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热词
    • 1. 发明申请
    • METHOD AND DEVICE FOR INSPECTION OF SOLIDS BY MEANS OF ULTRASOUND
    • 用超声波检测固体的方法和装置
    • WO2015152795A1
    • 2015-10-08
    • PCT/SE2015/050367
    • 2015-03-26
    • CREO DYNAMICS AB
    • MATTEI, Christophe
    • G01N29/30G01N29/04G01N29/44G01N29/28
    • G01N29/04G01N29/075G01N29/11G01N29/225G01N29/30G01N29/323G01N29/42G01N29/4427G01N29/4436G01N2291/012
    • A method, a computer program and a system for ultrasonic inspecting of objects is provided. The method comprises positioning (103) a measuring device (11) comprising a plurality of transducers (12)on the inspected object(20) and performing a number of test signal acquisitions (103). Each acquisition includes using one transducer to induce an ultrasonic signal into the test object, and using at least one other transducer to receive an ultrasonic test signal. The inspecting further comprises determining (105, 205) the influence of contact surface variations between each test signal and a reference signal; compensating (106, 206) the full test signal for the contact surface variations; and determining (109) a residual signal. The system comprises a computing device (30), and a measuring system (13) communicatively connected to the computing device (30). The measuring system (13) includes an ultrasound unit (19) and a measuring device (11) provided with a plurality of transducers (12).The computing device (30) comprises a calibrator (303) to determine(105, 205) the influence of contact surface variations, and compensate(106, 206) the test signal. The computing device (30) comprises a residual calculator (304) to determine(109) the residual signal.
    • 提供了一种用于超声波检测物体的方法,计算机程序和系统。 该方法包括在检测对象(20)上定位(103)包括多个换能器(12)的测量装置(11)并执行多个测试信号采集(103)。 每个采集包括使用一个换能器将超声波信号引入测试对象,并且使用至少一个其它换能器来接收超声测试信号。 检查还包括确定(105,205)每个测试信号和参考信号之间的接触面变化的影响; 补偿(106,206)接触面变化的全部测试信号; 以及确定(109)残留信号。 该系统包括计算设备(30)和通信地连接到计算设备(30)的测量系统(13)。 所述测量系统(13)包括具有多个换能器(12)的超声单元(19)和测量装置(11)。所述计算装置(30)包括校准器(303),以确定(105,205) 接触面变化的影响,并补偿(106,206)测试信号。 计算装置(30)包括用于确定(109)剩余信号的残差计算器(304)。
    • 6. 发明申请
    • DEVICE FOR DETERMINING THE CHANGE IN THE DENSITY OF A MEDIUM
    • 一种用于确定密度的介质的结构的变化
    • WO02010738A1
    • 2002-02-07
    • PCT/EP2001/000580
    • 2001-01-19
    • G01N9/24G01N29/024G01N29/07G01N29/34G01N29/44G01N29/18
    • G01N29/4436G01N9/24G01N29/024G01N29/075G01N29/346G01N29/348G01N2291/02818
    • The invention relates to a device for determining the change in the density of a solid, liquid or gaseous medium. Said device is able to detect the effects of physical and/or chemical parameters which cause changes in the density and/or the compression constant of the medium. The device comprises an emission device (2) for emitting an emission signal with constant frequency and amplitude, said signal having at least one period. At least one receiving device (4) picks up the response signals which are reflected and/or transmitted from the medium. Said emission device and said receiving device are coupled to the medium (3). The receiving device is coupled to an A/D converter (6) and a sampling device. The emission device and the exit of the A/D converter are connected to a numeric processing device (7) which is used to determine the phase displacement between the emission signal and the receiver signal. The output of said numeric processing device is connected to a display screen (8) or a storage medium.
    • 本发明涉及一种在用于检测一个固体,液体或气体介质的密度的变化的装置。 该装置能够检测到的具有在密度和/或介质结果的压缩常数变化的物理和/或化学参数的影响。 该装置包括一个发射器装置(2),用于发射具有恒定频率和振幅的发送信号,其中所述发送信号具有至少一个周期的。 至少一个接收装置(4)接收来自媒体的反射和/或传送响应信号。 发送装置和接收装置被连接到所述介质(3)。 该接收装置被耦合到A / D转换器(6)和一个取样装置。 发射装置和所述A / D转换器的输出被连接到一个数字处理设备(7),用于确定所述发送信号和接收信号,其输出被连接到显示器(8)或存储介质之间的相移。
    • 9. 发明申请
    • NON-DESTRUCTIVE SIGNAL PROPAGATION SYSTEM AND METHOD TO DETERMINE SUBSTRATE INTEGRITY
    • 非破坏性信号传播系统和确定基板完整性的方法
    • WO2010128432A3
    • 2011-03-03
    • PCT/IB2010051855
    • 2010-04-28
    • LAM RES CORPLAM RES AGVALCORE JOHN
    • VALCORE JOHN
    • H01L21/66G01N29/12
    • G01N29/11G01N29/075G01N29/2475G01N2291/044G01N2291/106G01N2291/2697H01L22/12
    • In various exemplary embodiments described herein, a system and associated method relate to non-destructive signal propagation to detect one or more defects in a substrate. The system can be built into a semiconductor process tool such as a substrate handling mechanism. The system comprises a transducer configured to convert one or more frequencies from an electrical signal into at least one mechanical pulse. The mechanical pulse is coupled to the substrate through the substrate handling mechanism. A plurality of sensors is positioned distal to the transducer and configured to be coupled, acoustically or mechanically, to the substrate. The plurality of distal sensors is further configured to detect both the mechanical pulse and any distortions to the pulse. A signal analyzer is coupled to the plurality of distal sensors to compare the detected pulse and any distortions to the pulse with a baseline response.
    • 在本文描述的各种示例性实施例中,系统和相关联的方法涉及非破坏性信号传播以检测衬底中的一个或多个缺陷。 该系统可以内置在诸如基板处理机构的半导体处理工具中。 该系统包括被配置为将一个或多个频率从电信号转换成至少一个机械脉冲的换能器。 机械脉冲通过基板处理机构耦合到基板。 多个传感器位于换能器的远侧并且被配置为与声学或机械地耦合到基底。 多个远端传感器还被配置为检测机械脉冲和对脉冲的任何失真。 信号分析器耦合到多个远端传感器,以将检测到的脉冲和具有基线响应的脉冲的任何失真进行比较。
    • 10. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM AUSWERTEN VON EMPFANGSSIGNALEN, DIE BEI EINER ZERSTÖRUNGSFREIEN ULTRASCHALLWELLENPRÜFUNG GEWONNEN WERDEN SOWIE VORRICHTUNG FÜR EINE ZERSTÖRUNGSFREIE ULTRASCHALLWELLENPRÜFUNG AN EINEM PRÜFKÖRPER
    • 性评价方法接收信号的无损超声波测试的情况下获得,和设备无损超声波测试在设备
    • WO2010006797A1
    • 2010-01-21
    • PCT/EP2009/005188
    • 2009-07-16
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.SALZBURGER, Hans-JürgenNIESE, Frank
    • SALZBURGER, Hans-JürgenNIESE, Frank
    • G01N29/07G01N29/24G01N29/32G01N29/44
    • G01N29/2412G01N29/075G01N29/32G01N29/4463G01N2291/103
    • Beschrieben wird ein Verfahren zum Auswerten von Empfangssignalen, die bei einer zerstörungsfreien Ultraschallprüfung an einem Prüfkörper gewonnen werden, bei der mit einem als Ultraschallsender dienenden elektromagnetischen Ultraschallwandler innerhalb des Prüfkörpers Ultraschallwellen erzeugt und mit einem als Ultraschallempfänger dienenden elektromagnetischen Ultraschallwandler sich innerhalb des Prüfkörpers ausbreitende Ultraschallwellen in Form auswertbarer Empfangssignale umgewandelt werden, die zur Prüfkörperuntersuchung ausgewertet werden. Ferner wird eine entsprechende Vorrichtung zum Auswerten von Empfangssignalen beschrieben. Die Erfindung zeichnet sich durch die Kombination folgender Verfahrensschritte aus: - Umwandeln der sich innerhalb des Prüfkörpers ausbreitenden Ultraschallwellen mit zwei um jeweils eine halbe Wellenlänge der von dem Ultraschallsender in den Prüfkörper eingekoppelten Ultraschallwellen räumlich zueinander versetzt angeordneten elektromagnetischen Ultraschallwandlerempfänger zum Erhalt eines ersten und eines zweiten Datensatzes von Empfangssignalen, - Berechnen von Phasen Φ 1 (t), Φ 2 (t), die den Empfangssignalen beider Datensätze zuordenbar sind, - Ermitteln eines Phasenunterschiedes Φ(t) = Φ 1 (t) - Φ 2 (t), - Selektieren von Empfangssignalen aus dem ersten und zweiten Datensatz von Empfangssignalen, deren Phasenunterschied Φ(t) im Intervall [180° - α - ; 180° + α + ] mit α - , α +
    • 本发明公开了用于评估所接收的信号,这是在一测试体,其中所述与作为试验片的超声波内的超声波发射器的电磁超声换能器并作为位于试样中的形式传播的超声波中的超声波接收器电磁超声换能器的服务所产生的的非破坏性超声测试而获得的方法 可评估所接收的信号被转换,其被评价为Prüfkörperuntersuchung。 此外,用于评估所接收的信号相应的装置进行说明。 本发明的特征在于以下方法步骤的组合: - 通过由在试样的超声波在空间上彼此偏移布置电磁超声换能器接收器,用于接收第一和第二数据组的超声波发送机的耦合的一个半波长具有两个转换的试样内传播的超声波 接收信号的, - 计算阶段F1(t)的,F2(吨),其归因于两个数据集的所接收的信号, - 确定的相位差F(T)= F1(T) - F2(吨), - 从所述选择接收信号 接收的信号,在区间[180°的相位差F(t)的第一和第二数据集 - A-; 180°+α+]与A-,A +是<15°,以及 - 所选择的接收信号的评估。