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    • 5. 发明申请
    • 研磨装置及びそのプログラム
    • 抛光装置和程序
    • WO2008133286A1
    • 2008-11-06
    • PCT/JP2008/057881
    • 2008-04-17
    • 株式会社 荏原製作所中尾秀高井上正文武田晃一
    • 中尾秀高井上正文武田晃一
    • H01L21/304B24B37/04H01L21/02
    • H01L21/67219B24B37/042B24B37/345G05B19/41865G05B2219/32304G05B2219/45232H01L21/02074H01L21/67276Y02P90/20
    • 研磨装置は、複数の研磨対象物を収納したカセット(12)を載置する載置部(14)と、研磨対象物を研磨する第1研磨ライン(20)及び第2研磨ライン(30)と、研磨後の研磨対象物を洗浄する洗浄機(42a,42b,42c,42d)と研磨対象物を搬送する搬送ユニット(44)を有する洗浄ライン(40)と、載置部(14)、研磨ライン(20,30)及び洗浄ライン(40)間で研磨対象物を搬送する搬送機構(50)と、研磨ライン(20,30)、洗浄ライン(40)及び搬送機構(50)を制御する制御部を有する。制御部は、第1及び第2研磨ライン(20,30)における予測研磨時間、搬送機構(50)における予測搬送時間、洗浄ライン(40)における予測洗浄時間、及び洗浄ライン(40)の搬送ユニット(44)を駆動させて洗浄を開始する洗浄開始予測時刻を基に、第1または第2研磨ライン(20,30)の研磨開始時刻を決定する。
    • 抛光装置设置有用于放置其中存储有多个待抛光对象的盒(12)的放置部(14) 用于抛光被检体的第一抛光线(20)和第二抛光线(30) 具有用于洗涤抛光对象的垫圈(42a,42b,42c,42d)的清洗线(40)和用于传送被检体的转印单元(44) 用于将物体转移到放置部分(14),抛光线(20,30)和清洗线(40)的转移机构(50); 以及用于控制抛光线(20,30),清洗线(40)和转印机构(50)的控制部分。 控制部基于第一和第二研磨线(20,30)的预测研磨时间,确定第一研磨线(20)或第二研磨线(30)的研磨开始时间, 转移机构(50),洗涤线(40)的预测洗涤时间和通过驱动洗涤线(40)的转印单元(44)开始洗涤的预测洗涤开始时间。