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热词
    • 4. 发明申请
    • PRÜFVERFAHREN FÜR EINE FLUCHTWEGMARKIERUNG
    • 程序逃跑路线MARKER
    • WO2012104095A1
    • 2012-08-09
    • PCT/EP2012/000484
    • 2012-02-03
    • LUFTHANSA TECHNIK AGBIEHL, Torben
    • BIEHL, Torben
    • G01J3/28G01J1/18G01N21/64G01J1/58G01J3/10G01J3/44G01J1/42
    • G01N21/64G01J1/58G01J3/10G01J3/28G01J3/4406G01J2001/4247G01N21/6408G01N2021/6417G01N2021/6495
    • Prüfverfahren für eine Fluchtwegmarkierung, die eine Einbauposition besitzt und von einer Lichtquelle in definierter Position relativ zu der Einbauposition beleuchtet wird, um die Fluchtwegmarkierung für ein Nachleuchten aufzuladen, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: eine Anregungskurve Α( λ ) für die Fluchtwegmarkierung wird abhängig von der Wellenlänge bereitgestellt, die Bestrahlungsstärke E( λ ) der Lichtquelle wird für die Einbauposition der Fluchtwegmarkierung abhängig von der Wellenlänge erfasst, eine gewichtete Bestrahlungsstärke B( λ ) wird als Produkt der Bestrahlungsstärke und der Anregungskurve abhängig von der Wellenlänge ermittelt, eine Aufladebestrahlungsstärke (BiL) wird als Integral über der gewichteten Bestrahlungsstärke über die Wellenlänge ermittelt und eine von der Aufladedauer t l abhängige Kennlinie K tl (BiL) gibt an, welche Nachleuchtdauer sich für die Fluchtwegmarkierung bei der Aufladedauer t l für die Aufladebestrahlungsstärke (BiL) ergibt.
    • 用于逃生路线测试方法标记,具有安装位置和由光源在相对于安装位置的限定的位置照亮时,为了充电撤离通路标识为余辉,其特征在于以下步骤:用于撤离通路标识的激发曲线是依赖于波长(λ) 提供时,光源的辐照度E(θ)检测到用于逃生路线的安装位置标记依赖于波长,加权辐照度B(?)被确定为照射强度的乘积和依赖于波长的激发曲线,Aufladebestrahlungsstärke(BIL)被定义为 一体地确定在所述加权辐照波长,并取决于充电时间TL特性KTL(BIL)指示哪个持久性(用于逃生路线在用于Aufladebestrahlungsstärke充电时间TL标记 BIL)的结果。
    • 10. 发明申请
    • SYSTEM AND METHOD FOR DEFECT DETECTION AND PHOTOLUMINESCENCE MEASUREMENT OF A SAMPLE
    • 系统和方法用于缺陷检测和样品的光致变色测量
    • WO2014210195A1
    • 2014-12-31
    • PCT/US2014/044149
    • 2014-06-25
    • KLA-TENCOR CORPORATION
    • SAPPEY, Romain
    • H01L21/66
    • G01N21/6489G01N21/8806G01N21/9501G01N2021/6495G01N2021/8845G01N2201/06113G01N2201/0662
    • Defect detection and photoluminescence measurement of a sample directing a beam of oblique-illumination wavelength light onto a portion of the sample, directing a beam of normal-illumination wavelength light for causing one or more photoluminescing defects of the sample to emit photoluminescent light onto a portion of the sample, collecting defect scattered radiation or photoluminescence radiation from the sample, separating the radiation from the sample into a first portion of radiation in the visible spectrum, a second portion of radiation including the normal-illumination wavelength light, and at least a third portion of radiation including the oblique-illumination wavelength light, measuring one or more characteristics of the first portion, the second portion or the third portion of radiation; detecting one or more photoluminescence defects or one or more scattering defects based on the measured one or more characteristics of the first portion, the second portion or the third portion of radiation.
    • 样品的缺陷检测和光致发光测量将样品的一部分倾斜照明波长的光引导到样品的一部分上,引导正常照明波长的光束,以引起样品的一个或多个光致发光缺陷将光致发光光发射到部分上 收集来自样品的缺陷散射辐射或光致发光辐射,将来自样品的辐射分离成可见光谱中的辐射的第一部分,包括正常照明波长的光的第二部分辐射,以及至少三分之一 测量包括倾斜照明波长光的辐射部分,测量第一部分,第二部分或第三部分辐射的一个或多个特性; 基于所测量的第一部分,第二部分或第三部分辐射的一个或多个特性来检测一个或多个光致发光缺陷或一个或多个散射缺陷。