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    • 3. 发明申请
    • HOCHFREQUENZRESONATOR FÜR DRUCKSENSOREN
    • 频率谐振器用于压力传感器
    • WO2004088266A1
    • 2004-10-14
    • PCT/DE2004/000631
    • 2004-03-26
    • BOSCH REXROTH AGKRUSKA, Jochen
    • KRUSKA, Jochen
    • G01L11/00
    • G01L9/0041G01L11/00
    • Entsprechend der vorliegenden Erfindung wird ein Hochfrequenzresonator mit zwei Hohlraumresonatoren vorgesehen, wobei die Eigenfrequenz des einen Hohlraumresonators durch eine Änderung des an diesen angelegten Drucks änderbar ist und der zweite Hohlraumresonator mit dem ersten Hohlraumresonator thermisch gekoppelt ist. Die aus den zweite Hohlraumresonatoren erhaltenen Hochfrequenzsignale werden in einer Auswerteeinrichtung in einer solchen Weise gemischt, dass ein die Druckänderung am ersten Hohlraumresonator anzeigendes Signal erhalten wird. Durch eine derartige Gestaltung lässt sich ein Druck mit hoher Empfindlichkeit messen, wobei der Einfluss der Temperatur auf das Messergebnis aufgrund der Einbeziehung der Eigenfrequenz des zweiten Hohlraumresonators verringert ist.
    • 根据本发明,高频谐振器配备有两个空腔谐振器被提供,其中一个空腔谐振器的固有频率可以通过施加到其上的压力的变化,并与所述第一空腔谐振器热联接的第二腔被改变。 从第二空腔谐振器获得的高频信号被混合在一个评估装置,在所述第一谐振腔中的压力变化,得到指示信号或其这样的方式。 这样的配置中,压力可以高灵敏度,从而温度的影响被降低到测量结果由于包括第二谐振腔的固有频率的测定。
    • 7. 发明申请
    • 化学分析装置
    • WO2010098053A1
    • 2010-09-02
    • PCT/JP2010/001114
    • 2010-02-22
    • 株式会社 日立ハイテクノロジーズ山川寛展有賀洋一大草武徳高橋賢一清野太作
    • 山川寛展有賀洋一大草武徳高橋賢一清野太作
    • G01N35/02G01N35/10
    • G01L9/00B01F13/0272B01L3/508B01L3/5085B01L99/00B01L2300/0636B01L2300/0822B01L2300/0829B08B9/035B08B9/0817G01L9/0041G01N33/50G01N35/025G01N2035/00544G01N2035/0437Y10T436/2575
    •  攪拌対象となる容器中の反応液に対し、容器上側に設けた空気噴出口から空気を噴出して反応液を攪拌する自動化学分析装置反応容器に対し、噴出される空気の状態を確認することで、信頼性が高い化学分析装置を提供する。また、反応容器に対し、コーティングされた試薬などを剥離するような障害を与えないで十分に反応領域を洗浄することができる。 反応容器設置台(反応ディスク)161に細孔240と、細孔につながる圧力検出手段241を設け、攪拌動作前後に、空気を噴出しながら噴出口(ノズル)170を移動し、圧力検出手段からの出力値を予め測定しておいた正常値と比較することで、攪拌機構が正常であることを保障する。また、吐出管101と吸引管102を、反応容器140の側壁近くの容器開口部両端に挿入した状態で、洗浄液を吐出,吸引し続けて容器底面の反応領域150を洗浄する。
    • 公开了一种化学分析装置,其通过测试排出空气的状态而高度可靠,其中自动化学分析装置反应容器通过从设置在容器上方的排气出口朝向反应液体排出空气来搅拌反应液体,搅拌目标 ,包含在船内。 此外,在反应容器中,可以彻底地清洁反应区域而不会引起诸如剥离涂层试剂等的损坏。反应容器放置平台(反应盘)(161)设置有孔(240)和压力 连接到所述孔的检测装置(241)。 通过在排出空气的同时在搅拌前后移出排出口(喷嘴)(170),并将由压力检测装置检测的值与最初确定的正常值进行比较,可以确保搅拌机构正常工作。 此外,反应容器(1140)的底面上的反应区域(1150)通过连续排出和清洗液的抽吸来清洗,同时将排出管(1101)和抽吸管(1102)插入反应容器 (1140)在容器开口两端的侧壁附近。
    • 9. 发明申请
    • SPAN LINE PRESSURE EFFECT COMPENSATION FOR DIAPHRAGM PRESSURE SENSOR
    • 透气压力传感器的跨度压力效应补偿
    • WO2015147976A1
    • 2015-10-01
    • PCT/US2015/012393
    • 2015-01-22
    • ROSEMOUNT INC.
    • WILLCOX, Charles, Ray
    • G01L9/00G01L19/02
    • G01L9/0072G01L9/0041G01L19/02
    • A differential pressure sensor (56) for sensing a differential pressure of a process fluid, includes a sensor body (114, 116) having a sensor cavity (132, 134) formed therein with a cavity profile. A diaphragm (106) in the sensor cavity deflects in response to an applied differential pressure. The diaphragm (106) has a diaphragm profile. A gap formed between the cavity profile and the diaphragm profile changes as a function of the differential pressure. At least one of the cavity profile and diaphragm profile changes as a function of a line pressure to compensate for changes in the gap due to deformation of the sensor body from the line pressure.
    • 用于感测过程流体的压差的差压传感器(56)包括传感器主体(114,116),其具有在其中形成有空腔轮廓的传感器腔(132,134)。 传感器腔中的隔膜(106)响应于施加的压差而偏转。 隔膜(106)具有隔膜轮廓。 在空腔轮廓和隔膜轮廓之间形成的间隙作为压差的函数而变化。 腔体轮廓和隔膜轮廓中的至少一个作为管线压力的函数而改变,以补偿由于传感器主体与管路压力的变形引起的间隙变化。
    • 10. 发明申请
    • AN IMPROVED PRESSURE SENSOR STRUCTURE
    • 改进的压力传感器结构
    • WO2015107453A1
    • 2015-07-23
    • PCT/IB2015/050241
    • 2015-01-13
    • MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
    • KUISMA, HeikkiYOSHIDA, Koichi
    • G01L9/00
    • G01L9/0072G01L9/0041
    • A microelectromechanical pressure sensor structure that comprises a planar base (21), a side wall layer (23) and a diaphragm plate (20). The side wall layer forms side walls that extend away from the planar base into contact with the diaphragm plate. The side wall layer is formed of at least three layers, a first layer (28) and a second layer (29) of insulating material and a third layer (27) of conductive material, wherein the third layer is between the first layer and the second layer. The conducting layer provides a shield electrode within the isolating side wall layer. This shield electrode is adapted to reduce undesired effects to the capacitive measurement results.
    • 一种微机电压力传感器结构,包括平面基座(21),侧壁层(23)和隔膜板(20)。 侧壁层形成从平面基部延伸离开与隔膜板接触的侧壁。 侧壁层由至少三层形成,第一层(28)和绝缘材料的第二层(29)和导电材料的第三层(27),其中第三层在第一层和第二层之间 第二层。 导电层在隔离侧壁层内提供屏蔽电极。 该屏蔽电极适于减少对电容测量结果的不期望的影响。