏡が該走査型顕微鏡部の鏡筒内に該走査型電子顕微鏡部の電子ビームの光軸と同軸となるように配置されている。
摘要翻译：本发明提供一种不仅对同一生物组织样品进行电子图像观察，而且能够进行荧光图像观察，荧光透视图像观察等的多光源显微镜，还具备多个观察用光源。公开了这种多光源显微镜，其由以下部分构成：用于观察荧光的光学显微镜单元，设置有光源单元; 以及扫描电子显微镜单元，其中，所述光学显微镜具有带有非球面反射面的卡塞格林镜，并且所述卡塞格朗格镜布置在所述扫描显微镜单元的透镜镜筒中，以与所述扫描显微镜单元的电子束的光轴同轴扫描电子显微镜单元。

6. 发明申请

WO2012008836A3 INSPECTION APPARATUS AND REPLACEABLE DOOR FOR A VACUUM CHAMBER OF SUCH AN INSPECTION APPARATUS AND A METHOD FOR OPERATING AN INSPECTION APPARATUS 审中-公开
标题翻译：这种检查装置的真空室的检查装置和可更换的门以及操作检查装置的方法
公开(公告)号：WO2012008836A3
公开(公告)日：2012-03-01
申请号：PCT/NL2011050513
申请日：2011-07-14
申请人： DELMIC B V , KRUIT PIETER , HOOGENBOOM JACOB PIETER , ZONNEVYLLE AERNOUT CHRISTIAAN
发明人： KRUIT PIETER , HOOGENBOOM JACOB PIETER , ZONNEVYLLE AERNOUT CHRISTIAAN
IPC分类号： H01J37/22 , G01N21/00 , G01N23/225 , H01J37/256 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/22 , G01N21/62 , G01N2021/625 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J37/256 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/204 , H01J2237/2445 , H01J2237/2482 , H01J2237/2808
摘要： An inspection apparatus is provided comprising in combination at least an optical microscope (2, 3, 4) and an ion- or electron microscope (7, 8) equipped with a source (7) for emitting a primary beam (9) of radiation to a sample (10) in a sample holder. The apparatus may comprise a detector (8) for detection of secondary radiation (11) backscattered from the sample and induced by the primary beam. The optical microscope is equipped with an light collecting device (2) to receive in use luminescence light (12) emitted by the sample and to focus it on a photon-detector (4).
摘要翻译：提供一种检查设备，其包括至少一个光学显微镜（2,3,4）和配备有用于将辐射的主光束（9）发射到光源（7）的源（7）的离子或电子显微镜（7,8）样品架中的样品（10）。该设备可以包括检测器（8），用于检测从样本反向散射并由主束引起的次级辐射（11）。光学显微镜配备有光收集装置（2），以接收由使用样品发射的发光光（12）并将其聚焦在光子检测器（4）上。

7. 发明申请

WO2004075209A1 A SAMPLE ENCLOSURE FOR A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND METHODS OF USE THEREOF 审中-公开
标题翻译：扫描电子显微镜的样品外观及其使用方法
公开(公告)号：WO2004075209A1
公开(公告)日：2004-09-02
申请号：PCT/IL2003/001054
申请日：2003-12-10
申请人： QUANTOMIX LTD. , SPRINZAK, David , NECHUSHTAN, Amotz , ZIK, Ory , GILEADI, Opher
发明人： SPRINZAK, David , NECHUSHTAN, Amotz , ZIK, Ory , GILEADI, Opher
IPC分类号： G21K5/00
CPC分类号： H01J37/20 , H01J2237/2003 , H01J2237/28 , H01J2237/2808
摘要： A SEM sample container having a sample enclosure (100, 102) including an electron beam permeable, fluid permeable membrane (132), and a peripheral enclosure sealed to the membrane, and a sample enclosure closure including a quick-connect attachment (152) for sealing engagement with the sample enclosure.
摘要翻译：具有包括电子束可透过的流体可渗透膜（132）的样品外壳（100,102）和密封到所述膜的外围外壳的SEM样品容器以及包括快速连接附件（152）的样品外壳封闭件与样品外壳密封接合。

8. 发明申请

WO2017027922A1 WIDE FIELD ATMOSPHERIC SCANNING ELECTRON MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：宽场大气扫描电子显微镜
公开(公告)号：WO2017027922A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：PCT/AU2016/050757
申请日：2016-08-16
申请人： DANILATOS, Gerasimos Daniel
发明人： DANILATOS, Gerasimos Daniel
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/1474 , H01J37/20 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2803 , H01J2237/2807 , H01J2237/2808 , H01J2237/2811
摘要： Atmospheric scanning electron microscope achieves a wide field of view at low magnifications in a broad range of gaseous pressure, acceleration voltage and image resolution. This is based on the use of a reduced size pressure limiting aperture together with a scanning beam pivot point located at the small aperture at the end of electron optics column. A second aperture is located at the principal plane of the objective lens. Double deflection elements scan and rock the beam at a pivot point first at or near the principal plane of the lens while post-lens deflection means scan and rock the beam at a second pivot point at or near aperture at the end of the optics column. The aperture at the first pivot may act also as beam limiting aperture. In the alternative, with no beam limiting aperture at the principal plane, maximum amount of beam rays passes through the lens and with no post-lens deflection means, the beam is formed (limited) by a very small aperture at or near-and-below the final lens while the aperture skims a shifting portion of the wide beam, which is physically rocked with a pivot on the principal plane but with an apparent pivot point close and above the aperture, all of which result in a wide field of view on the examined specimen.
摘要翻译：大气扫描电子显微镜在气体压力，加速电压和图像分辨率的宽范围内以低放大倍率实现了宽视场。这是基于使用减小尺寸的压力限制孔以及位于电子光学柱端部的小孔处的扫描光束枢转点。第二孔位于物镜的主平面上。双偏转元件在首先在透镜的主平面处或附近的枢轴点处扫描并摇动光束，而后透镜偏转装置在光学柱的端部处的孔处或其附近的第二枢转点处扫描并摇动光束。第一枢轴处的孔径也可以作为光束限制孔径。另一方面，在主平面上没有光束限制孔径，最大量的束射线穿过透镜，并且没有后透镜偏转装置，该光束在非常小的孔径处形成（限制）在最后一个透镜下方，而孔眼瞥见宽光束的移动部分，其在主平面上用枢轴物理摇动，但是具有靠近和高于孔径的明显枢转点，所有这些导致宽视场检查样本。

9. 发明申请

WO2012008836A2 INSPECTION APPARATUS AND REPLACEABLE DOOR FOR A VACUUM CHAMBER OF SUCH AN INSPECTION APPARATUS AND A METHOD FOR OPERATING AN INSPECTION APPARATUS 审中-公开
标题翻译：这种检查装置的真空室的检查装置和可更换的门以及操作检查装置的方法
公开(公告)号：WO2012008836A2
公开(公告)日：2012-01-19
申请号：PCT/NL2011050513
申请日：2011-07-14
申请人： DELMIC B V , KRUIT PIETER , HOOGENBOOM JACOB PIETER , ZONNEVYLLE AERNOUT CHRISTIAAN
发明人： KRUIT PIETER , HOOGENBOOM JACOB PIETER , ZONNEVYLLE AERNOUT CHRISTIAAN
IPC分类号： H01J37/22 , G01N21/00 , G01N23/225 , H01J37/256 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/22 , G01N21/62 , G01N2021/625 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J37/256 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/204 , H01J2237/2445 , H01J2237/2482 , H01J2237/2808
摘要： An inspection apparatus is provided comprising in combination at least an optical microscope and an ion- or electron microscope equipped with a source for emitting a primary beam of radiation to a sample in a sample holder. The apparatus may comprise a detector for detection of secondary radiation backscattered from the sample and induced by the primary beam. The optical microscope is equipped with an light collecting device to receive in use luminescence light emitted by the sample and to focus it on a photon-detector.
摘要翻译：提供一种检查装置，其至少包括光学显微镜和配备有用于向样品保持器中的样品发射主要辐射源的离子或电子显微镜。该装置可以包括检测器，用于检测从样品反向散射并由主光束引起的二次辐射。该光学显微镜配备有一个光收集装置，以便在使用中接收样品发射的发光并将其聚焦在光子检测器上。

10. 发明申请

WO2011148073A1 SYSTEME DE DETECTION DE CATHODOLUMINESCENCE REGLABLE ET MICROSCOPE METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME 审中-公开
标题翻译：可调式阴离子荧光检测系统和使用这种系统的显微镜
公开(公告)号：WO2011148073A1
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：PCT/FR2011/050987
申请日：2011-04-29
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , KOCIAK, Mathieu , ZAGONEL, Luiz Fernando , TENCE, Marcel , MAZZUCCO, Stefano
发明人： KOCIAK, Mathieu , ZAGONEL, Luiz Fernando , TENCE, Marcel , MAZZUCCO, Stefano
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/244 , H01J37/256
CPC分类号： G01N23/2254 , G01N2201/08 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/024 , H01J2237/063 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/2602 , H01J2237/2802 , H01J2237/2808
摘要： Système de détection de cathodoluminescence comprenantune optique de collection (112) collectant un rayonnement lumineux provenant d'un échantillon (éclairé par un faisceau de particules chargées et renvoyant ledit rayonnement lumineux vers des moyens d'analyse, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens (606,614-618) de positionnement de ladite optique de collection (112) sur au moins une dimension.
摘要翻译：阴极发光检测系统，包括收集光学器件（112），用于收集来自由带电粒子束照射的样本的光辐射并将所述光辐射反射到分析装置上，其特征在于，其包括用于定位所述收集物的装置（606,614-618）沿着至少一个维度的光学元件（112）。

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