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1. 发明申请

WO2017105388A1 SUBSTRATE INTEGRATED WAVEGUIDE 审中-公开
标题翻译：基片集成波导
公开(公告)号：WO2017105388A1
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：PCT/US2015/065511
申请日：2015-12-14
申请人： INTEL CORPORATION
发明人： MAY, Robert Alan , DARMAWIKARTA, Kristof , JAIN, Rahul , BOYAPATI, Sri Ranga Sai , MOUSSALLEM, Maroun , MANEPALLI, Rahul N. , PIETAMBARAM, Srinivas
IPC分类号： G02B6/132
CPC分类号： G02B6/122 , G02B6/132 , G02B6/134
摘要： This document discusses, among other things, a waveguide including a first metal having an outer surface proximate a dielectric material and an inner surface defining a path of the waveguide, a method of receiving an optical signal at the inner surface of the waveguide and transmitting the optical signal along at least a portion of the path of the waveguide. A method of integrating a waveguide in a substrate includes depositing sacrificial metal on a first surface of a carrier substrate to form a core of the waveguide, depositing a first metal over the sacrificial metal and at least a portion of the first surface of the carrier substrate, forming an outer surface of the waveguide and a conductor separate from the sacrificial metal, and depositing dielectric material over the first surface of the carrier substrate about the conductor.
摘要翻译：该文献尤其讨论了一种波导，该波导包括第一金属和第二金属，该第一金属具有接近介电材料的外表面和限定波导的路径的内表面，在该接收器处接收光信号的方法所述波导的内表面并且沿着所述波导的所述路径的至少一部分传输所述光信号。一种将波导集成在衬底中的方法包括在载体衬底的第一表面上沉积牺牲金属以形成波导的核心，在牺牲金属上沉积第一金属以及载体衬底的第一表面的至少一部分，形成波导的外表面和与牺牲金属分开的导体，并且在载体衬底的第一表面上围绕导体沉积介电材料。

2. 发明申请

WO2014073296A1 光インターコネクション装置审中-公开
标题翻译：光学互连器件
公开(公告)号：WO2014073296A1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：PCT/JP2013/076922
申请日：2013-10-03
申请人：株式会社ブイ・テクノロジー
发明人：梶山　康一 , 名須川　利通 , 金尾　正康 , 石川　晋
IPC分类号： H01L33/34 , G02B6/122 , G02B6/42 , H01L31/0232
CPC分类号： G02B6/122 , G02B6/134 , G02B2006/12061 , G02B2006/12147 , G02B2006/12169 , H01L31/0232
摘要：　高効率なチップ内光インターコネクションの実現を可能にするために、光インターコネクション装置１は、Ｓｉ半導体基板１０と、Ｓｉ半導体基板１０に形成された光導波路２と、光導波路２の一端部に形成された発光素子３とを備え、発光素子３は、Ｓｉ半導体基板１０における第１半導体層１０ｎに不純物を高濃度ドープして得られる第２半導体層１０ｐに光を照射しながらアニール処理を施すことで得られるｐｎ接合部１０ｐｎを有する。
摘要翻译：为了实现高效率的片上光互连，光互连器件（1）具有：Si半导体衬底（10）; 形成在所述Si半导体衬底（10）上的光波导（2）; 以及形成在所述光波导（2）的一端的发光元件（3）。发光元件（3）设置有通过进行退火而获得的pn连接部（10pn），同时用光照射通过以高浓度的杂质掺杂获得的第二半导体层（10p），第一半导体层（ 10n）。

3. 发明申请

WO2004010180A2 METHOD FOR WRITING A PLANAR WAVEGUIDE HAVING GRATINGS OF DIFFERENT CENTER WAVELENGTHS 审中-公开
标题翻译：用于书写具有不同中心波长的平面波形的方法
公开(公告)号：WO2004010180A2
公开(公告)日：2004-01-29
申请号：PCT/US2003/021124
申请日：2003-07-03
申请人： INTEL CORPORATION (a Delaware Corporation)
发明人： GRUNNET-JEPSEN, Anders , JOHNSON, Alan , SWEETSER, John
IPC分类号： G02B6/12
CPC分类号： G02B6/124 , G02B6/12007 , G02B6/1228 , G02B6/125 , G02B6/132 , G02B6/134 , G02B6/1347 , G02B6/136 , G02B2006/12078 , G02B2006/12176
摘要： Multiple Bragg gratings are fabricated in a single planar lightwave circuit platform. The gratings have nominally identical grating spacing but different center wavelengths, which are produced using controlled photolithographic processes and/or controlled doping to control the effective refractive index of the gratings. The gratings may be spaced closer together than the height of the UV light pattern used to write the gratings.
摘要翻译：在单个平面光波电路平台中制造多个布拉格光栅。光栅具有名义上相同的光栅间距但不同的中心波长，其使用受控光刻工艺和/或受控掺杂产生，以控制光栅的有效折射率。光栅可以比用于写入光栅的UV光图案的高度更靠近在一起。

4. 发明申请

WO2016197030A1 EDGE COUPLER 审中-公开
标题翻译：边缘耦合器
公开(公告)号：WO2016197030A1
公开(公告)日：2016-12-08
申请号：PCT/US2016/035872
申请日：2016-06-03
申请人： CORIANT ADVANCED TECHNOLOGY, LLC
发明人： NOVACK, Ari, Jason , SHI, Ruizhi , HOCHBERG, Michael, J. , BAEHR-JONES, Thomas, Wetteland
IPC分类号： G02B6/30 , G02B6/122 , G02B6/136
CPC分类号： G02B6/305 , G02B6/12002 , G02B6/1223 , G02B6/1228 , G02B6/125 , G02B6/132 , G02B6/134 , G02B6/136 , G02B6/14 , G02B6/2821 , G02B6/29332 , G02B2006/12121 , G02B2006/12123
摘要： A composite optical waveguide is constructed using an array of waveguide cores, in which one core is tapered to a larger dimension, so that all the cores are used as a composite input port, and the one larger core is used as an output port. In addition, transverse couplers can be fabricated in a similar fashion. The waveguide cores are preferably made of SiN. In some cases, a layer of SiN which is provided as an etch stop is used as at least one of the waveguide cores. The waveguide cores can be spaced away from a semiconductor layer so as to minimize loses.
摘要翻译：使用波导芯阵列来构造复合光波导，其中一个核心以更大的尺寸逐渐变细，使得所有的核心被用作复合输入端口，并且一个较大的核心用作输出端口。此外，横向耦合器可以以类似的方式制造。波导芯优选由SiN制成。在一些情况下，作为蚀刻停止层提供的SiN层被用作至少一个波导芯。波导芯可以与半导体层间隔开，以便使损失最小化。

5. 发明申请

WO2015098027A1 光導波路素子、及び、光導波路素子の製造方法审中-公开
标题翻译：光波导元件及制造光波长元件的方法
公开(公告)号：WO2015098027A1
公开(公告)日：2015-07-02
申请号：PCT/JP2014/006211
申请日：2014-12-12
申请人：日本電気株式会社
发明人：高橋　森生
IPC分类号： G02B6/122 , G02B6/134
CPC分类号： G02B6/122 , G02B6/126 , G02B6/134 , G02B6/136 , G02B2006/12061 , G02B2006/12097 , H01S5/021 , H01S5/0261 , H01S5/068 , H01S5/1032 , H01S5/1071 , H01S5/142
摘要：　製造コストを抑制しつつ、主信号光に影響を及ぼす迷光の除去を確実に実行できる光導波路素子及び光導波路素子の製造方法を提供する。　本発明の光導波路素子は、シリコン層と、シリコン層の上下に配置された二酸化ケイ素層と、を備え、シリコン層は、リッジ型光導波路と、リッジ型光導波路から所定の距離以上離れて配置された不純物注入領域と、を含むことを特徴とする。
摘要翻译：本发明提供一种光波导元件和光波导元件的制造方法，其能够在降低制造所述光波导元件的成本的同时，可靠地消除影响主信号光的杂散光。所述光波导元件的特征在于具有位于所述硅层上方和下方的硅层和二氧化硅层。该光波导元件的特征还在于，所述硅层包含脊形波导和与所述脊状波导至少规定距离的杂质注入区域。

6. 发明申请

WO2005031413A1 PLANAR LIGHTWAVE CIRCUIT DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME 审中-公开
标题翻译：平面照明电路装置及其制造方法
公开(公告)号：WO2005031413A1
公开(公告)日：2005-04-07
申请号：PCT/KR2004/001895
申请日：2004-07-27
申请人： LG Cable Ltd. , CHOI, Jung-Ho , RYU, Gi-Han , SHIN, Sang-Gil , PARK, Seung-Bae
发明人： CHOI, Jung-Ho , RYU, Gi-Han , SHIN, Sang-Gil , PARK, Seung-Bae
IPC分类号： G02B6/13
CPC分类号： G02B6/134 , G02B6/30 , G02B2006/12061 , G02B2006/12176 , G02B2006/12185
摘要： A planar lightwave circuit device includes a lower clad layer extended from a substrate surface at a position corresponding to a lightwave circuit pattern to inside, an optical fiber guide groove formed on the substrate surface at a position corresponding to an optical fiber guide groove pattern extended from end of the lightwave circuit pattern, a core layer formed on the lower clad layer in correspondence to the lightwave circuit pattern, and an upper clad layer formed on the core layer. A method for producing the device includes forming a porous structural layer from a planar substrate surface for forming a lightwave circuit pattern to inside, forming a portion of the porous structural layer for patterning the lightwave circuit pattern into a lower clad layer, forming a core layer corresponding to the lightwave circuit pattern on the clad layer, and then forming an upper clad layer on the core layer.
摘要翻译：平面光波电路器件包括从对应于光波电路图形到内部的位置处的衬底表面延伸的下覆盖层，形成在基板表面上的光纤引导槽，该光纤引导槽在对应于从光波电路图案的端部，对应于光波形图案形成在下包层上的芯层和形成在芯层上的上覆层。制造该装置的方法包括从平面基板表面形成多孔结构层，用于将光波形图案形成内部，形成多孔结构层的一部分，以将光波形图案图案化成下包层，形成芯层对应于包覆层上的光波电路图案，然后在芯层上形成上覆层。

7. 发明申请

WO98055890A1 PASSIVE OR AMPLIFYING OPTICAL WAVEGUIDE 审中-公开
标题翻译：被动或增强光纤
公开(公告)号：WO98055890A1
公开(公告)日：1998-12-10
申请号：PCT/DE1998/001519
申请日：1998-06-04
IPC分类号： G02B6/13 , G02B6/134 , C03C27/00
CPC分类号： G02B6/13 , G02B6/134
摘要： The invention relates to a method for producing waveguiding structures in glass objects, to waveguiding structures produced according to said method and to a device for implementing the inventive method. The inventive method comprising waveguiding structure in substrate glasses, wherein structures (3) are produced in the substrate glass (1), the structures (3) are filled with a filling glass (5), unused filling glass (5) is removed and the structured substrate glass (4) is melted to a covering glass (6). The filling glass (5) is filled and removed. The filling glass (5) is placed on top of the substrate glass (1), whereupon a covering glass (6) is placed on the substrate glass (1) at a high temperature and high pressure. The filling glass (5), which is placed on the substrate glass (1), is pressed into the structures (3) and the unused filling glass (5) is removed without any substantial residues. The structures are produced by impregnating the structures (3) into the substrate glass (1) and a high temperature and pressure.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于在通过该方法来制造眼镜制作光导波结构，该光学波导结构以及用于执行该方法的装置。制造光导波结构在基板玻璃，的方法，其中，在基板玻璃（1）的结构（3）产生的结构（3）的填充玻璃（5）被填充时，不需要填充玻璃（5）取代，和图案化的基材玻璃（4）稠合有盖玻璃（6），并通过升高的温度下的Füllglases（5）（1）的盖玻璃（6）的应用和压力到衬底之后施加到基片玻璃被填充的填充玻璃（5）和移位读取玻璃（1）被放置，其被压到基板玻璃（1）施加的填充玻璃（5）在结构（3）和不需要的填充玻璃（5）基本上完全除去。该结构通过在升高的温度和升高的压力下的玻璃基板（1）结构（3）被压印制造。

8. 发明申请

WO2017052467A1 A MODULATOR CIRCUIT AND METHOD OF FORMING THEREOF 审中-公开
标题翻译：调制器电路及其形成方法
公开(公告)号：WO2017052467A1
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：PCT/SG2015/050342
申请日：2015-09-25
申请人： OPTIC2CONNECT (O2C) PTE LTD
发明人： PNG, Ching Eng, Jason
IPC分类号： G02F1/025 , G02B6/134
CPC分类号： G02B6/134 , G02F1/025
摘要： A modulator circuit (100) for electro-optical communication is disclosed, and it comprises a semiconductor substrate (105); a first semiconductor portion (102) doped using a first dopant, and a second semiconductor portion (104) doped using a second dopant which is different to the first dopant, wherein at least the second semiconductor portion is formed on the semiconductor substrate, and at least one portion of the first semiconductor portion is stacked directly to the second semiconductor portion to form a circuit junction; and wherein the first and second semiconductor portions are respectively doped with cooperating doping concentrations of about between 5e 16 /cm 3 to 1e 19 /cm 3 to enable a depletion region to be formed within the circuit junction when in use, to electrically insulate the first and second semiconductor portions from each other. A method of forming the modulator circuit is also disclosed.
摘要翻译：公开了一种用于电光通信的调制器电路（100），它包括半导体衬底（105）; 使用第一掺杂剂掺杂的第一半导体部分（102）和使用与第一掺杂剂不同的第二掺杂剂掺杂的第二半导体部分（104），其中至少第二半导体部分形成在半导体衬底上，并且在第一半导体部分的至少一部分直接堆叠到第二半导体部分以形成电路结; 并且其中第一和第二半导体部分分别掺杂约5e 16 / cm 3至1e 19 / cm 3的配合掺杂浓度，以使得在使用时在电路结内形成耗尽区，以使第一和第二半导体部分从彼此。还公开了一种形成调制器电路的方法。

9. 发明申请

WO2010138554A1 DEVICE FABRICATION WITH PLANAR BRAGG GRATINGS SUPPRESSING PARASITIC EFFECTS 审中-公开
标题翻译：具有平面布拉格光栅的器件制造抑制PARASITIC效应
公开(公告)号：WO2010138554A1
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：PCT/US2010/036152
申请日：2010-05-26
申请人： REDFERN INTEGRATED OPTICS, INC. , BARSAN, Radu , STOLPNER, Lew
发明人： BARSAN, Radu , STOLPNER, Lew
IPC分类号： G02B6/42
CPC分类号： G02B6/124 , B82Y20/00 , G02B6/12007 , G02B6/1225 , G02B6/132 , G02B6/134
摘要： The present invention relates to various methods of fabricating Planar Bragg Gratings (PBG) in a doped waveguide in a Planar Lightwave Circuit (PLC) device, suppressing unwanted parasitic grating effects during fabrication of the device. One approach to reduce parasitic gratings is to use a hard mask before the waveguide photolithography and etch, that results in a steeper sidewall angle that reduces or eliminates the parasitic grating effect. Another method of reducing parasitic grating effect is to deposit a layer of developable Bottom And Reflective Coating (BARC) prior to depositing the photo resist for waveguide etch. A third method of resisting parasitic gratings comprises using a planarizing undoped silica layer as a barrier layer on top of the core. During subsequent high temperature annealing germanium outdiffuses laterally into the cladding. The net effect is an optical waveguide with improved lateral uniformity because germanium diffusion smoothes out the sidewall roughness.
摘要翻译：本发明涉及在平面光波电路（PLC）器件中的掺杂波导中制造平面布拉格光栅（PBG）的各种方法，其在器件制造期间抑制不期望的寄生光栅效应。减少寄生光栅的一种方法是在波导光刻和蚀刻之前使用硬掩模，这导致更陡峭的侧壁角度，其减小或消除寄生光栅效应。降低寄生光栅效应的另一种方法是在沉积用于波导蚀刻的光致抗蚀剂之前沉积一层可显影的底部和反射涂层（BARC）。抵抗寄生光栅的第三种方法包括使用平坦化未掺杂的二氧化硅层作为核心顶部上的阻挡层。在随后的高温退火中锗向外扩散到包层中。净效应是具有改善横向均匀性的光波导，因为锗扩散平滑了侧壁粗糙度。

10. 发明申请

WO2008125797A1 WAVEGUIDE DEVICES USING EVANESCENT COUPLING BETWEEN WAVEGUIDES AND GROOVES 审中-公开
标题翻译：使用波形与栅格之间的过渡耦合的波导装置
公开(公告)号：WO2008125797A1
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：PCT/GB2008/000995
申请日：2008-03-20
申请人： UNIVERSITY OF SOUTHAMPTON , GATES, James, Christopher , GAWITH, Corin, Barry, Edmund , SMITH, Peter, George, Robin
发明人： GATES, James, Christopher , GAWITH, Corin, Barry, Edmund , SMITH, Peter, George, Robin
IPC分类号： G01N21/77 , G02B6/12 , G02B6/134 , H01S5/40
CPC分类号： G01N21/774 , G01N21/4133 , G02B6/12004 , G02B6/12007 , G02B6/134 , G02B2006/12107 , G02B2006/12121 , G02B2006/12138 , G02B2006/12142 , H01S3/022 , H01S3/0635 , H01S3/1055 , H01S3/213 , H01S3/30
摘要： An optical waveguide device (10) comprises a planar substrate with a lower cladding layer (14), a core layer (16) and an upper cladding layer (18), a groove (20) in the substrate that extends at least into the core layer (16), and a waveguiding channel (22) in the core layer (16), wherein at least a part of the waveguiding channel (22), which may contain a Bragg grating, is sufficiently proximate to the groove (20) in the plane of the substrate for an evanescent field of light propagating in the waveguiding channel (22) to extend laterally into the groove (20). Material contained in the groove modifies the properties of the waveguiding channel, so that a sample of material can be analysed or an active material can be used to modulate the propagating light. The groove (20) can be made before the waveguide (22). The groove (20) can be made by cutting into the substrate with a saw and the waveguide (22) can be made by direct writing in the core layer (16) with an ultraviolet beam.
摘要翻译：一种光波导器件（10）包括具有下包层（14），芯层（16）和上覆层（18）的平面衬底，衬底中的凹槽（20）至少延伸到芯层（16）和芯层（16）中的波导通道（22），其中可以包含布拉格光栅的波导通道（22）的至少一部分足够靠近凹槽（20）用于在波导通道（22）中传播的光的消逝场的衬底的平面横向延伸到沟槽（20）中。包含在凹槽中的材料修改了波导通道的特性，使得可以分析材料样品或者可以使用活性材料来调制传播光。凹槽（20）可以在波导（22）之前制成。槽（20）可以通过用锯切入基板而制成，并且波导（22）可以通过用紫外线直接写入芯层（16）而制成。

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